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N_2射频放电带电粒子(e,N_2^+,N^+)的PIC-MC模拟
被引量：
1
1
作者
杨莹
付东儒
张连珠
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期206-212,共7页
采用PIC-MC自洽模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为。结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化;在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密...
采用PIC-MC自洽模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为。结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化;在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差6倍左右。两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,随放电参数变化,离子(N2+,N+)能量变化显著,其密度变化不明显。模拟的电子能量几率分布与测量结果一致。
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关键词
N2等离子体
射频放电
pic—mc模拟
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职称材料
题名
N_2射频放电带电粒子(e,N_2^+,N^+)的PIC-MC模拟
被引量：
1
1
作者
杨莹
付东儒
张连珠
机构
河北正定中学
河北师范大学物理科学与信息工程学院
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期206-212,共7页
基金
河北省自然科学基金资助项目(A2012205072)
河北师范大学自然基金(2010Y02)资助课题
文摘
采用PIC-MC自洽模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为。结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化;在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差6倍左右。两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,随放电参数变化,离子(N2+,N+)能量变化显著,其密度变化不明显。模拟的电子能量几率分布与测量结果一致。
关键词
N2等离子体
射频放电
pic—mc模拟
Keywords
Nitrogen plasma
Radio frequency discharge
pic
-
mc
model
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
N_2射频放电带电粒子(e,N_2^+,N^+)的PIC-MC模拟
杨莹
付东儒
张连珠
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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