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Intelligent System for Mask Phase-Shifter Design
1
作者 杨代明 冯伯儒 +2 位作者 侯德胜 张锦 周崇喜 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第S1期76-81,共6页
讨论了一个用于相移掩模智能设计的专家系统。这个系统包括输入输出系统,仿真系统,知识库系统,人—机接口,黑板系统。它有一个包括图形获取、预处理、模式抽取、搜索与解释、图形复合与输出等环节的工作过程。系统的软件实现运用了... 讨论了一个用于相移掩模智能设计的专家系统。这个系统包括输入输出系统,仿真系统,知识库系统,人—机接口,黑板系统。它有一个包括图形获取、预处理、模式抽取、搜索与解释、图形复合与输出等环节的工作过程。系统的软件实现运用了面向对象的表示方法。 展开更多
关键词 相移掩模 专家系统 智能系统
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基于波前编码的制冷型红外光学系统焦深拓展研究 被引量:2
2
作者 王馨竹 杨磊 +3 位作者 段文浩 杨童 刘万成 谢洪波 《光子学报》 北大核心 2025年第1期124-135,共12页
设计二次成像方式,解决了相位板放置位置和探测器冷阑结构之间的位置冲突,完成了制冷型红外光学系统的结构设计。引入波前编码技术,结合截止频率处调制传递函数的变化趋势和对调制传递函数曲线一致性的客观评价,分析相位板参数取值对系... 设计二次成像方式,解决了相位板放置位置和探测器冷阑结构之间的位置冲突,完成了制冷型红外光学系统的结构设计。引入波前编码技术,结合截止频率处调制传递函数的变化趋势和对调制传递函数曲线一致性的客观评价,分析相位板参数取值对系统的不同影响,直接得到合适的相位板参数。利用光学软件对波前编码系统进行仿真,并采用Lucy-Richardson迭代算法恢复编码模糊图像。基于像素及人眼视觉感受对复原图像进行综合评价,证明波前编码技术有效拓展了普通红外光学系统的焦深,可拓展至原焦深范围的20倍。 展开更多
关键词 光学设计 红外光学系统 波前编码 焦深拓展 相位板
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大色散啁啾光纤光栅制作及其色散测量方法研究
3
作者 高轶 刘炳锋 +2 位作者 张钰民 黄齐胜 宋言明 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第6期259-269,共11页
啁啾光纤光栅(Chirped Fiber Bragg Grating,CFBG)作为一种广泛应用的色散调控元件,在光纤飞秒激光系统中扮演着至关重要的脉冲展宽器角色。因此,设计并制作高品质CFBG及其高精度色散测量技术,显得尤为重要。文中基于线性相位掩模结合... 啁啾光纤光栅(Chirped Fiber Bragg Grating,CFBG)作为一种广泛应用的色散调控元件,在光纤飞秒激光系统中扮演着至关重要的脉冲展宽器角色。因此,设计并制作高品质CFBG及其高精度色散测量技术,显得尤为重要。文中基于线性相位掩模结合光束扫描曝光技术,制作了中心波长为1035 nm,3 dB带宽大于30 nm,反射率约90%的长栅区大色散CFBG。针对迈克尔逊白光干涉色散测量过程中的噪声与相位解算问题,提出一种小波阈值去噪结合扩展卡尔曼滤波的CFBG色散测量方法。实验结果表明,该CFBG的色散测量值为20.9283 ps/nm@1030 nm,且多次重复测量的最大误差可控制在±0.025 ps/nm内,相比于傅里叶变换法,该方法具有更高的测量精度。该大色散CFBG的制作及色散测量方法,结合色散调谐技术可实现精确的色散管理,有望应用于全光纤飞秒激光器的色散精准匹配。 展开更多
关键词 啁啾光纤光栅 线性相位掩模 迈克尔逊白光干涉 小波阈值去噪 扩展卡尔曼滤波 色散测量
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扩大光学系统焦深范围的光学成象新技术研究 被引量:10
4
作者 惠彬 刘新平 +2 位作者 汶德胜 刘良云 苗兴华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期594-597,共4页
如何增大非相干光学系统的焦深已成为一项有意义的研究主题 .对于普通光学系统 ,其焦深与光学系统的相对孔径平方成反比 .为了增大焦深 ,通常的做法是缩小相对孔径 ,但这种做法有其缺点 :会降低光学系统的光通量及调制传递函数 (MTF)和... 如何增大非相干光学系统的焦深已成为一项有意义的研究主题 .对于普通光学系统 ,其焦深与光学系统的相对孔径平方成反比 .为了增大焦深 ,通常的做法是缩小相对孔径 ,但这种做法有其缺点 :会降低光学系统的光通量及调制传递函数 (MTF)和分辨率 .本文提出了一种新方法 ,通过在光学系统光路中加入一特殊设计的非球面掩模板 ,并用图象处理技术对相位掩模板编码后的图象进行解码得到清晰图象 .保证了光学系统在维持原有相对孔径的同时扩大其焦深范围 。 展开更多
关键词 离焦 相位掩膜板 光学传递函数 调制传递函数 模糊函数 稳相法 非相干光学系统 焦深 光学成像 非球面掩摸板 图像处理 光学透感器
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一种基于OTF稳定性的波前编码相位板优化方法 被引量:10
5
作者 张文字 陈燕萍 +2 位作者 赵廷玉 叶子 余飞鸿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2017-2021,共5页
提出了一种简单的可用于光学系统中子午弧矢方向白光OTF稳定性评价的波前编码相位板参量优化方法.该方法仅以标准偏差来评价OTF在目标景深范围内的稳定性,并且结合自适应模拟退火算法在参量空间内优化得到相位板的最佳参量.使用该方法... 提出了一种简单的可用于光学系统中子午弧矢方向白光OTF稳定性评价的波前编码相位板参量优化方法.该方法仅以标准偏差来评价OTF在目标景深范围内的稳定性,并且结合自适应模拟退火算法在参量空间内优化得到相位板的最佳参量.使用该方法优化得到的相位板参量,可以大幅度提高光学系统的景深,并且可以获得更为清晰、稳定的成像.对应用波前编码技术前后光学系统的成像性能作了比较,并且考察了优化参量的容差性. 展开更多
关键词 波前编码 相位板 景深 光学传递函数稳定性 自适应模拟退火 优化
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两种封装的光纤光栅温度传感器的低温特性 被引量:36
6
作者 郭明金 姜德生 袁宏才 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期326-330,共5页
介绍了光纤光栅(FBG,Fiber Bragg Gratings)温度传感器的两种封装形式。推导了两种FBG温度传感器的温度敏感因素并进行了实验验证。实验研究了两种FBG温度传感器在-70~0℃的中心波长低温变化特性,比较了相同条件下两种FBG温度传感... 介绍了光纤光栅(FBG,Fiber Bragg Gratings)温度传感器的两种封装形式。推导了两种FBG温度传感器的温度敏感因素并进行了实验验证。实验研究了两种FBG温度传感器在-70~0℃的中心波长低温变化特性,比较了相同条件下两种FBG温度传感器的实验结果。结果表明:细不锈钢管封装的FBG温度传感器的中心波长在-60℃时发生了突变,急剧下降;而镀金FBG温度传感器的中心波长在-70~0℃随温度线性变化,重复性较好并且几乎没有迟滞现象。两种传感器在线性变化区间的温度灵敏系数KT分别为28.2pm/℃和21.3pm/℃,分别是裸光纤布拉格光栅的3倍和2.3倍,它们的线性拟合度都超过0.999。 展开更多
关键词 导波与光纤光学 光纤布拉格光栅 相位掩模 封装工艺 低温特性
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光纤光栅在线制备技术研究进展 被引量:15
7
作者 余海湖 郑羽 +1 位作者 郭会勇 姜德生 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期12001-12005,共5页
光纤(布喇格)光栅是一种重要的光纤光学器件,在光纤通信、传感等领域被大量应用。在现阶段,光纤光栅几乎全部是在光纤静止的状态制备,再将光栅焊接组成光纤光栅阵列或网络。这种制备光栅并焊接形成光纤光栅网络的方式,效率低、光栅抗拉... 光纤(布喇格)光栅是一种重要的光纤光学器件,在光纤通信、传感等领域被大量应用。在现阶段,光纤光栅几乎全部是在光纤静止的状态制备,再将光栅焊接组成光纤光栅阵列或网络。这种制备光栅并焊接形成光纤光栅网络的方式,效率低、光栅抗拉强度低,不能满足物联网建设的需求。解决这个问题的途径是发展拉丝塔上在线制备光栅技术。介绍了光纤光栅制备技术的发展历史以及在光纤拉丝塔上在线制备光栅的研究现状。采用相位掩模法在拉丝塔上在线连续制备光栅,可以制备光栅中心波长一致性、反射率一致性和光栅谱型一致性均较好的弱光栅阵列,可以用于研制基于全同弱光栅的光纤光栅传感网。 展开更多
关键词 光纤布喇格光栅 在线连续制备 相位掩模法 中心波长 反射率 抗拉强度
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波前编码系统的新设计 被引量:8
8
作者 雷广智 张新 +3 位作者 张建萍 杨皓明 何锋贇 张欣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1171-1176,共6页
利用传统光学系统评价指标斯特利尔比和能量集中度来表征波前编码系统的成像特征,建立了系统"离焦不敏感性"的评价函数。采用所建立的评价函数设计了应用波前编码技术的三片式系统,系统焦深比原系统扩展10×以上。结果表... 利用传统光学系统评价指标斯特利尔比和能量集中度来表征波前编码系统的成像特征,建立了系统"离焦不敏感性"的评价函数。采用所建立的评价函数设计了应用波前编码技术的三片式系统,系统焦深比原系统扩展10×以上。结果表明:新设计方法使得波前编码系统设计得以在流行的光学设计软件CODE Ⅴ、zemax中实现,并可以很方便地控制"离焦不敏感性"和"图像可恢复性"之间的平衡,解决了目前波前编码系统设计时没有现成软件,没有成熟方法的问题。 展开更多
关键词 焦深 波前编码 相位板 优化设计
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光纤光栅制作技术研究 被引量:7
9
作者 刘洋 王小兵 +3 位作者 孙斌 张玺 程勇 王立军 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期348-350,354,共4页
光纤光栅在光纤通信、光纤传感及光纤光学等领域内具有重大的应用价值,近年来受到了人们的广泛关注和高度重视。文中介绍了光纤的增敏方法及常用的光纤光栅制作方法,分析了各种光纤光栅制作方法的优缺点,并通过实验成功制作了反射率达到... 光纤光栅在光纤通信、光纤传感及光纤光学等领域内具有重大的应用价值,近年来受到了人们的广泛关注和高度重视。文中介绍了光纤的增敏方法及常用的光纤光栅制作方法,分析了各种光纤光栅制作方法的优缺点,并通过实验成功制作了反射率达到99.96%的单模光纤光栅。 展开更多
关键词 光纤光栅 光敏性 全息 相位掩膜
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相移掩模和光学邻近效应校正光刻技术 被引量:15
10
作者 冯伯儒 张锦 +2 位作者 侯德胜 周崇喜 苏平 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期1-5,共5页
详细地论述了相移掩模提高光刻分辨力和改善焦深的原理。介绍了光学邻近效应校正方法。
关键词 相移掩模 光学邻近效应校正 光刻技术
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光折变相位型波带片 被引量:3
11
作者 温海东 刘思敏 +4 位作者 张心正 郭儒 陈晓虎 江瑛 许京军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第7期851-855,共5页
利用成象方法和光折变效应 ,在 Li Nb O3∶ Fe晶体中成功地写入了光折变相位型波带片 .其衍射效率可达到 2 1 % .该制作方法具有实时、简便等优点 .
关键词 光折变 相位型波带片 相位图 成象法 LINBO3:FE晶体 集成光学 衍射
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一种新的相位编码幅值调节联合变换相关器(英文) 被引量:21
12
作者 李春 安毓英 曾晓东 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期327-331,共5页
给出了一种对经典联合变换相关器进行相位编码和幅值调节的新方法 ,使联合变换相关器具有优化的相关输出信号和很强的抗干扰能力 .在相位编码幅值调节联合变换相关器中 ,输入的待识别信号首先通过相位模板进行相位编码 ,然后对联合功率... 给出了一种对经典联合变换相关器进行相位编码和幅值调节的新方法 ,使联合变换相关器具有优化的相关输出信号和很强的抗干扰能力 .在相位编码幅值调节联合变换相关器中 ,输入的待识别信号首先通过相位模板进行相位编码 ,然后对联合功率谱进行幅值调节滤波 .在进行幅值调节滤波时采用了增强型幅值调节滤波器 ,其调节因子可根据输信号的噪音干扰情况进行调节变化 .相位编码幅值调节有效地祛除了多目标识别联合变换相关器的冗余信号 ,可广泛的应用于多目标识别 . 展开更多
关键词 光学图像识别 联合变换相关器 相位模板 幅值调节滤波器 光电混合图像识别系统
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基于波前编码的红外无热化光学系统相位掩模板热效应特性分析(英文) 被引量:5
13
作者 陈守谦 范志刚 +1 位作者 许志高 肖昊苏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期210-215,共6页
分析了基于波前编码技术的无热化光学系统中相位掩模板的自身热效应,得到了不同温度下光瞳处相位板相位函数的变化.分析了由相位板热效应引起的波前编码系统成像特性的变化.通过数值及图像仿真证明了相位板热效应对波前编码无热化光学... 分析了基于波前编码技术的无热化光学系统中相位掩模板的自身热效应,得到了不同温度下光瞳处相位板相位函数的变化.分析了由相位板热效应引起的波前编码系统成像特性的变化.通过数值及图像仿真证明了相位板热效应对波前编码无热化光学系统性能产生的影响.结果表明,相位板热效应对系统MTF(调制传递函数)的离焦不变特性和编码图像的可复原性产生严重的影响. 展开更多
关键词 波前编码 无热化 热效应 相位掩模板
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一种优化波前编码系统相位板参数的新方法 被引量:8
14
作者 范志刚 付强 +1 位作者 陈守谦 吕天宇 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期1-6,共6页
根据波前编码系统的设计理论,在兼顾图像恢复能力的基础上,提出利用不同离焦距离的点扩散函数与焦面处的点扩散函数之间的希尔伯特空间角作为成像特性一致性的评价函数,结合遗传算法,对扩大景深的波前编码成像系统的相位板参数进行优化... 根据波前编码系统的设计理论,在兼顾图像恢复能力的基础上,提出利用不同离焦距离的点扩散函数与焦面处的点扩散函数之间的希尔伯特空间角作为成像特性一致性的评价函数,结合遗传算法,对扩大景深的波前编码成像系统的相位板参数进行优化。分别在空间域和频率域上分析应用波前编码技术前后光学系统的成像特性,并利用最小二乘数字滤波器对中间模糊图像进行复原。仿真实验结果表明:在三次相位板上应用此方法获得的最佳相位板参数使波前编码系统焦深扩展了10倍。 展开更多
关键词 波前编码 相位板参数优化 希尔伯特空间角 点扩散函数
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准分子激光相位掩模法制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜 被引量:5
15
作者 张健 林广平 +2 位作者 张睿 崔国宇 李传南 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期58-63,共6页
为扩大晶粒尺寸并降低晶粒间界缺陷对多晶硅薄膜晶体管的不良影响,采用准分子激光相位掩模法制备了大晶粒尺寸的多晶硅薄膜。首先,在无相位掩模时利用不同能量密度的准分子激光晶化非晶硅薄膜,通过扫描电镜观测晶粒尺寸确定超级横向生... 为扩大晶粒尺寸并降低晶粒间界缺陷对多晶硅薄膜晶体管的不良影响,采用准分子激光相位掩模法制备了大晶粒尺寸的多晶硅薄膜。首先,在无相位掩模时利用不同能量密度的准分子激光晶化非晶硅薄膜,通过扫描电镜观测晶粒尺寸确定超级横向生长的能量窗口;然后,在该能量密度下采用周期为1 073nm的相位掩模板对入射光束进行相位调制,在样品表面形成人工可控的横向温度梯度,使非晶硅熔化并横向生长结晶为多晶硅;最后,对薄膜特性进行测量,并与非晶硅薄膜和超级横向生长制备的多晶硅薄膜进行比较。结果表明:本文方法制作的薄膜的平均晶粒尺寸提高了一个数量级,达到了228.24nm;薄膜电阻率降低一个数量级,为18.9Ω.m;且晶粒分布规则有序。该方法能有效提高多晶硅薄膜的电学特性,适用于高质量多晶硅薄膜器件的制作。 展开更多
关键词 多晶硅薄膜 准分子激光 相位掩模
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波前编码系统相位板视场效应的消除 被引量:5
16
作者 黄薇薇 叶子 +2 位作者 赵廷玉 张文字 余飞鸿 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期983-986,共4页
通过在光学系统的光阑面上加入一个非球面相位板,使得光学系统的成像对离焦不敏感·但当入射视场角较大时,图像的边缘发生变形且难以恢复·针对此问题,提出了两种解决方案,方案一是把相位板移至光路中光线较为平缓的区域,但不... 通过在光学系统的光阑面上加入一个非球面相位板,使得光学系统的成像对离焦不敏感·但当入射视场角较大时,图像的边缘发生变形且难以恢复·针对此问题,提出了两种解决方案,方案一是把相位板移至光路中光线较为平缓的区域,但不是系统的光阑位置;方案二是保持相位板位置不变,优化整个光学系统,使相位板前的光线能够平缓地入射到相位板·实验中对一个EFL=12.5mm,F/#=1.3,半视场角为13.5°的波前编码实际系统进行仿真比较,得出方案二可以有效地消除波前编码相位板引入的视场效应· 展开更多
关键词 视场效应 相位板 波前编码 平缓入射
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球面波照明下傅里叶变换全息多图像加密方法研究 被引量:8
17
作者 沈学举 刘旭敏 +1 位作者 许芹祖 林超 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期488-493,共6页
为了减少加密系统所用模板数,简化隐藏图像对解密过程的影响,采用球面波照明研究了基于傅里叶变换全息的多图像加密隐藏方法,并进行了加密、加密图像隐藏和解密的理论分析和数值模拟,加密图像和原始图像间的相关系数趋于0,宿主图像和加... 为了减少加密系统所用模板数,简化隐藏图像对解密过程的影响,采用球面波照明研究了基于傅里叶变换全息的多图像加密隐藏方法,并进行了加密、加密图像隐藏和解密的理论分析和数值模拟,加密图像和原始图像间的相关系数趋于0,宿主图像和加密图像的叠加系数ρ<0.3时,宿主图像和隐藏图像的相关系数趋于1,解密图像和原始图像间的相关系数趋于1。结果表明,该加密隐藏方法的加密、解密和隐藏效果良好。 展开更多
关键词 信息光学 光学图像加密 加密图像隐藏 二值随机相位模板 傅里叶变换全息 球面波照明
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相位掩模的近场衍射特性分析 被引量:6
18
作者 贾宏志 李育林 忽满利 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第12期1100-1102,共3页
用相位掩模法制造光纤光栅是一种简单、有效的方法 .本文用标量衍射理论对相位掩模的近场衍射特性进行了分析 ,讨论了各级衍射光形成的干涉条纹的分布情况 。
关键词 光纤光栅 相位掩膜 近场光强分布 近场衍射特性
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大焦深成像系统仿真实验研究 被引量:3
19
作者 汶德胜 车双良 +1 位作者 乔卫东 郑培云 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期618-621,共4页
如何增大非相干光学成像系统的焦深是应用光学研究领域的热点问题 .本文对采用高次非球面光学掩模板与图像处理相结合增大成像光学系统焦深的新方法进行了深入分析 ,建立了大焦深成像系统仿真实验模型 ,并进行了大焦深成像系统仿真实验 ... 如何增大非相干光学成像系统的焦深是应用光学研究领域的热点问题 .本文对采用高次非球面光学掩模板与图像处理相结合增大成像光学系统焦深的新方法进行了深入分析 ,建立了大焦深成像系统仿真实验模型 ,并进行了大焦深成像系统仿真实验 .实验结果证明了该方法在维持原相对孔径的同时使光学系统在较大的离焦范围内有好的成像质量 .实际应用中还要综合考虑模板参量。 展开更多
关键词 大焦深成像系统 仿真 实验研究 非相干光学成像系统 图像处理 高次非球面光学掩模板 光学系统 波前编码
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可提高光刻分辨率的新技术 被引量:8
20
作者 罗先刚 姚汉民 +2 位作者 周冲喜 冯伯儒 陈旭南 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第9期834-837,共4页
详细研究了离轴掩模的原理 ,将离轴照明 (OAI)与相移掩模 (PSM)技术结合起来 ,在掩模上同时实现两种功能 ,较大程度地提高了光刻分辨力 .实验表明 ,在数值孔径 0 .42 ,i线曝光波长下 ,可将光刻分辨力从 0 .8μm提高到 0 .5μm.
关键词 离轴照明 相移掩模 光刻分辨力 大规模集成电路
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