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P型高阻硅单晶材料的寿命初探
1
作者
张由群
刘兴德
邓宪章
《成都理工大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期547-550,共4页
高寿命、低补偿的P型高阻硅单晶是制作激光探测器的重要材料。寿命是P型高阻硅单晶材料的重要参数。作者选择了3组N型多晶硅原材料进行试验,其中每组2个样品,共为6个样品。在实验的基础上,分析了影响P型高阻硅单晶材料寿命的因素。研究...
高寿命、低补偿的P型高阻硅单晶是制作激光探测器的重要材料。寿命是P型高阻硅单晶材料的重要参数。作者选择了3组N型多晶硅原材料进行试验,其中每组2个样品,共为6个样品。在实验的基础上,分析了影响P型高阻硅单晶材料寿命的因素。研究结果表明,P型高阻硅单晶材料的寿命不仅取决于晶体的完整性和材料的纯度,而且还与原材料和成晶工艺有密切关系,同时作者提出了提高P型高阻硅单晶的寿命的几点建议。
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关键词
寿命
缺陷
纯度
p型高阻硅单品
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职称材料
题名
P型高阻硅单晶材料的寿命初探
1
作者
张由群
刘兴德
邓宪章
机构
成都理工大学信息工程学院
成都理工大学地球科学学院
四川省峨眉半导体材料研究所硅单晶研究室
出处
《成都理工大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期547-550,共4页
文摘
高寿命、低补偿的P型高阻硅单晶是制作激光探测器的重要材料。寿命是P型高阻硅单晶材料的重要参数。作者选择了3组N型多晶硅原材料进行试验,其中每组2个样品,共为6个样品。在实验的基础上,分析了影响P型高阻硅单晶材料寿命的因素。研究结果表明,P型高阻硅单晶材料的寿命不仅取决于晶体的完整性和材料的纯度,而且还与原材料和成晶工艺有密切关系,同时作者提出了提高P型高阻硅单晶的寿命的几点建议。
关键词
寿命
缺陷
纯度
p型高阻硅单品
Keywords
lifetime
disfigurement
p
urity
p
-ty
p
e high-resistance silicon single-crystal
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
P型高阻硅单晶材料的寿命初探
张由群
刘兴德
邓宪章
《成都理工大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2003
0
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