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放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响
被引量：
5
1
作者
唐中华
洪布双
+1 位作者
徐东升
辛煜
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期84-90,共7页
利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探...
利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探针的测量方法详细研究了放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响。结果发现,电负性气体如SF6、Cl2、O2掺入到Ar等离子体中,均大幅度降低了等离子体的电子密度,强电负性气体的掺入对电子密度的下降尤为明显,随着电负性气体的不断掺入,电子密度趋于稳定值。文中也解释了射频放电功率和放电气压对电子密度造成的影响。
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关键词
等离子体
电负性气体
微波共振探针
电子密度
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职称材料
微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响
被引量：
3
2
作者
陈小锰
邓新绿
+3 位作者
张治国
刘天伟
丁万昱
徐军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期146-149,共4页
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度...
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长。本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响。
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关键词
等离子体特性
ECR
等离子体增强化学气相沉积
微波
膜性能
等离子体密度
结构和性能
DLC膜
均方根粗糙度
电子温度
类金刚石膜
工艺研究
工作气压
沉积条件
变化曲线
拉曼光谱
探针法
CH4
表面
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职称材料
题名
放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响
被引量：
5
1
作者
唐中华
洪布双
徐东升
辛煜
机构
苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期84-90,共7页
基金
江苏省前瞻性产学研联合研究项目(批准号:BY2010125)
国家自然科学基金项目(批准号:11175127)
文摘
利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Cl2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量。首先,将微波共振探针在Ar等离子体中的测量结果与朗缪尔探针结果进行对比,确定微波共振探针精确测量的实用范围;其次,运用微波共振探针的测量方法详细研究了放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响。结果发现,电负性气体如SF6、Cl2、O2掺入到Ar等离子体中,均大幅度降低了等离子体的电子密度,强电负性气体的掺入对电子密度的下降尤为明显,随着电负性气体的不断掺入,电子密度趋于稳定值。文中也解释了射频放电功率和放电气压对电子密度造成的影响。
关键词
等离子体
电负性气体
微波共振探针
电子密度
Keywords
plasma
,
electronegative gas
,
microwave resonator probe
,
electron density
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响
被引量：
3
2
作者
陈小锰
邓新绿
张治国
刘天伟
丁万昱
徐军
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期146-149,共4页
基金
国家自然科学基金(No.50135040
50390060)
文摘
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度有利于DLC膜的生长。本文示出了不同的CH4流量时,DLC膜的拉曼光谱和表面均方根粗糙度Rrms变化曲线,阐述了等离子体密度Ne、电子温度Te对DLC膜结构和性能的影响。
关键词
等离子体特性
ECR
等离子体增强化学气相沉积
微波
膜性能
等离子体密度
结构和性能
DLC膜
均方根粗糙度
电子温度
类金刚石膜
工艺研究
工作气压
沉积条件
变化曲线
拉曼光谱
探针法
CH4
表面
Keywords
Diamond like carbon films
electron
cyclotron resonance
Film growth
Mechanical properties
Microstructure
microwave
s
plasma
density
plasma
probe
s
分类号
O531 [理学—等离子体物理]
TL612 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响
唐中华
洪布双
徐东升
辛煜
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响
陈小锰
邓新绿
张治国
刘天伟
丁万昱
徐军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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