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位置传感器PSD及其在光扫描动态测试中的应用 被引量:4
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作者 南卫东 刘承 +1 位作者 朱成武 杨国光 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期393-397,共5页
光电位置传感器PSD(PositionSensitiveDetector)具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点,但位置检测精度不尽人意,只要对其进行标定修正,仍能达到相当高的精度。本文介绍PSD的标定方... 光电位置传感器PSD(PositionSensitiveDetector)具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点,但位置检测精度不尽人意,只要对其进行标定修正,仍能达到相当高的精度。本文介绍PSD的标定方法及其在光扫描实时动态测试中的应用。 展开更多
关键词 光扫描 动态测试 位置传感器
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