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“高强韧PVD硬质防护及功能涂层”专题序言
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作者 张世宏 常可可 《表面技术》 北大核心 2025年第1期I0006-I0006,I0005,共2页
随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在... 随着航空航天、精密机械等领域的关键部件向高可靠性、高效率和高精度方向持续转变,关/重部件对长寿命化要求也日益增加。通过对关/重部件表面进行高强韧PVD硬质防护/功能化涂层处理,可以赋予其抗磨、减摩、耐蚀、耐热等性能,提升其在苛刻条件下的使役性能和服役寿命,助力制造业高质量发展,为新质生产力“蓄势赋能”。 展开更多
关键词 高强韧 服役寿命 pvd 苛刻条件 功能涂层 航空航天 精密机械 制造业
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PS-PVD YSZ/GZO复合涂层制备工艺优化
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作者 李新慧 何箐 +3 位作者 王世兴 由晓明 邹晗 赵乾 《中国表面工程》 北大核心 2025年第4期266-279,共14页
目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影... 目前等离子物理气相沉积(PS-PVD)技术为制备高隔热、长寿命柱状结构热障涂层提供了巨大潜力,但PS-PVD工艺参数较多、工艺复杂,且各参数之间存在交互作用,导致涂层微结构及性能存在明显差异。为探究PS-PVD工艺参数对涂层微结构及性能影响的交互作用规律,采用田口试验方法(Taguchi method),以喷涂电流、喷涂步进和送粉速率等工艺参数为影响因子,以涂层微结构特征、燃气热冲击寿命等为响应值,分析各响应值均值的主效应图、方差以及交互作用。研究结果表明,在其他参数一定的情况下,对YSZ/GZO涂层寿命影响的显著性依次是喷涂步进>喷涂电流>送粉速率,这种情况下优选的工艺参数依次为喷涂步进200 mm,喷涂电流2200 A,送粉速率10 g/min,1350℃燃气热冲击寿命可达3062次。通过田口试验方法系统研究各工艺参数之间的交互作用以及对涂层微结构和燃气热冲击寿命的影响规律,有效提高试验数据的准确性、可靠性,降低研发成本及试验周期,制备出高性能、长寿命PS-PVD YSZ/GZO复合涂层,掌握了该复合涂层微结构调控及可控制备方法。 展开更多
关键词 等离子物理气相沉积 热障涂层 田口试验 热冲击寿命 交互作用
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海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层的研究进展 被引量:1
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作者 郭鹏 陈仁德 +4 位作者 李昊 杨葳 西村一仁 柯培玲 汪爱英 《中国表面工程》 CSCD 北大核心 2024年第6期1-20,共20页
先进表面涂层防护技术是海工装备关键金属运动系统磨损与腐蚀防护、保障海工装备高性能长寿命可靠服役的关键途径。其中,物理气相沉积(PVD)抗磨蚀防护涂层材料兼具耐老化、耐磨性、耐腐蚀等优势,特别是可满足深海或远海机械系统相关精... 先进表面涂层防护技术是海工装备关键金属运动系统磨损与腐蚀防护、保障海工装备高性能长寿命可靠服役的关键途径。其中,物理气相沉积(PVD)抗磨蚀防护涂层材料兼具耐老化、耐磨性、耐腐蚀等优势,特别是可满足深海或远海机械系统相关精密运动部件的高可靠性与稳定性要求,是抗磨蚀防护的有效技术手段之一。围绕海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层材料及应用技术发展现状,重点介绍现有防护涂层材料体系,碳基、氮基涂层因优异耐磨及耐腐蚀性能而获得较多关注,改善膜基界面结合强度及涂层致密性等是提升其抗磨蚀性能的关键因素,而高熵涂层及过渡金属二硫属化物(TMD)涂层磨蚀防护性能也成为基础及应用研究的热点。总结主要的涂层磨蚀评价方法,目前在外加电位下开展涂层磨蚀测试性能评价的应用较多,引入理论计算研究涂层磨蚀性能及相关失效机理已逐渐开展。围绕疲劳/重载下磨蚀防护需求,介绍PVD复合喷涂、微弧氧化、热处理等兼具高承载、长寿命的复合强化抗磨蚀防护涂层材料技术的新进展。列举PVD抗磨蚀涂层在海水传动液压马达和液压泵、船舶低速柴油机柱塞、水下安全阀、钻井泵阀体阀座以及涉海直升机操纵杆等核心涉海装备部件上的典型应用,并对海洋环境PVD抗磨蚀防护涂层的未来发展方向进行思考与展望,为进一步发展高性能海洋抗磨蚀涂层材料技术提供参考。 展开更多
关键词 海洋环境 物理气相沉积(pvd)涂层 磨蚀性能 评价方法 典型应用
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PVD涂层刀具铣削45钢磨损机理分析
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作者 杜佳轩 王琪 +2 位作者 邹长东 居殿春 黄杰 《工具技术》 北大核心 2024年第7期35-40,共6页
采用PVD涂层硬质合金刀具对45钢材料进行切削加工实验,研究其磨损机理。采用不同Ti, Al比例的TiAl金属靶材制备TiAlN和AlTiN涂层,同时延长AlTiN涂层时间;通过TiSi金属靶材实现Si的掺杂并制备TiAlSiN涂层,进一步提高涂层的硬度和自润滑... 采用PVD涂层硬质合金刀具对45钢材料进行切削加工实验,研究其磨损机理。采用不同Ti, Al比例的TiAl金属靶材制备TiAlN和AlTiN涂层,同时延长AlTiN涂层时间;通过TiSi金属靶材实现Si的掺杂并制备TiAlSiN涂层,进一步提高涂层的硬度和自润滑性。结果表明,在铣削45钢时,刀具前刀面出现涂层崩缺、黏结、微裂纹和崩刃等磨损形式,刀具后刀面出现黏结层、条纹、崩刃、凹坑等磨损形式。PVD涂层刀具的磨损机理主要为黏结磨损、磨粒磨损、扩散磨损和氧化磨损。 展开更多
关键词 pvd涂层 磨损机理 切削性能
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转子钢20Cr13表面硬质PVD涂层摩擦磨损性能分析
5
作者 杨剑 沙鹏 +2 位作者 李伟 沈奎双 雷学林 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期146-152,共7页
通过多弧离子镀与磁控溅射结合工艺在20Cr13表面分别制备CrN、TiN、TiAlCrN3种PVD涂层,研究3种涂层的摩擦磨损性能。结果表明,各类涂层均能提升基材性能,其中TiAlCrN涂层试样硬度较高(67 845 N/mm~2),CrN涂层试样薄膜结合力较高(30 N)... 通过多弧离子镀与磁控溅射结合工艺在20Cr13表面分别制备CrN、TiN、TiAlCrN3种PVD涂层,研究3种涂层的摩擦磨损性能。结果表明,各类涂层均能提升基材性能,其中TiAlCrN涂层试样硬度较高(67 845 N/mm~2),CrN涂层试样薄膜结合力较高(30 N)、表面质量较优,TiN涂层试样对比另外两种涂层试样性能较差。TiAlCrN涂层试样摩擦因数较高(0.619),其硬度高、结合力好、耐磨损能力较强。在摩擦磨损试验中TiAlCrN涂层与CrN涂层表面所形成的耐磨、抛光作用的氧化膜增强了基底耐磨性能。综合考虑,TiAlCrN涂层为转子表面理想耐磨涂层。 展开更多
关键词 转子 多弧离子镀 磁控溅射 pvd涂层 摩擦磨损
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国内PVD技术应用与研究现状 被引量:11
6
作者 梁红樱 赵海波 +2 位作者 王辉 张欣苑 李祝 《工具技术》 北大核心 2007年第6期33-36,共4页
在总结目前国内商业应用刀具PVD技术的发展状况的基础上,介绍了国内纳米超硬薄膜的研究现状及特点;分析了国内当前PVD技术应用与研究所存在的问题,提出了研究、开发的新思路。
关键词 pvd 超硬薄膜 纳米 制备技术
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EB-PVD热障涂层对IC10合金力学性能的影响 被引量:11
7
作者 吴小梅 贺世美 +1 位作者 李建平 何利民 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期77-80,共4页
采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MP... 采用电弧离子镀技术在IC10合金基体上制备NiCrAlYSi粘结层,利用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在粘结层上制备YSZ陶瓷面层。研究了YSZ热障涂层对IC10合金拉伸、持久、疲劳性能的影响。结果表明:IC10合金沉积YSZ热障涂层后,980℃/200MPa高温持久寿命与IC10合金相当;900℃高温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2、伸长率δ和断面收缩率ψ与基体相比,基本保持不变;室温抗拉强度σb、屈服强度σ0.2与基体相比稍有下降;800℃/447MPa疲劳寿命与基体合金相当。因此,IC10合金沉积TBCs涂层后,对IC10合金力学性能无明显影响,不影响合金的实际使用。 展开更多
关键词 IC10合金 EB—pvd热障涂层 力学性能
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摩擦力—划痕法评定PVD多层薄膜结合强度研究 被引量:4
8
作者 朱有利 黄元林 +1 位作者 石宗利 李重庵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期984-986,共3页
采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与... 采用摩擦力 -划痕法评定了 PVD Ag- Cu/Ti/stainless!steel双层薄膜的结合强度 ,测得其顶层与底层及底层与基体间的临界荷载值分别为 LC1、LC2 ,其中 LC1随膜厚的增加而减小 ,LC2 随膜厚的增加变化不大 ,且和Ti单层膜的 LC值相近。这与膜厚及膜内应力变化有关。实验结果表明 ,采用摩擦力 -划痕法评定多层薄膜结合强度有其独特的优点。可以确定多层膜中不同膜层的 LCi值 ,并以此来表征各层或某些层的结合强度值。 展开更多
关键词 摩擦力-划痕法 pvd 多层薄膜 综合强度
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PVD陶瓷覆膜工艺对控压节流阀耐冲蚀性能影响研究 被引量:5
9
作者 王国荣 朱颢 +1 位作者 楚飞 陶思宇 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第2期145-149,共5页
采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为T... 采用PVD陶瓷覆膜工艺对控压钻井节流阀阀芯表面处理,通过实验对比研究不同表面覆膜处理的阀芯耐冲蚀性能。结果表明,经过冲蚀后,Ti Al N涂层材料阀芯的质量损失约为Ti N涂层材料的1/3,Ti Al N涂层材料阀芯冲蚀最严重处表面轮廓损失约为Ti N涂层材料的1/2,Ti Al N涂层材料在提升控压钻井节流阀耐冲蚀性能和使用可靠性上较Ti N涂层材料优越。 展开更多
关键词 控压钻井 节流阀 pvd 冲蚀
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低温PVD法制备多组分超硬薄膜研究 被引量:7
10
作者 彭志坚 齐龙浩 +2 位作者 刘大鹏 李文治 苗赫濯 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2003年第1期110-116,共7页
对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PV... 对薄膜淀积的各种PVD技术和新型薄膜研究进展进行了综述 ,讨论了多组分硬质薄膜低温制备存在的问题 ,指出了解决的办法 ;归纳了影响多组分硬质薄膜在三维基体上均匀、均质淀积的因素 ,重点讨论了基体旋转与靶源配置问题 ;指出了用低温PVD法淀积多组分超硬薄膜研究方向。 展开更多
关键词 低温pvd 制备 多组分超硬薄膜 物理气相沉积
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PVD法及与电镀复合制备光纤腐蚀传感器的Fe-C合金敏感膜 被引量:7
11
作者 雒娅楠 邱志刚 +3 位作者 宋诗哲 董飒英 王洪仁 于辉 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期947-951,共5页
用PVD法制备光纤腐蚀传感器 (FOCS)的Fe C合金敏感膜 ,在光纤纤芯上得到厚度大约 1 μm的Fe C合金膜 ,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应 .为了增加敏感膜的厚度 ,根据平面波导与圆柱波导的相似性 ,采用PVD与电镀复合的方法在平板石... 用PVD法制备光纤腐蚀传感器 (FOCS)的Fe C合金敏感膜 ,在光纤纤芯上得到厚度大约 1 μm的Fe C合金膜 ,而且光信号对敏感膜的腐蚀信息有响应 .为了增加敏感膜的厚度 ,根据平面波导与圆柱波导的相似性 ,采用PVD与电镀复合的方法在平板石英玻璃上制备Fe C合金膜 ,研究该膜层的形貌、结构和在不同NaCl溶液中的耐蚀性 .结果表明 :复合制备的Fe C合金膜的结构和耐蚀性与普通碳钢近似 ,并初步监测了光信号对敏感膜腐蚀信息的响应 。 展开更多
关键词 pvd 光纤腐蚀传感器(FOCS) 电镀 FE-C合金
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Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究 被引量:3
12
作者 赫晓东 单英春 +1 位作者 李明伟 史丽萍 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1544,共3页
提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时... 提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度。结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟。 展开更多
关键词 KINETIC MONTE Carlo 红黑树 pvd 薄膜
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PVD-TiAlN和PVD-TiAlSiN涂层氮化硅刀具的切削性能研究 被引量:9
13
作者 曾俊杰 龙莹 伍尚华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2450-2455,共6页
采用物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)工艺在氮化硅陶瓷刀具表面分别沉积Ti Al N和Ti Al Si N涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)研究Ti Al N和Ti Al Si N涂层表面形貌和微观结构,X射线衍射仪(XRD)研究涂层晶体结构,显微硬度计... 采用物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)工艺在氮化硅陶瓷刀具表面分别沉积Ti Al N和Ti Al Si N涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)研究Ti Al N和Ti Al Si N涂层表面形貌和微观结构,X射线衍射仪(XRD)研究涂层晶体结构,显微硬度计表征涂层硬度。采用Ti Al N和Ti Al Si N涂层氮化硅刀具对灰铸铁进行连续干切削试验,分别研究Ti Al N和Ti Al Si N涂层对刀具寿命、磨损性能的影响,并探讨涂层刀具磨损机理。实验结果表明:Ti Al Si N涂层晶粒比Ti Al N涂层细小,从而具有更高的表面硬度。Ti Al N涂层可将氮化硅陶瓷刀具寿命提高50%左右,Ti Al Si N涂层可将刀具寿命提高1倍。切削过程中,Ti Al N涂层刀具在磨损初期的主要磨损机理是磨粒磨损和少量粘结磨损,而后转为严重的粘结磨损;而Ti Al Si N涂层刀具主要的磨损机制为磨粒磨损和粘结磨损。 展开更多
关键词 pvd涂层 氮化硅刀具 切削性能
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刀具 PVD 涂层技术的发展 被引量:5
14
作者 李忠厚 刘小平 徐重 《工具技术》 北大核心 1999年第2期3-6,共4页
介绍了刀具PVD涂层技术和材料的发展现状及趋势,指出在进一步开发新型超硬涂层的同时,具有良好应用前景的软涂层已成为研究开发的另一热点。
关键词 刀具 pvd 涂层 超硬材料 软涂层 发展趋势 化学气相沉积 硬质合金
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普通碳钢的一种PVD镀膜及其耐蚀性研究 被引量:2
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作者 王煦 许露之 +2 位作者 张明 韦进勇 周丽娜 《西南石油大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期143-146,213-214,共4页
为了提高水力喷射压裂中喷嘴的耐蚀耐磨性,使用普通碳钢进行PVD镀膜,研究了3种镀膜试样的表面物理性能和脉冲负偏压的影响,采用失重法、电化学法和XRD等测试了PVD镀膜的耐蚀性。结果表明:脉冲负偏压在–400~–700 V,镀层的沉积速率和... 为了提高水力喷射压裂中喷嘴的耐蚀耐磨性,使用普通碳钢进行PVD镀膜,研究了3种镀膜试样的表面物理性能和脉冲负偏压的影响,采用失重法、电化学法和XRD等测试了PVD镀膜的耐蚀性。结果表明:脉冲负偏压在–400~–700 V,镀层的沉积速率和显微硬度随负偏压的增大而降低,膜基结合力先增加后减小;在高流速下,3种试样均表现出良好的耐磨蚀性,模拟地层水流速为6 m/s时,碳钢的磨蚀速率是镀膜试样的4倍;单因素条件下,3种镀膜的腐蚀速率随Cl浓度增加先增加后减小,随pH值增加而减小;3种镀膜中AlCrN(厚)镀膜的耐蚀性最佳,这与镀膜的致密性和牺牲阳极保护作用有关。 展开更多
关键词 碳钢 pvd 镀膜 地层水 腐蚀
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模具PVD涂层值得关注的几个问题 被引量:8
16
作者 张而耕 孔令超 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期110-112,共3页
PVD涂层近年来在模具行业的应用越来越多,涂层时必须考虑使用条件、模具材料、热处理工艺等因素。根据多年涂层行业的工作经验,认为保证模具涂层后基体仍具有高的硬度至关重要,归纳了拉伸模具、剪切模具、铝合金压铸模具和汽车冷镦模具... PVD涂层近年来在模具行业的应用越来越多,涂层时必须考虑使用条件、模具材料、热处理工艺等因素。根据多年涂层行业的工作经验,认为保证模具涂层后基体仍具有高的硬度至关重要,归纳了拉伸模具、剪切模具、铝合金压铸模具和汽车冷镦模具等涂层时应该注意的关键技术问题。 展开更多
关键词 pvd涂层 模具 表面处理 表面强化 热处理
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淬火硬度场数值模拟与PVD技术在牙轮钻头轴承套中的应用 被引量:4
17
作者 何畏 熊尉伶 +2 位作者 李波 张志魁 胡玉茂 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2015年第12期182-186,共5页
建立了轴承套在淬火冷却过程中的有限元模型,分析了硬度场变化规律和分布状态。模拟结果表明:轴承套硬度值沿径向分布从外表面向内表面逐渐递减,满足了轴承套内柔外刚的要求。将模拟硬度值与实测硬度值进行比较,一致性较好,证明所建模... 建立了轴承套在淬火冷却过程中的有限元模型,分析了硬度场变化规律和分布状态。模拟结果表明:轴承套硬度值沿径向分布从外表面向内表面逐渐递减,满足了轴承套内柔外刚的要求。将模拟硬度值与实测硬度值进行比较,一致性较好,证明所建模型的有效性。同时,利用PVD技术试制镀TiN涂层轴承套式滑动轴承牙轮钻头,进行台架试验以及现场实钻对比试验,试验结果表明:镀TiN涂层轴承套式滑动轴承牙轮钻头比原牙轮钻头耐磨性好,工作效率和寿命均有较大的提高。 展开更多
关键词 轴承套 硬度场 数值模拟 台架试验 现场实钻对比试验 pvd
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电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展 被引量:7
18
作者 刘景顺 曾岗 +2 位作者 李明伟 杨森 郭洪飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期246-248,255,共4页
概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。
关键词 电子束物理气相沉积(EB-pvd) 应用 工艺参数 形成机理
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PVD涂层与未涂层硬质合金刀具切削力的对比试验研究 被引量:3
19
作者 奚维斌 张弘弢 朱英臣 《工具技术》 北大核心 2003年第7期33-35,共3页
应用同型号未涂层、TiN涂层和TiCN涂层硬质合金刀具进行切削试验 ,用KISTLER三向测力仪、电荷放大器和PC机组成的切削力数据采集系统进行三向切削力采集。试验表明在切削过程中PVD涂层硬质合金刀具的切削力随刀具进给量、切削深度、切... 应用同型号未涂层、TiN涂层和TiCN涂层硬质合金刀具进行切削试验 ,用KISTLER三向测力仪、电荷放大器和PC机组成的切削力数据采集系统进行三向切削力采集。试验表明在切削过程中PVD涂层硬质合金刀具的切削力随刀具进给量、切削深度、切削速度的变化规律与未涂层硬质合金刀具相同 。 展开更多
关键词 硬质合金刀具 切削刀 试验研究 pvd 涂层
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用反应性PVD方法在金刚石表面沉积金属钛 被引量:3
20
作者 胡国荣 杨凯华 +2 位作者 汤凤林 金继红 段隆臣 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期23-25,共3页
采用反应性PVD方法在金刚石表面沉积金属钛镀层,用X射线衍射分析了镀层的成分,证实了镀层中碳化钛的生成。扫描电镜分析表明,金刚石复合体中金刚石与基体金属之间结合致密,并提出了金刚石与基体金属之间的粘结机理。
关键词 金刚石 气相沉积 pvd 工具
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