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Intelligent System for Mask Phase-Shifter Design
1
作者
杨代明
冯伯儒
+2 位作者
侯德胜
张锦
周崇喜
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期76-81,共6页
讨论了一个用于相移掩模智能设计的专家系统。这个系统包括输入输出系统，仿真系统，知识库系统，人—机接口，黑板系统。它有一个包括图形获取、预处理、模式抽取、搜索与解释、图形复合与输出等环节的工作过程。系统的软件实现运用了...
讨论了一个用于相移掩模智能设计的专家系统。这个系统包括输入输出系统，仿真系统，知识库系统，人—机接口，黑板系统。它有一个包括图形获取、预处理、模式抽取、搜索与解释、图形复合与输出等环节的工作过程。系统的软件实现运用了面向对象的表示方法。
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关键词
相移掩模
专家系统
智能系统
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职称材料
题名
Intelligent System for Mask Phase-Shifter Design
1
作者
杨代明
冯伯儒
侯德胜
张锦
周崇喜
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期76-81,共6页
文摘
讨论了一个用于相移掩模智能设计的专家系统。这个系统包括输入输出系统，仿真系统，知识库系统，人—机接口，黑板系统。它有一个包括图形获取、预处理、模式抽取、搜索与解释、图形复合与输出等环节的工作过程。系统的软件实现运用了面向对象的表示方法。
关键词
相移掩模
专家系统
智能系统
Keywords
phase shifting mask
,
expert system
,
intelligent system.
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Intelligent System for Mask Phase-Shifter Design
杨代明
冯伯儒
侯德胜
张锦
周崇喜
《光电工程》
CAS
CSCD
1997
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