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位置传感器PSD及其在光扫描动态测试中的应用
被引量:
4
1
作者
南卫东
刘承
+1 位作者
朱成武
杨国光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第4期393-397,共5页
光电位置传感器PSD(PositionSensitiveDetector)具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点,但位置检测精度不尽人意,只要对其进行标定修正,仍能达到相当高的精度。本文介绍PSD的标定方...
光电位置传感器PSD(PositionSensitiveDetector)具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点,但位置检测精度不尽人意,只要对其进行标定修正,仍能达到相当高的精度。本文介绍PSD的标定方法及其在光扫描实时动态测试中的应用。
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关键词
光扫描
动态测试
位置传感器
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职称材料
题名
位置传感器PSD及其在光扫描动态测试中的应用
被引量:
4
1
作者
南卫东
刘承
朱成武
杨国光
机构
浙江大学光学工程系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第4期393-397,共5页
基金
国家高技术
文摘
光电位置传感器PSD(PositionSensitiveDetector)具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点,但位置检测精度不尽人意,只要对其进行标定修正,仍能达到相当高的精度。本文介绍PSD的标定方法及其在光扫描实时动态测试中的应用。
关键词
光扫描
动态测试
位置传感器
Keywords
psd
,
optical scanning
,
dynamics testing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
位置传感器PSD及其在光扫描动态测试中的应用
南卫东
刘承
朱成武
杨国光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
4
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