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40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作: 1; 作者丁国庆《光通信技术》 CSCD 北大核心 2005年第10期4-7,共4页; 报道了40Gb/sPIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作。通过光刻、化学腐蚀、电子束蒸发、增强型化学汽相淀积、金属剥离、解理等工艺技术,制作了40Gb/sPIN波导型光探测器管芯。; 关键词 pin波导型光探测器共面波导光刻; 在线阅读下载PDF 职称材料

Ge_xSi_(1-x)/Si 超晶格 PIN 波导探测器电输运过程分析: 2; 作者李娜刘恩科 +1 位作者李国正许雪林《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期58-61,66,共5页; 文章定性和定量地分析了ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格ＰＩＮ波导探测器的电输运过程，具体说明了量子效率、光电流、频率响应带宽等重要参数的物理意义．并将理论分析与实验结果进行比较，结果表明，两者符合得较好．; 关键词光电探测器超晶格波导硅化锗硅 pin探测器; 在线阅读下载PDF 职称材料

光通信用40Gb/s波导型光探测器光耦合问题探讨: 3; 作者丁国庆刘兴瑶张学军《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期36-39,共4页; 提出了光纤与40Gb/s 波导型光探测器光耦合的几种可能方式;分析和讨论了存在的问题和困难,指出了楔形光纤直接耦合方式和脊形光波导耦合方式的实用性和先进性。; 关键词波导型光探测器(WG-pin-PD) 光耦合高斯分布函数; 在线阅读下载PDF 职称材料

高性能波导集成型锗pin光电探测器的制备被引量：3: 4; 作者刘道群李志华 +3 位作者冯俊波唐波张鹏王桂磊《微纳电子技术》北大核心 2018年第5期305-311,共7页; 采用CMOS兼容工艺,在绝缘体上硅（SOI）晶圆片上制备了高性能波导集成型锗pin光电探测器。该光电探测器锗区长度为15μm,宽度分别为1,2,3,4和5μm。光波导与探测器间的光耦合为倏逝波耦合。为了进一步提高探测器的性能,在结构设计上采... 展开更多; 关键词光电探测器波导集成选择性外延锗(Ge) pin 绝缘体上硅(SOI); 在线阅读下载PDF 职称材料

光通信中的主流光电探测器研究被引量：5: 5; 作者阮乂宁提纲 +2 位作者裴丽胡旭东祈春慧《光电技术应用》 2008年第3期9-12,共4页; 对光通信系统解复用接收部分中的关键器件——主流光电探测器进行综合比较、优缺点分析与展望.分别对PIN光电探测器,普通雪崩二极管,超晶格雪崩二极管,波导型光电探测器,振腔增强型光电探测器,金属-半导体-金属光电探测器的原理和特点... 展开更多; 关键词 pin光电探测器雪崩二极管超晶格雪崩二极管波导型光电探测器振腔增强型光电探测器金属-半导体-金属光电探测器; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作: 1; 作者丁国庆; 机构武汉邮电科学研究院; 出处《光通信技术》 CSCD 北大核心 2005年第10期4-7,共4页; 文摘报道了40Gb/sPIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作。通过光刻、化学腐蚀、电子束蒸发、增强型化学汽相淀积、金属剥离、解理等工艺技术,制作了40Gb/sPIN波导型光探测器管芯。; 关键词 pin波导型光探测器共面波导光刻; Keywords pin wave-guide photo-detectors CWP photography; 分类号 TN202 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Ge_xSi_(1-x)/Si 超晶格 PIN 波导探测器电输运过程分析: 2; 作者李娜刘恩科李国正许雪林; 机构西安交通大学; 出处《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期58-61,66,共5页; 基金国家自然科学基金; 文摘文章定性和定量地分析了ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ超晶格ＰＩＮ波导探测器的电输运过程，具体说明了量子效率、光电流、频率响应带宽等重要参数的物理意义．并将理论分析与实验结果进行比较，结果表明，两者符合得较好．; 关键词光电探测器超晶格波导硅化锗硅 pin探测器; Keywords photodetector superlattic waveguide; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光通信用40Gb/s波导型光探测器光耦合问题探讨: 3; 作者丁国庆刘兴瑶张学军; 机构武汉邮电科学研究院; 出处《光通信技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期36-39,共4页; 文摘提出了光纤与40Gb/s 波导型光探测器光耦合的几种可能方式;分析和讨论了存在的问题和困难,指出了楔形光纤直接耦合方式和脊形光波导耦合方式的实用性和先进性。; 关键词波导型光探测器(WG-pin-PD) 光耦合高斯分布函数; Keywords wave-guide photodiode goss function optical coupling; 分类号 TN25 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高性能波导集成型锗pin光电探测器的制备被引量：3: 4; 作者刘道群李志华冯俊波唐波张鹏王桂磊; 机构中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室中国科学院大学中国电子科技集团公司第三十八研究所; 出处《微纳电子技术》北大核心 2018年第5期305-311,共7页; 基金国家科技重大专项(2017ZX02315004); 文摘采用CMOS兼容工艺,在绝缘体上硅（SOI）晶圆片上制备了高性能波导集成型锗pin光电探测器。该光电探测器锗区长度为15μm,宽度分别为1,2,3,4和5μm。光波导与探测器间的光耦合为倏逝波耦合。为了进一步提高探测器的性能,在结构设计上采用了聚焦耦合光栅及楔形耦合增强结构,在材料生长方面采用了选择性外延生长法,以提高锗的质量。通过暗电流、响应度、带宽及眼图测试对光电探测器性能进行了表征。测试结果表明在-2 V的反向偏压下,尺寸为15μm×4μm的光电探测器暗电流低至169 nA,其在波长1 530 nm处的最高响应度为0.43 A/W,3 dB带宽高达48 GHz并获得40 Gbit/s的清晰眼图。; 关键词光电探测器波导集成选择性外延锗(Ge) pin 绝缘体上硅(SOI); Keywords photodetector waveguide integration selective epitaxy germanium （Ge） pin silicon-on-insulator （SOI）; 分类号 TN36 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光通信中的主流光电探测器研究被引量：5: 5; 作者阮乂宁提纲裴丽胡旭东祈春慧; 机构全光网络与现代通信网教育部重点实验室; 出处《光电技术应用》 2008年第3期9-12,共4页; 基金国家自然科学基金北京市自然科学基金 +1 种基金新世纪优秀人才支持计划北京交通大学校科技基金资助; 文摘对光通信系统解复用接收部分中的关键器件——主流光电探测器进行综合比较、优缺点分析与展望.分别对PIN光电探测器,普通雪崩二极管,超晶格雪崩二极管,波导型光电探测器,振腔增强型光电探测器,金属-半导体-金属光电探测器的原理和特点做了简要概括,并做系统比较,最后对光电探测器发展前景进行展望.; 关键词 pin光电探测器雪崩二极管超晶格雪崩二极管波导型光电探测器振腔增强型光电探测器金属-半导体-金属光电探测器; Keywords pin-PD APD SL-APD WGPD RCE-PD MSM-PD; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作	丁国庆	《光通信技术》 CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	Ge_xSi_(1-x)/Si 超晶格 PIN 波导探测器电输运过程分析	李娜刘恩科李国正许雪林	《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	1997	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	光通信用40Gb/s波导型光探测器光耦合问题探讨	丁国庆刘兴瑶张学军	《光通信技术》 CSCD 北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	高性能波导集成型锗pin光电探测器的制备	刘道群李志华冯俊波唐波张鹏王桂磊	《微纳电子技术》北大核心	2018	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	光通信中的主流光电探测器研究	阮乂宁提纲裴丽胡旭东祈春慧	《光电技术应用》	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料