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题名超声振动辅助固结磨粒抛光硅片表面形貌及粗糙度研究
被引量：3
- 1
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作者
付鹏
杨卫平
吴勇波
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机构
江西农业大学工学院
日本秋田县立大学系统科学技术学部
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2018年第24期237-243,共7页
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基金
国家自然科学基金(51065011)
国家留学基金委"地方合作项目"(201208360113)
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文摘
高面型精度和高表面质量的硅片表面加工是目前研究的难点和热点问题之一,基于超声加工所具有的加工效率和加工表面质量高的特性,以及固结磨粒的加工质量易控制和对环境污染小的特点,开展超声椭圆振动辅助固结磨粒抛光硅片的材料去除、抛光表面面型精度及粗糙度的加工机理及实验研究。研究认为抛光工具运动轨迹是影响上述问题的主要因素,为此在对抛光实验系统描述基础上,分析并建立了抛光工具运动轨迹及轨迹密度模型,进而完成硅片材料去除,抛光表面形貌和表面粗糙度的建模仿真。开展相应的实验研究,发现理论分析与实验的结果相一致,基于抛光工具运动轨迹建模的可行性。该研究方法和得出结论为今后开展固结磨粒抛光硅片表面实验的工艺参数的选择和优化,提供了可供借鉴的研究成果,为实际生产提供了可供参考的理论依据。
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关键词
超声振动
固结磨粒
抛光轨迹
加工机理
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Keywords
ultrasonic vibration
fixed abrasive
polishing tool path
processing mechanism
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名超声砂带研抛的实验研究
被引量：6
- 2
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作者
王先逵
邹保昌
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机构
清华大学
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1993年第1期72-81,共10页
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文摘
超声砂带研抛是在开式砂带研抛中叠加超声振动而形成的一种复合加工工艺。文中阐述了超声砂带研抛的工作方式、基本原理和系统设计,对砂带振动状态进行了测试和分析,并对比了超声砂带研抛和普通砂带研抛后的工件表面糙度及其加工效率。
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关键词
研抛
超声振动
砂带
砂带磨削
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Keywords
polishing, ultrasonic vibration, abrasive tape
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分类号
TG580.622
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名微磨料汽雾超声抛光加工技术及实验研究
被引量：1
- 3
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作者
汪帮富
李华
殷振
曹自洋
宋娟
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机构
苏州科技学院
江苏大学
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2015年第1期33-37,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51075288)
苏州市科技计划资助项目(SYG201427)
江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXZZ13_0657)
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文摘
提出了一种新型精密抛光加工方法,即用含有微磨料的抛光液经超声振动使之雾化形成汽雾流,用此含有微磨料的汽雾流冲蚀工件表面而去除工件材料。通过产生汽雾流的超声振动分析和实验对这一微磨料汽雾超声抛光加工技术进行了研究。结果表明:这一方法可以实现对工件表面的抛光处理,而且比传统的抛光加工方法具有加工冲蚀力更柔软、加工质量更好,并且没有喷嘴损耗等优点。
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关键词
超声振动
微磨料
汽雾
抛光
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Keywords
ultrasonic vibration
micro abrasive
ultrasonic mist
polishing
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分类号
TH14
[一般工业技术—材料科学与工程]
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题名单晶蓝宝石基片抛光工艺研究进展
被引量：3
- 4
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作者
陈刚
肖强
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机构
西安工业大学
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出处
《工具技术》
2018年第3期3-9,共7页
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基金
陕西省自然科学基金(2014JM7257)
陕西省教育厅重点实验室项目(16JS046)
+1 种基金
陕西省教育厅重点实验室访问学者项目(14JS029)
陕西省特种加工重点实验室开放基金(ST-11006)
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文摘
对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足以及最新研究成果存在的关键问题。其中游离磨料磨削、在线电解修整磨削、金刚石砂轮磨削的材料去除速率较高,化学机械抛光是抛光大面积基片的唯一方法,磁流变抛光后的基片表面不存在亚表面损伤。根据单晶蓝宝石基片的应用需求和目前抛光方法的不足,对后续研究的方向进行了预测。
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关键词
单晶蓝宝石
游离磨料磨削
化学机械抛光
磁流变抛光
ELID磨削
超声振动辅助磨削
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Keywords
single crystal sapphire
free abrasive grinding
chemical mechanical polishing（CMP）
magneto-rheological polishing （MRF）
on-line electrolytic dressing grinding（ELID）
ultrasonic vibration assisted grinding
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分类号
TG580.6
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TH162
[机械工程—机械制造及自动化]
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题名超声振动协同化学辅助固结磨粒抛光技术的开发
- 5
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作者
刘曼利
杨卫平
吴勇波
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机构
江西农业大学工学院
日本秋田县立大学系统科学技术学部
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2016年第3期108-113,共6页
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基金
国家自然科学基金(51065011)
国家留学基金委资助
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文摘
传统化学机械抛光是硅片获得超光滑表面的常见加工方法,这种游离磨粒的化学机械抛光的加工效率及加工表面质量低,加工时需大量使用对环境污染严重的化学抛光剂,特别是硅片直径的不断增大而导致加工困难等方面所表现的问题越来越突出。因此提出了一种超声椭圆振动协同化学作用辅助固结磨粒的复合抛光硅片新技术,并对此加工机理进行了理论分析。研制了复合抛光装置,对抛光工具设计进行了详细论述,在此基础上开展了硅片复合抛光与传统抛光的对比试验研究。试验结果表明,在相同的试验条件下,复合抛光技术不但硅片抛光表面质量得到改善,而且抛光效率也得到提高。该方法为硅片的精密加工探索了一种新方法。
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关键词
超声椭圆振动
化学作用
固结磨粒
抛光
硅片
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Keywords
elliptic ultrasonic vibration
chemical reaction
fixed abrasive
polishing
silicon wafer
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分类号
TH161
[机械工程—机械制造及自动化]
TG580
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名氮化铝陶瓷的椭圆超声辅助固结磨粒抛光研究
被引量：2
- 6
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作者
李庚卓
吴勇波
汪强
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机构
南方科技大学
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出处
《航空制造技术》
CSCD
北大核心
2022年第8期64-68,75,共6页
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基金
科技部重点专项(2021YFF0700900)
国家自然科学基金(51975269)
深圳市科技计划(KQTD20170810110250357)。
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文摘
氮化铝陶瓷因其良好的导热性、与硅接近的热膨胀系数和优异的机械强度等优点,作为高集成度和高功率器件封装最理想的载板材料而广受关注,在航空航天、汽车、芯片和国防军工中有着良好的应用前景。目前使用最广泛的氮化铝陶瓷载板平坦化方法主要是研磨和抛光,然而其游离磨粒的特性导致了材料去除率偏低,加工效率遭遇瓶颈,此外,其磨浆中的化学物质也会造成环境成本的提高。为了进一步提高氮化铝陶瓷的抛光效率,解决环境不友好问题,首先采用陶瓷结合剂固结磨粒磨具开展氮化铝陶瓷的干式固结磨粒抛光试验,结果表明,固结磨粒抛光可以获得更高的材料去除率,但排屑困难会导致表面完整性的恶化。针对这一情况,随后采用了在干式抛光过程中对磨具施加椭圆超声振动的方法,试验结果证明椭圆超声振动对排屑有促进作用,有利于提高抛光质量和材料去除效率。
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关键词
氮化铝陶瓷
研磨和抛光
固结磨粒抛光
超声辅助加工
椭圆超声振动
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Keywords
AlN ceramics
Lapping and polishing
Fixed-abrasive polishing
ultrasonic assisted machining
Elliptic ultrasonic vibration
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分类号
TQ174.758.11
[化学工程—陶瓷工业]
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