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基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究
被引量：
3
1
作者
岳钊
牛文成
+2 位作者
谢林宏
权伍明
罗翀
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期1203-1206,共4页
应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-Ni...
应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性.
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关键词
溶解二氧化碳传感器
pt-nio混合敏感膜
MISFET结构
在线阅读
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职称材料
一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO_2传感器及其特性测量
被引量：
1
2
作者
岳钊
牛文成
+2 位作者
谢林宏
权伍明
罗
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期912-915,共4页
为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶...
为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶解CO2浓度变化的响应特性.实验结果显示,基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解CO2传感器可以在室温下方便的检测溶解CO2浓度.
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关键词
溶解CO2传感器
pt-nio混合敏感膜
MISFET结构
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职称材料
应用离子束混合技术研制气敏热敏多功能陶瓷材料
3
作者
樊东辉
徐政
+2 位作者
李世普
闫玉华
陈晓明
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期420-421,共2页
以PTCBaTiO3 热敏陶瓷为基底材料 ,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2 气体敏感薄膜。应用X射线衍射 (XRD)和光电子能谱技术 (XPS)
关键词
离子束
混合
技术
研制
气敏-热敏多功能陶瓷材料
敏感
膜
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职称材料
题名
基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究
被引量：
3
1
作者
岳钊
牛文成
谢林宏
权伍明
罗翀
机构
南开大学信息技术科学学院微电子系
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期1203-1206,共4页
基金
国家自然科学基金资助(69476036)
天津市自然科学基金资助(941407007)
文摘
应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性.
关键词
溶解二氧化碳传感器
pt-nio混合敏感膜
MISFET结构
Keywords
dissolved carbon dioxide sensor
pt-nio
mixed sensing film
MISFET structure
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO_2传感器及其特性测量
被引量：
1
2
作者
岳钊
牛文成
谢林宏
权伍明
罗
机构
南开大学信息技术科学学院微电子系
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期912-915,共4页
基金
国家自然科学基金(No.69476036)
天津市自然科学基金(No.941407007)
文摘
为了方便的测量溶解二氧化碳(CO2),利用室温下NiO对CO2的敏感特性,基于碳糊成膜方法,研制了一种新型全固态溶解CO2传感器.文章中,分析了传感器的结构和NiO敏感膜对CO2的敏感机理,测量了不同工作点和不同温度下传感器输出电压ΔVrs随着溶解CO2浓度变化的响应特性.实验结果显示,基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解CO2传感器可以在室温下方便的检测溶解CO2浓度.
关键词
溶解CO2传感器
pt-nio混合敏感膜
MISFET结构
Keywords
dissolved CO2 sensor
pt-nio
mixed sensing film
MISFET structure
分类号
TN453 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
应用离子束混合技术研制气敏热敏多功能陶瓷材料
3
作者
樊东辉
徐政
李世普
闫玉华
陈晓明
机构
同济大学材料学院微电子材料研究所
武汉理工大学生物材料研究中心
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期420-421,共2页
基金
国家 8 63计划材料领域资助项目 (863 71 5 YF2 3 92 1 4 )
文摘
以PTCBaTiO3 热敏陶瓷为基底材料 ,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2 气体敏感薄膜。应用X射线衍射 (XRD)和光电子能谱技术 (XPS)
关键词
离子束
混合
技术
研制
气敏-热敏多功能陶瓷材料
敏感
膜
Keywords
ion mixing
multi function
sencitivity materials
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TQ174.75 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究
岳钊
牛文成
谢林宏
权伍明
罗翀
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种新型的Pt-NiO混合敏感膜全固态溶解CO_2传感器及其特性测量
岳钊
牛文成
谢林宏
权伍明
罗
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
应用离子束混合技术研制气敏热敏多功能陶瓷材料
樊东辉
徐政
李世普
闫玉华
陈晓明
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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