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快轴伺服系统的设计与性能测试
1
作者
田富竟
李圣怡
+1 位作者
尹自强
李宁
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期152-157,共6页
研制了用于加工非回转对称光学元件的快轴伺服系统(FAS)的整体结构及其控制系统,系统具备较大行程和高工作频率,最大的行程可达到30mm。系统采用了音圈电机驱动的气体静压轴承技术、线性电流放大器、高分辨率编码器以及高速控制系统。...
研制了用于加工非回转对称光学元件的快轴伺服系统(FAS)的整体结构及其控制系统,系统具备较大行程和高工作频率,最大的行程可达到30mm。系统采用了音圈电机驱动的气体静压轴承技术、线性电流放大器、高分辨率编码器以及高速控制系统。对不同截面形状气浮导轨的静、动态特性进行了有限元分析。系统采用PID反馈和速度/加速度前馈控制方法来改善系统的动态性能。FAS系统0.1mm阶跃响应的上升时间为2ms,最大超调量为0.4%,稳态时间为4ms,对铝件进行超精密切削实验,表面粗糙度可达Ra24nm,实验结果表明系统具有较好的动态和切削特性。
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关键词
快轴伺服系统
气浮导轨
音圈电机
pid和前馈控制器
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职称材料
题名
快轴伺服系统的设计与性能测试
1
作者
田富竟
李圣怡
尹自强
李宁
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第4期152-157,共6页
基金
国家自然科学基金面上项目(51075393)
文摘
研制了用于加工非回转对称光学元件的快轴伺服系统(FAS)的整体结构及其控制系统,系统具备较大行程和高工作频率,最大的行程可达到30mm。系统采用了音圈电机驱动的气体静压轴承技术、线性电流放大器、高分辨率编码器以及高速控制系统。对不同截面形状气浮导轨的静、动态特性进行了有限元分析。系统采用PID反馈和速度/加速度前馈控制方法来改善系统的动态性能。FAS系统0.1mm阶跃响应的上升时间为2ms,最大超调量为0.4%,稳态时间为4ms,对铝件进行超精密切削实验,表面粗糙度可达Ra24nm,实验结果表明系统具有较好的动态和切削特性。
关键词
快轴伺服系统
气浮导轨
音圈电机
pid和前馈控制器
Keywords
fast axis servo
air slide
voice coil actuator
pid
and feedforward controller
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
快轴伺服系统的设计与性能测试
田富竟
李圣怡
尹自强
李宁
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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