检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络被引量：7: 1; 作者戎华李俊峰张声良《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期70-72,共3页; 本文从恒压源和恒流源两种不同的供电方式出发 ,推导出了两套扩散硅压力传感器零点及零点温漂串、并联补偿电阻阻值的公式 ,运用这两套公式 ,只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出 ,而无需测量桥臂电阻就可计算出补偿电阻的大小。; 关键词压力传感器零点温漂电阻网络扩散硅; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅压力传感器零点及零点温漂补偿的新方法被引量：1: 2; 作者戎华张声良 +2 位作者马景洁滕敏朱长纯《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期39-42,共4页; 分析了目前已发表的硅压力传感器零点及零点温漂串并联补偿电阻阻值计算方法的缺陷．提出了一种新的计算方法，并对它进行了简化．使得只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出，而无需测量电阻就可计算出补偿电阻的大小．实验证明，... 展开更多; 关键词压力传感器零点零点温漂病态问题硅补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容式薄膜真空压力传感器设计被引量：6: 3; 作者王凡崔宏敏 +1 位作者宗义仲王文博《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期84-86,90,共4页; 为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围... 展开更多; 关键词电容式薄膜真空压力传感器零点漂移温度补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容传感器测量电路的稳零研究被引量：2: 4; 作者杨三序徐树山殷保中《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期55-57,60,共4页; 受到测量电路中元件本身性能、温度和供电电源性能等的影响,采用四相检测测量电路的微电容传感器的输出不可避免地会出现零漂,影响传感器的稳定性。为此,对微电容传感器测量电路的零漂现象进行了研究,给出了稳零方案和电路,并说明了电... 展开更多; 关键词微电容传感器测量电路零漂稳零; 在线阅读下载PDF 职称材料

高压智能兆欧表中的微电流检测被引量：1: 5; 作者徐琦徐恕宏《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第7期13-16,共4页; 本文介绍了高压智能兆欧表中微弱电流的检测方法。运用具有很大动态范围，对小信号具有高分辨力的对数放大电路实现了ｎＡ级微弱电流的检测。同时。; 关键词对数放大器零点温漂兆欧表微电流检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

低热零点漂移的高温绝压压力传感器被引量：4: 6; 作者王天靖梁庭 +2 位作者雷程王丙寅陈国锋《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第2期8-11,33,共5页; 传统的高温绝压压力传感器一般采用硅和玻璃进行阳极键合来制备绝压腔。由于高温环境下硅片和硼硅玻璃的热膨胀系数不匹配,从而产生较高的热零点漂移。文中提出了一种低热零点漂移的压力传感器设计方案,由硅-玻璃-硅的三层结构代替普通... 展开更多; 关键词绝压传感器热应力热膨胀系数仿真三层键合热零点漂移; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络被引量：7: 1; 作者戎华李俊峰张声良; 机构西安交通大学电信学院微电子工程系; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期70-72,共3页; 文摘本文从恒压源和恒流源两种不同的供电方式出发 ,推导出了两套扩散硅压力传感器零点及零点温漂串、并联补偿电阻阻值的公式 ,运用这两套公式 ,只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出 ,而无需测量桥臂电阻就可计算出补偿电阻的大小。; 关键词压力传感器零点温漂电阻网络扩散硅; Keywords pressure transducer zero point thermal zero drift; 分类号 TH823.2 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅压力传感器零点及零点温漂补偿的新方法被引量：1: 2; 作者戎华张声良马景洁滕敏朱长纯; 机构西安交通大学; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期39-42,共4页; 文摘分析了目前已发表的硅压力传感器零点及零点温漂串并联补偿电阻阻值计算方法的缺陷．提出了一种新的计算方法，并对它进行了简化．使得只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出，而无需测量电阻就可计算出补偿电阻的大小．实验证明，经一次计算补偿，可使零点温漂降低一个数量级，使用极其方便，尤其适用于批量生产．; 关键词压力传感器零点零点温漂病态问题硅补偿; Keywords pressure transducer zero point output thermal zero drift abnormal problem; 分类号 TH823.2 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容式薄膜真空压力传感器设计被引量：6: 3; 作者王凡崔宏敏宗义仲王文博; 机构中国电子科技集团公司第四十九研究所; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期84-86,90,共4页; 文摘为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度。; 关键词电容式薄膜真空压力传感器零点漂移温度补偿; Keywords capacitive thin film vacuum pressure sensor zero point drift temperature compensation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容传感器测量电路的稳零研究被引量：2: 4; 作者杨三序徐树山殷保中; 机构商丘师范学院物理系河南中原高速公路股份有限公司; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期55-57,60,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60572001); 文摘受到测量电路中元件本身性能、温度和供电电源性能等的影响,采用四相检测测量电路的微电容传感器的输出不可避免地会出现零漂,影响传感器的稳定性。为此,对微电容传感器测量电路的零漂现象进行了研究,给出了稳零方案和电路,并说明了电路中各元件对稳零的影响以及元件的选择和计算方法。; 关键词微电容传感器测量电路零漂稳零; Keywords microcapacitance transducer measuring circuit zero drift stability of zero-point; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高压智能兆欧表中的微电流检测被引量：1: 5; 作者徐琦徐恕宏; 机构华中理工大学自动控制工程系; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1997年第7期13-16,共4页; 文摘本文介绍了高压智能兆欧表中微弱电流的检测方法。运用具有很大动态范围，对小信号具有高分辨力的对数放大电路实现了ｎＡ级微弱电流的检测。同时。; 关键词对数放大器零点温漂兆欧表微电流检测; Keywords Logarithmic Amplifier,zero point thermal drift,Sensibility Coefficient,thermal Effect.; 分类号 TM934.31 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低热零点漂移的高温绝压压力传感器被引量：4: 6; 作者王天靖梁庭雷程王丙寅陈国锋; 机构中北大学内蒙古动力机械研究所; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第2期8-11,33,共5页; 文摘传统的高温绝压压力传感器一般采用硅和玻璃进行阳极键合来制备绝压腔。由于高温环境下硅片和硼硅玻璃的热膨胀系数不匹配,从而产生较高的热零点漂移。文中提出了一种低热零点漂移的压力传感器设计方案,由硅-玻璃-硅的三层结构代替普通的双层阳极键合结构,并给出了热力学仿真模型。分析表明:改变传感器硅与玻璃的结构比例,实现应力匹配可以有效减小热应力。对芯片进行了高温实验测试,发现传感器的热零点漂移变化率减小了50%。; 关键词绝压传感器热应力热膨胀系数仿真三层键合热零点漂移; Keywords absolute pressure sensors thermal stress coefficient of thermal expansion simulation triple bonding thermal zero drift; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络	戎华李俊峰张声良	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2000	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	硅压力传感器零点及零点温漂补偿的新方法	戎华张声良马景洁滕敏朱长纯	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1999	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	电容式薄膜真空压力传感器设计	王凡崔宏敏宗义仲王文博	《传感器与微系统》 CSCD	2017	6	在线阅读下载PDF 职称材料
4	电容传感器测量电路的稳零研究	杨三序徐树山殷保中	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	高压智能兆欧表中的微电流检测	徐琦徐恕宏	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	1997	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	低热零点漂移的高温绝压压力传感器	王天靖梁庭雷程王丙寅陈国锋	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2023	4	在线阅读下载PDF 职称材料