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柔性PET衬底上ZnO薄膜的制备、电学性质及激光辐照效应 被引量:2
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作者 甘贵贤 陆慧 《华东理工大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期737-742,共6页
室温下采用中频反应磁控溅射技术在柔性PET(Polyethylene terephthalate)衬底上沉积了ZnO薄膜。研究了溅射功率和氩氧流量比对薄膜电学性质的影响,获得室温沉积柔性ZnO薄膜的优化工艺条件为溅射功率20 W和氩氧流量比1:1。采用不同能量... 室温下采用中频反应磁控溅射技术在柔性PET(Polyethylene terephthalate)衬底上沉积了ZnO薄膜。研究了溅射功率和氩氧流量比对薄膜电学性质的影响,获得室温沉积柔性ZnO薄膜的优化工艺条件为溅射功率20 W和氩氧流量比1:1。采用不同能量密度的激光辐照,有效改善了柔性ZnO薄膜的晶体结构和电学性能。原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结果显示,激光辐照可使薄膜表面ZnO颗粒产生团聚融合,并在(100)和(101)晶面上产生明显的取向生长,薄膜由非晶转为多晶结构。Hall性质的研究结果表明,激光辐照可有效提高ZnO薄膜的载流子浓度,降低电阻率,改善室温沉积柔性ZnO薄膜导电性能。 展开更多
关键词 ZNO薄膜 柔性pet 激光辐照 电学性质 微观结构
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柔性衬底上制备氟、镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其光电性质研究 被引量:2
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作者 赵越 杜小琴 +2 位作者 晏中 潘阳 吴晓京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1334-1341,共8页
采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ga、F共掺杂的Zn O透明导电薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、原子力显微镜和霍尔测试仪等手段对薄膜性能进行了表征。制备过程中通过控制沉积时间、Ga掺杂量... 采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ga、F共掺杂的Zn O透明导电薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、原子力显微镜和霍尔测试仪等手段对薄膜性能进行了表征。制备过程中通过控制沉积时间、Ga掺杂量、衬底温度和氧气流量等实验条件,比对研究了各参数对薄膜性能的影响。为了分析各参数对实验结果影响的重要性,采用正交实验法设计实验,并对结果进行正交分析、极差方差分析。得出了各个实验条件对结果影响的大小顺序和最优的制备条件。结果表明,掺杂量和沉积时间对于薄膜的光电性能影响较大,Ga掺杂量取1.0%(原子比),且沉积时间较短的薄膜透光率较好;Ga掺杂量取1.0%,且沉积时间较长的薄膜导电性能较好。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 Ga、F共掺杂ZnO pet柔性衬底 正交实验设计
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基于柔性衬底的Ti、F共掺ZnO透明导电薄膜的制备及其性能研究 被引量:1
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作者 邓皓谦 赵文达 +2 位作者 杜小琴 晏忠 吴晓京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期963-969,共7页
为了制备出高性能的可挠透明导电薄膜,采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ti、F共掺的Zn O(TFZO)透明导电薄膜。研究了不同衬底温度、氧分压及F的掺杂量对TFZO薄膜电学性能和光学性能的影响。实验结果表明,... 为了制备出高性能的可挠透明导电薄膜,采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ti、F共掺的Zn O(TFZO)透明导电薄膜。研究了不同衬底温度、氧分压及F的掺杂量对TFZO薄膜电学性能和光学性能的影响。实验结果表明,在衬底温度为150℃,氧分压为0.5 Pa,Ti、F掺杂量各为1%(原子比)时,制备的TFZO薄膜的电阻率达到1.69×10-3Ω·cm,可见光范围内平均透过率为81%。对薄膜进行弯曲可靠性测试和疲劳测试,向内、向外弯曲半径大于10mm时,薄膜电阻基本没有变化,在15 mm条件下弯曲1000次后薄膜亦无明显的电阻变化。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 Ti、F共掺杂ZnO pet柔性衬底 脉冲激光沉积
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LiF对柔性有机电致发光器件性能的影响 被引量:3
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作者 姚宁 李全友 +4 位作者 王英俭 张兵临 史新伟 王执乾 韩昌报 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期450-454,共5页
利用真空蒸镀方法,在PET柔性衬底上制备了有机电致发光器件。分析了玻璃和柔性衬底器件的电压、电流和亮度特性,重点讨论LiF层对器件性能的影响、柔性衬底上器件的失效机理,以及器件性能随时间衰减现象。实验结果表明,相同条件下,LiF层... 利用真空蒸镀方法,在PET柔性衬底上制备了有机电致发光器件。分析了玻璃和柔性衬底器件的电压、电流和亮度特性,重点讨论LiF层对器件性能的影响、柔性衬底上器件的失效机理,以及器件性能随时间衰减现象。实验结果表明,相同条件下,LiF层的加入能降低器件的开启电压,从7V降至5.5V;柔性衬底与界面容易形成缺陷,影响器件的寿命。 展开更多
关键词 真空蒸镀 pet柔性衬底 有机电致发光(OLED) 失效机理
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