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基于PDMS金属可调谐光栅的制备工艺研究
被引量：
4
1
作者
顾艳妮
宣艳
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第16期27-29,47,共4页
分别利用直接法和间接法,制备了基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的金属可调谐光栅。由于在金属举离过程中PDMS遇丙酮溶液溶胀,导致直接法在机械调谐过程中光栅严重断裂,而利用间接法可以克服此问题。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的...
分别利用直接法和间接法,制备了基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的金属可调谐光栅。由于在金属举离过程中PDMS遇丙酮溶液溶胀,导致直接法在机械调谐过程中光栅严重断裂,而利用间接法可以克服此问题。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向拉伸程度,对光栅周期进行连续、任意调谐,可获得预定的目标周期。
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关键词
pdms
(聚二甲基硅氧烷)
可调谐光栅
溶胀
机械调谐
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职称材料
基于PDMS的金属可调谐光栅
2
作者
徐胜
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期742-746,共5页
介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制P...
介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向机械拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的30%。
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关键词
周期可调谐金属光栅
pdms
(聚二甲基硅氧烷)
机械拉伸
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职称材料
题名
基于PDMS金属可调谐光栅的制备工艺研究
被引量：
4
1
作者
顾艳妮
宣艳
机构
江苏科技大学物理教研室
南京大学材料科学与工程系
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第16期27-29,47,共4页
文摘
分别利用直接法和间接法,制备了基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的金属可调谐光栅。由于在金属举离过程中PDMS遇丙酮溶液溶胀,导致直接法在机械调谐过程中光栅严重断裂,而利用间接法可以克服此问题。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向拉伸程度,对光栅周期进行连续、任意调谐,可获得预定的目标周期。
关键词
pdms
(聚二甲基硅氧烷)
可调谐光栅
溶胀
机械调谐
Keywords
pdms
,
tunable grating
,
swelling
,
mechanical stretching
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
基于PDMS的金属可调谐光栅
2
作者
徐胜
机构
江苏科技大学张家港校区
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第5期742-746,共5页
基金
江苏科技大学博士科研启动基金资助项目(35270802)
江苏科技大学骨干教师支持计划资助项目(37270901
33271001)
文摘
介绍了一种制备周期可调谐金属光栅的新技术。首先采用紫外光刻技术将光栅结构制备至硅衬底,并在其上蒸镀一层薄的银以增强衍射效率,然后采取金属举离工艺,最后转移光栅结构至PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底。利用PDMS高弹性的特点,通过控制PDMS的纵、横向机械拉伸程度,对金属光栅周期进行连续调谐,获得预定的目标周期。实验结果表明,金属光栅调谐范围超过其初始周期的30%。
关键词
周期可调谐金属光栅
pdms
(聚二甲基硅氧烷)
机械拉伸
Keywords
period-
tunable
metal
grating
pdms
（Polydimethylsiloxane）
mechanical
ly
stretching
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于PDMS金属可调谐光栅的制备工艺研究
顾艳妮
宣艳
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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职称材料
2
基于PDMS的金属可调谐光栅
徐胜
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
已选择
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引用分析
参考文献
引证文献
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