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Al掺杂对β-Ga_(2)O_(3)薄膜光学性质的影响研究 被引量：1
1
作者 钟琼丽 王绪 +1 位作者 马奎 杨发顺 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第8期1352-1360,共9页
近年来,半导体器件向着高散热性、高击穿场强和低能耗的方向发展,因此超宽禁带半导体材料β-Ga_(2)O_(3)具有广阔的应用前景,而有效掺杂是实现β-Ga_(2)O_(3)器件的基础。实验采用磁控溅射法制备Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_... 近年来,半导体器件向着高散热性、高击穿场强和低能耗的方向发展,因此超宽禁带半导体材料β-Ga_(2)O_(3)具有广阔的应用前景,而有效掺杂是实现β-Ga_(2)O_(3)器件的基础。实验采用磁控溅射法制备Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)/Al/Ga_(2)O_(3)复合结构,经高温退火使Al原子热扩散进入薄膜中,形成Al掺杂的β-Ga_(2)O_(3)薄膜。采用激光区熔法使薄膜区域熔化再结晶,进一步提升掺杂质量。对Al掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体性质、杂质含量及光学性质进行了测试表征。结果表明:Al掺杂不改变β-Ga_(2)O_(3)薄膜的晶体结构;随着Al层溅射时间延长,掺杂含量逐渐增加;当Al溅射时间为5和10 s时,薄膜紫外吸收率分别为40%和50%;随着Al溅射时间的增加,Al掺杂β-Ga_(2)O_(3)薄膜紫外区域光吸收率逐渐增强,Al溅射时间为300 s时,β-Ga_(2)O_(3)薄膜的光吸收率接近90%;低浓度的Al掺杂会导致β-Ga_(2)O_(3)薄膜的禁带宽度变窄。 展开更多
关键词 β-Ga_(2)o_(3)薄膜 AL掺杂 磁控溅射 Ga_(2)o_(3)/Al/Ga_(2)o_(3)/Al/Ga_(2)o_(3)复合结构 光吸收 光学带隙
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In_(2)O_(3)多孔有序薄膜的制备及其对丁酮气敏特性 被引量：2
2
作者 苑振宇 郭忠明 +1 位作者 封怡超 李泽宇 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期1694-1701,共8页
利用气/液界面自组装法和溶液浸渍转移法制备了单层和双层氧化铟多孔有序气敏薄膜,并对其进行了气敏特性测试,同时利用多物理场耦合进行气敏特性仿真研究.结果表明,制备的气敏薄膜具有规则的孔道结构,孔壁呈现为具有大比表面积的片状结... 利用气/液界面自组装法和溶液浸渍转移法制备了单层和双层氧化铟多孔有序气敏薄膜,并对其进行了气敏特性测试,同时利用多物理场耦合进行气敏特性仿真研究.结果表明,制备的气敏薄膜具有规则的孔道结构,孔壁呈现为具有大比表面积的片状结构.基于该气敏材料的气体传感器对丁酮表现出优良的气敏特性,单层In_(2)O_(3)多孔有序气体传感器在最佳工作温度350℃的条件下对质量分数为100×10^(-6)的丁酮的灵敏度为15.37,响应时间仅为4.3 s;双层In2O3多孔有序气体传感器在最佳工作温度375℃的条件下对质量分数为100×10^(-6)的丁酮的灵敏度为20.45,响应时间为22.7 s.仿真结果与气敏特性测试结果吻合较好. 展开更多
关键词 气/液界面自组装 气体传感器 多孔有序气敏薄膜 in_(2)o_(3) 丁酮 响应时间 多物理场
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In_(2)O_(3)-Mn_(2)O_(3)复合纳米棒的两步水热法合成及其在氢气传感器中的应用 被引量：1
3
作者 武冉 陈兴泰 +2 位作者 刘涛 殷锡涛 赵怡博 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第8期15-19,37,共6页
文中以In(NO_(3))_(3)·4.5H_(2)O为铟源,KMnO_(4)为锰源,PVP为添加剂,分别以水和无水乙醇为溶剂,通过两步水热法成功合成了In_(2)O_(3)-Mn_(2)O_(3)复合纳米棒。采用XRD、SEM、XPS对复合材料的物相组成、微观形貌和元素价态进行了... 文中以In(NO_(3))_(3)·4.5H_(2)O为铟源,KMnO_(4)为锰源,PVP为添加剂,分别以水和无水乙醇为溶剂,通过两步水热法成功合成了In_(2)O_(3)-Mn_(2)O_(3)复合纳米棒。采用XRD、SEM、XPS对复合材料的物相组成、微观形貌和元素价态进行了表征和分析,并将In_(2)O_(3)-Mn_(2)O_(3)复合材料组装成气敏传感器元件进行氢气的气敏性能研究。结果表明,相比于In_(2)O_(3),In_(2)O_(3)-Mn_(2)O_(3)传感器的最佳工作温度降低至325℃,且In_(2)O_(3)-Mn_(2)O_(3)传感器在重复性实验中对氢气具有高灵敏度,优异的选择性、重复性和稳定性。复合材料表面丰富的气体吸附位点和p-n异质结使其具有优异的传感性能。 展开更多
关键词 in_(2)o_(3)-Mn_(2)o_(3)复合材料 纳米棒 两步水热法 氢气 气敏传感器 p-n异质结
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In_(2)O_(3)/TiO_(2)室温氢气传感器及其优异的氢敏性能
4
作者 张先乐 刘自豪 +1 位作者 黄浩 范佳杰 《郑州大学学报（工学版）》 CAS 北大核心 2022年第4期104-110,共7页
为改善纳米TiO_(2)传感器在室温下对H_(2)虽有快速响应但恢复过慢的问题,引入商业纳米In_(2)O_(3)对其进行改性。分别采用压片法和阳极氧化-沉积法制备了In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米复合压片薄膜和In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米管阵列,并将其应... 为改善纳米TiO_(2)传感器在室温下对H_(2)虽有快速响应但恢复过慢的问题,引入商业纳米In_(2)O_(3)对其进行改性。分别采用压片法和阳极氧化-沉积法制备了In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米复合压片薄膜和In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米管阵列,并将其应用于氢气传感器,研究了其室温氢敏性能。采用扫描电镜、X射线衍射、比表面积测试等方法对样品进行了表征,并研究了不同电极(Ag、Pt、Pd)、不同热处理温度及不同质量分数的In_(2)O_(3)对复合传感器室温氢敏性能的影响。结果表明,与纯TiO_(2)传感器相比,复合传感器扩大了氢气的检测范围,室温下可检测到体积分数1×10^(-6)~1×10^(-3)的氢气,且恢复时间大大缩短。其中,以Pt为电极,经600℃退火的质量分数为20%的In_(2)O_(3)/TiO_(2)复合传感器表现出最优的氢敏性能,在室温下对体积分数1×10^(-6)H_(2)的响应时间为7 s,恢复时间为32 s。 展开更多
关键词 in_(2)o_(3)/Tio_(2) 复合氢气传感器 室温 恢复性能
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In_(2)O_(3)/ZnIn_(2)S_(4)异质结的制备及其降解有机染料性能研究
5
作者 钟金玲 尹克 +3 位作者 胡倩倩 李鹏 张森林 肖周荣 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期167-171,共5页
为了降低光生载流子的复合、提高光催化性能,采用水热晶化法制备了纳米薄片状In_(2)O_(3)与花球状ZnIn_(2)S_(4)异质结催化剂,并应用于光催化降解有机染料罗丹明B。结果表明,相比于纯In_(2)O_(3)和ZnIn_(2)S_(4)催化剂,In_(2)O_(3)/ZnIn... 为了降低光生载流子的复合、提高光催化性能,采用水热晶化法制备了纳米薄片状In_(2)O_(3)与花球状ZnIn_(2)S_(4)异质结催化剂,并应用于光催化降解有机染料罗丹明B。结果表明,相比于纯In_(2)O_(3)和ZnIn_(2)S_(4)催化剂,In_(2)O_(3)/ZnIn_(2)S_(4)催化剂的活性有较大程度的提升;In_(2)O_(3)和ZnIn_(2)S_(4)质量比为1∶1的催化剂具有最好的光催化降解效果,光催化降解135 min时罗丹明B的降解率达到90.0%;其光催化反应的速率常数是纯ZnIn_(2)S_(4)的1.9倍,且符合拟一级动力学。In_(2)O_(3)/ZnIn_(2)S_(4)优异的光催化活性归因于In_(2)O_(3)和ZnIn_(2)S_(4)之间形成了异质结,加速了光生载流子迁移与分离。 展开更多
关键词 in_(2)o_(3)/Znin_(2)S_(4)复合催化剂 光催化 异质结 染料降解
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聚苯胺/氧化铟复合薄膜QCM气体传感器 被引量：6
6
作者 严晓磊 谢光忠 +2 位作者 杜晓松 太惠玲 蒋亚东 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1963-1967,共5页
在10℃条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/氧化铟(PANi/In2O3)复合薄膜,并通过紫外-可见光光谱分析和扫描电镜(SEM)对薄膜进行了分析表征。采用AT-切型Ag电极石英晶体微天平(QCM)制备了PANi/In2O3气... 在10℃条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/氧化铟(PANi/In2O3)复合薄膜,并通过紫外-可见光光谱分析和扫描电镜(SEM)对薄膜进行了分析表征。采用AT-切型Ag电极石英晶体微天平(QCM)制备了PANi/In2O3气体传感器,常温下研究了它对瓦斯中主要成分CH4和CO气体以及常见干扰气体NH3的敏感特性。结果表明,PANi/In2O3复合薄膜对CH4和CO均呈现出较好的线性敏感性能,而对NH3则表现为非线性。 展开更多
关键词 pani/in_2o_3复合薄膜 瓦斯气体传感器 自组装 石英晶体微天平
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聚苯胺/二氧化钛复合薄膜的制备及其气敏性能 被引量：13
7
作者 太惠玲 蒋亚东 +2 位作者 谢光忠 杜晓松 陈璇 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第6期883-888,共6页
室温条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜和聚苯胺(PANI)薄膜,并通过XPS和SEM对薄膜进行了分析表征.采用平面叉指电极式器件制备了PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜气体传... 室温条件下,运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜和聚苯胺(PANI)薄膜,并通过XPS和SEM对薄膜进行了分析表征.采用平面叉指电极式器件制备了PANI/TiO2复合薄膜和PANI薄膜气体传感器,研究了其在常温下对有毒气体NH3和CO的敏感性能.结果表明,PANI/TiO2复合薄膜较PANI薄膜具有更优的灵敏度和响应恢复特性. 展开更多
关键词 pani/Tio2 复合薄膜 气体传感器 NH3 Co
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掺杂剂对聚苯胺/二氧化钛复合薄膜氨敏特性的影响
8
作者 蒋亚东 陈璇 +2 位作者 太惠玲 谢光忠 杜晓松 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期773-776,共4页
室温条件下,采用平面叉指电极式器件,运用原位化学氧化聚合和静电力自组装相结合的方法分别制备了盐酸掺杂和对甲苯磺酸掺杂聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜气体传感器,并通过电子扫描显微镜(SEM)对薄膜进行了分析表征,研究了... 室温条件下,采用平面叉指电极式器件,运用原位化学氧化聚合和静电力自组装相结合的方法分别制备了盐酸掺杂和对甲苯磺酸掺杂聚苯胺/纳米二氧化钛(PANI/TiO2)复合薄膜气体传感器,并通过电子扫描显微镜(SEM)对薄膜进行了分析表征,研究了其在常温下对NH3气的敏感特性。实验结果表明,盐酸掺杂PANI/TiO2复合薄膜较对甲苯磺酸掺杂PANI/TiO2薄膜具有更好的灵敏度和响应恢复特性以及更好的稳定性。该研究有助于开发低功耗、高灵敏度的NH3气体传感器。 展开更多
关键词 复合薄膜 气体传感器 盐酸 NH3 pani/Tio2 对甲苯磺酸
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超快激光制备高频1-3型PIN-PMN-PT复合材料超声换能器 被引量：1
9
作者 刘友健 雷智洪 +2 位作者 吴俊伟 陈燕 纪轩荣 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期288-293,共6页
与其他压电材料相比,1-3型压电单晶复合材料具有优异的压电性能和更匹配的声学特性,更有利于制备出性能优异的超声换能器。该文通过有限元软件COMSOL对复合材料的振动模态及阻抗特性进行了系统的研究,同时采用皮秒激光制备了高频1-3型Pb... 与其他压电材料相比,1-3型压电单晶复合材料具有优异的压电性能和更匹配的声学特性,更有利于制备出性能优异的超声换能器。该文通过有限元软件COMSOL对复合材料的振动模态及阻抗特性进行了系统的研究,同时采用皮秒激光制备了高频1-3型Pb(In_(1/2)Nb_(1/2))O_(3)-Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_(3)-PbTiO_(3)(PIN-PMN-PT)铁电单晶/环氧树脂复合材料,并进行了性能表征。该1-3复合材料机电耦合系数为0.65,声阻抗为19.96 MRayls。该复合材料可用于制备高频超声换能器,结果表明,换能器中心频率为17.68 MHz,-6 dB带宽为84.38%,插入损耗为-25.4 dB。 展开更多
关键词 1-3型压电复合材料 Pb(in_(1/2)Nb_(1/2))o_(3)-Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))o_(3)-PbTio_(3)(Pin-PMN-PT)单晶 皮秒激光 超声换能器 有限元
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