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Study on superprism effect in the multilayer optical thin film stack 被引量:2
1
作者 SUN Xue-zheng GU Pei-fu CHEN Hai-xing JIN Bo LI Hai-feng LIU Xu 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期454-458,共5页
Researches show that multilayer optical thin film stack can exhibit superprism effect due to their large abnormal dispersions. We investigated and simulated this effect numerically in a 1-D non-periodic film structure... Researches show that multilayer optical thin film stack can exhibit superprism effect due to their large abnormal dispersions. We investigated and simulated this effect numerically in a 1-D non-periodic film structure-Fabry-Perot filters (FPF), which possess drastic change in phase and large group delay around wavelength of peak transmittance, and fabricated this device to realize remarkable superprism effect. We tested experimentally with the maximum spatial separation shift up to 65 μm, and the experimental result is in good agreement with the theory. Compared with the traditional prism, the total thickness of our structure is only 3.3 μm, and our prism shows a stronger angular resolution of 1.8°/nm. 展开更多
关键词 薄膜 涂覆技术 多层膜 FPF
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40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展
2
作者 来搏 蒋励 +1 位作者 齐润泽 王占山 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1293-1306,共14页
极紫外多层膜反射镜在许多科学与技术领域,如极紫外光刻、天体物理学、等离子体诊断、阿秒物理和自由电子激光等方面有重要应用。多层膜使极紫外波段反射镜在正入射条件下具有高反射率和窄带宽成为可能。多层膜反射镜是极紫外成像和光... 极紫外多层膜反射镜在许多科学与技术领域,如极紫外光刻、天体物理学、等离子体诊断、阿秒物理和自由电子激光等方面有重要应用。多层膜使极紫外波段反射镜在正入射条件下具有高反射率和窄带宽成为可能。多层膜反射镜是极紫外成像和光谱应用的重要器件,多层膜构成的极紫外成像系统已成功完成多个太阳单一谱线的成像观测。本文综述了40~90 nm波段最有前景的多层膜的研究进展。首先简要介绍了多层膜的基本原理,叙述了40~90 nm波段材料光学常数的测量,总结了Mg基、Sc基和镧系材料以及其他材料组成多层膜的进展,给出了目前达到的最佳反射率和带宽,阐明了多层膜的时间稳定性,从而为40~90 nm波段多层膜制备提供了技术指导。 展开更多
关键词 光学薄膜 极紫外 多层膜 窄带 高反射
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往复摆动式仿生人工关节间润滑薄膜测量系统
3
作者 宋鲁平 杨淑燕 +1 位作者 麻拴红 郭峰 《摩擦学学报(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期644-654,共11页
本文中介绍了1种往复摆动仿生人工关节润滑薄膜测量系统,首先,构筑了由陶瓷球-聚二甲基硅氧烷(以下简称PDMS)垫层-玻璃盘组成的用以分别模拟关节头、关节软骨和关节窝的仿生人工关节摩擦副;其次,对球-盘式点接触油膜测量装置的加载执行... 本文中介绍了1种往复摆动仿生人工关节润滑薄膜测量系统,首先,构筑了由陶瓷球-聚二甲基硅氧烷(以下简称PDMS)垫层-玻璃盘组成的用以分别模拟关节头、关节软骨和关节窝的仿生人工关节摩擦副;其次,对球-盘式点接触油膜测量装置的加载执行机构、运动执行机构和环境温度等进行了重新设计和完善,可较好地模拟关节运动时承受的载荷、运动方式和环境温度;最后,呈现了3个不同的仿生人工关节间润滑薄膜测量实例.测量结果表明:与硬-硬人工关节摩擦副对比,承受相同载荷时低弹性模量的PDMS垫发生的较大变形能捕获更多的润滑剂流入接触区内从而形成了有效的润滑;在硅油和水润滑条件下对陶瓷球施加固定载荷和冲击载荷时,对PDMS软垫层的变形量随时间的变化实现了可视化测量,且发现在载荷施加初始的极短时间内变化很快,随后逐渐变得缓慢;对固定载荷下陶瓷球往复摆动的整个运动过程中形成的润滑膜进行了原位观察并同步测量了软垫层的变形量.本测量系统为评价仿生润滑材料的润滑性能提供1种新的技术手段,对揭示仿生人工关节的润滑机理具有较为重要的意义. 展开更多
关键词 仿生人工关节 光干涉薄膜测量 往复摆动 冲击载荷 关节润滑机理
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基于遗传算法的30.4nm多层膜设计 被引量:10
4
作者 陈锐 王风丽 +2 位作者 朱京涛 王洪昌 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1819-1824,共6页
阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前... 阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前提,膜厚取值范围的合理选择是提高算法效率的关键.设计得到入射角10°的周期多层膜和15°~22°范围内的宽角多层膜在波长30.4nm处的反射率依次为56.57%与39.96±0.29%,5°入射的双功能多层膜在波长30.4nm和58.4nm处的反射率分别为54.1%和0.1%.结果表明遗传算法也是一种很好的多层膜设计方法. 展开更多
关键词 薄膜光学 多层膜 遗传算法 反射率
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面接触润滑油膜测量系统滑块倾角的快速计算 被引量:12
5
作者 白清华 郭峰 +1 位作者 刘海超 杨淑燕 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期517-524,共8页
在面接触润滑油膜厚度的光干涉测量中,需要确定滑块和玻璃盘所形成的微小倾角.一般通过目测干涉条纹的数量计算倾角,效率低且误差大.根据滑块表面干涉条纹等距,光强呈周期性变化的特点,对滑块面的干涉光强曲线进行傅里叶变换,综合采用Ri... 在面接触润滑油膜厚度的光干涉测量中,需要确定滑块和玻璃盘所形成的微小倾角.一般通过目测干涉条纹的数量计算倾角,效率低且误差大.根据滑块表面干涉条纹等距,光强呈周期性变化的特点,对滑块面的干涉光强曲线进行傅里叶变换,综合采用Rife-Jane和重叠FFT相位差法进行频率插值,较好地消除了频谱泄漏,较准确计算干涉条纹数量,从而得到滑块与玻璃盘间的倾角.试验证明:当条纹数量大于5时该方法的测量相对误差在1%以下,具有很强的抗干扰能力.对不同倾角下的油膜厚度进行了测量,得出了润滑油膜的无量纲承载量-滑块收敛比曲线.结果表明:膜厚较高时,无量纲载荷最大值出现在收敛比为1.2左右的位置,但当膜厚较低时,无量纲载荷最大值出现在收敛比大于2的位置,偏离了经典理论. 展开更多
关键词 油膜润滑 光干涉 傅里叶变换 滑块倾角
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改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 被引量:4
6
作者 匡尚奇 张超 +2 位作者 王一名 周祥燕 谢耀 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2046-2056,共11页
为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQE... 为提高基于量子进化算法(QEA)在宽带极紫外(EUV)多层膜设计中的求解效率和精度,本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA,建立具有明确进化方向的适用于宽带EUV多层膜设计的改进型量子进化算法(IQEA)。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo/Si多层膜的膜系设计过程和结果,结果表明,基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度;同时,IQEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo/Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°~18°,反射率达50%的宽角度多层膜,以及反射光谱带宽为13~15nm,反射率达25%的宽光谱多层膜的设计。基于IQEA的宽带高反射率EUV多层膜的理论膜系设计方法为复杂多层膜的理论设计提供了一种可供选择的高效膜系设计方法。 展开更多
关键词 薄膜光学 多层膜设计 改进型量子进化算法 宽带极紫外多层膜
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退火温度对ZnO/Mo/ZnO透明导电薄膜结构及光电性能的影响 被引量:4
7
作者 孙洪涛 王小平 +6 位作者 王丽军 王金烨 孙义清 李剑 文俊伟 刘凌鸿 于颖 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期352-356,351,共6页
采用电子束蒸发法成功制备了透明导电的ZnO/Mo/ZnO(ZMZ)复合薄膜,研究了不同的退火温度对其电学和光学性质的影响规律。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、X射线能谱仪、紫外可见分光光度计和四探针测试仪等检测手段对样品的性能进行了... 采用电子束蒸发法成功制备了透明导电的ZnO/Mo/ZnO(ZMZ)复合薄膜,研究了不同的退火温度对其电学和光学性质的影响规律。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、X射线能谱仪、紫外可见分光光度计和四探针测试仪等检测手段对样品的性能进行了分析。实验结果表明:随着退火温度的升高,薄膜的结晶程度提高,晶粒尺寸增大;薄膜的电阻率先降低后升高;薄膜的光学透过率先升高后降低。当退火温度为250℃时,ZnO/Mo/ZnO薄膜具有最佳的综合光电性能,在400nm^900nm波长范围内最高透过率为81.4%,平均透过率高于80%,最低电阻率为1.71×10-4Ω·cm,表面电阻为15.5Ω/sq。研究表明所制备的ZMZ复合透明导电薄膜可应用于太阳能电池、液晶显示器等领域。 展开更多
关键词 氧化锌 透明导电薄膜 多层膜 光电性能
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VO_2/TiO_2复合薄膜的结构和红外光学性质研究 被引量:5
8
作者 颜家振 黄婉霞 李宁 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第9期2485-2489,共5页
采用溶胶凝胶法在白云母沿(001)方向的解理表面制备VO2/TiO2热致相变复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD),X射线光电子能谱仪(XPS),原子力显微镜(AFM)等手段分析了薄膜的微观结构和表面形貌,通过原位傅里叶变换红外光谱(in-situ FTIR)分析... 采用溶胶凝胶法在白云母沿(001)方向的解理表面制备VO2/TiO2热致相变复合薄膜。利用X射线衍射仪(XRD),X射线光电子能谱仪(XPS),原子力显微镜(AFM)等手段分析了薄膜的微观结构和表面形貌,通过原位傅里叶变换红外光谱(in-situ FTIR)分析复合薄膜在不同温度下的红外透过率,研究其热致相变特性。结果表明,复合薄膜在云母解理面表面呈VO2(011)/TiO2(101)取向生长,表面致密平整。复合薄膜在金属-半导体相变前后表现出优异的光学开关效应,相变过程中的红外光(波长为4μm)透过率变化(ΔTr)为75.5%;相变过程陡然,透过率变化率(-dTr/dT)达15.7%/℃,滞回温宽减小到8℃。 展开更多
关键词 红外光学性质 热致相变 二氧化钒 复合薄膜
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多层增透薄膜透射特性仿真分析 被引量:5
9
作者 张文涛 朱保华 汪杰君 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期215-218,共4页
基于多层薄膜的组成特性,建立了可见光波段以氧化铪和二氧化硅为高、低折射率材料的多层增透膜模型,计算机仿真结果表明:当膜层为单层膜时,其中心透射率为17.31%,通带宽度为102nm;而当膜层增至十一层和二十一层时,其中心透射率分别达到... 基于多层薄膜的组成特性,建立了可见光波段以氧化铪和二氧化硅为高、低折射率材料的多层增透膜模型,计算机仿真结果表明:当膜层为单层膜时,其中心透射率为17.31%,通带宽度为102nm;而当膜层增至十一层和二十一层时,其中心透射率分别达到了99.30%和99.99%,但其通带宽度却分别下降至57.1nm和50.2nm.研究表明:随着膜层的不断增加,膜系的透射率也在逐渐增加,且透射率增加的趋势随着膜层数增加而变缓,峰值透射波长缓慢减小,通带半宽度也逐渐变小. 展开更多
关键词 应用光学 激光技术 仿真 增透膜 透射率 通带宽度 膜系结构 多层膜
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真空退火Co/Pt多层膜的结构、磁及磁光特性分析 被引量:2
10
作者 李明 蒋志红 沈德芳 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期375-380,共6页
本文用直流磁控溅射方法制备了Co/Pt多层膜,并对其进行了较为细致的真空退火处理,结果表明,适度的低温退火可增加Co/Pt多层膜的矫顽力,而并不削弱其磁滞克尔回线的矩形特征.当退火温度达到300℃以后,Co/Pt多层膜的矫顽力、垂... 本文用直流磁控溅射方法制备了Co/Pt多层膜,并对其进行了较为细致的真空退火处理,结果表明,适度的低温退火可增加Co/Pt多层膜的矫顽力,而并不削弱其磁滞克尔回线的矩形特征.当退火温度达到300℃以后,Co/Pt多层膜的矫顽力、垂直各向异性和克尔角将强烈下降,晶体结构的改善及应力的释放、晶粒的增长、层间原子扩散引起的Co层有效厚度减薄,进而居里温度的下降,分别是Co/Pt多层膜在低温、中温、高温退火过程中,磁及磁光性能变化的主要机制. 展开更多
关键词 磁光薄膜 多层膜 退火 薄膜 结构 性能
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磁光存储多层膜系统的光学与热分析方法 被引量:1
11
作者 郑玉祥 巨晓华 +3 位作者 张荣君 王松有 李晶 陈良尧 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期18-22,共5页
采用光学转移矩阵法计算激光照射下磁光存储多层膜的磁光及光学响应、光强分布及焦耳热损失分布 ,再用有限元方法求解在这种多层膜中的热传导方程 ,从而得到激光照射下多层膜系统中的温度场分布 .这种方法可用于磁光光盘的光学与热学设计 .
关键词 磁光存储 光学薄膜 多层膜 磁光效应 光学分析 热分析
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基于双色光干涉的面接触润滑油膜在线测量 被引量:4
12
作者 白清华 郭峰 +1 位作者 姜培刚 黄柏林 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期283-289,共7页
根据面接触润滑油膜红绿双色光干涉强度调制信号,构造了基于光流和动态时间弯曲技术的追踪算法,对一维调制光强曲线上与膜厚具有对应关系的特定目标区域进行实时追踪,从而实现了在线实时膜厚测量.通过与稳态离线测量结果对比,验证了该... 根据面接触润滑油膜红绿双色光干涉强度调制信号,构造了基于光流和动态时间弯曲技术的追踪算法,对一维调制光强曲线上与膜厚具有对应关系的特定目标区域进行实时追踪,从而实现了在线实时膜厚测量.通过与稳态离线测量结果对比,验证了该在线测量系统的准确性和可靠性.利用该系统对三角波形式变速过程中流体动压润滑瞬时膜厚进行了测量,揭示了膜厚滞后于速度变化的规律. 展开更多
关键词 光干涉 油膜厚度 面接触 在线测量
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薄膜干涉型光纤温度传感器的偏振特性 被引量:3
13
作者 高晓丹 刘岚 +1 位作者 姚敏 魏纯 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第10期13-16,共4页
薄膜干涉型光纤传感器的传感特性主要取决于敏感薄膜。当光倾斜入射敏感薄膜时,p-偏振光和s-偏振光分离,会产生偏振效应。通过对光纤温度传感器的温度感测原理与偏振效应分析,采用光学薄膜的特征矩阵干涉理论,构建了具有偏振特性的光纤... 薄膜干涉型光纤传感器的传感特性主要取决于敏感薄膜。当光倾斜入射敏感薄膜时,p-偏振光和s-偏振光分离,会产生偏振效应。通过对光纤温度传感器的温度感测原理与偏振效应分析,采用光学薄膜的特征矩阵干涉理论,构建了具有偏振特性的光纤温度传感器理论模型。模拟了反射光谱在不同温度下的偏振特性,分析了偏振效应对薄膜干涉型光纤传感器温度传感特性的影响。结果表明:相对于待测量温度而言,反射光谱干涉条纹的波长漂移对偏振效应更加敏感。通过对敏感薄膜反射光谱的波长漂移来进行物理量感测的温度、湿度、折射率等薄膜干涉型光纤传感器,有必要考虑敏感元件偏振效应的影响,以提高传感器的精度和研制效率。 展开更多
关键词 光纤传感器 薄膜 偏振效应 干涉
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线性测量法拉第旋转角的新型OCT设计 被引量:5
14
作者 李超 林韩 徐启峰 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第24期46-54,共9页
传统的光学电流传感器(OCT)基于法拉第磁光效应、马吕斯定律和偏振光光强解调模式,存在动态测量范围受到限制、非线性测量、易受线双折射和温漂等问题。通过提出一种基于会聚偏光干涉原理的新型OCT,将法拉第旋转角转换为干涉条纹的线性... 传统的光学电流传感器(OCT)基于法拉第磁光效应、马吕斯定律和偏振光光强解调模式,存在动态测量范围受到限制、非线性测量、易受线双折射和温漂等问题。通过提出一种基于会聚偏光干涉原理的新型OCT,将法拉第旋转角转换为干涉条纹的线性位移,用线阵CCD像机采集位移图样并由图像处理算法计算位移量,得到电流信号的实时数字量。采用磁光薄膜代替传统的磁光玻璃或磁光晶体,以降低线双折射对测量结果的影响。通过实验验证,新型OCT能够测量的法拉第旋转角达到±64.51°,线性度良好,并有效降低了线双折射和温漂的影响。 展开更多
关键词 光学电流传感器 法拉第旋转角 会聚偏光干涉 磁光薄膜 温漂 线双折射
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提高诱导透射滤光片性能的改进设计 被引量:1
15
作者 林宇翔 章岳光 +1 位作者 顾培夫 唐晋发 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期273-276,共4页
提出了一种改进的诱导透射滤光片的设计方法,使对于任意厚度的金属,均能得到最佳匹配的出射导纳.采用两个非四分之一波长层来代替传统设计方法中的单间隔层,其厚度可以通过导纳图解得.通过改变两个间隔层的材料,可以对滤光片的带宽进行... 提出了一种改进的诱导透射滤光片的设计方法,使对于任意厚度的金属,均能得到最佳匹配的出射导纳.采用两个非四分之一波长层来代替传统设计方法中的单间隔层,其厚度可以通过导纳图解得.通过改变两个间隔层的材料,可以对滤光片的带宽进行调整.与传统方法相比,用改进的方法设计的滤光片达到了最大势透射率,具有更高的峰值透射率. 展开更多
关键词 诱导透射滤光片 膜系设计 势透射率 出射导纳
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基底温度对ZnO/Cu/ZnO透明导电膜性能的影响 被引量:2
16
作者 李爱丽 闫金良 +1 位作者 石亮 刘建军 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1227-1230,共4页
采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Cu靶的方法在不同基底温度下制备了ZnO/Cu/ZnO多层膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度计和四探针测试仪对样品的性能进行了表征。结果表明,随着基底温度的升高,ZnO层c轴择优取... 采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶、直流磁控溅射Cu靶的方法在不同基底温度下制备了ZnO/Cu/ZnO多层膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度计和四探针测试仪对样品的性能进行了表征。结果表明,随着基底温度的升高,ZnO层c轴择优取向明显,结晶程度变好,Cu层的结晶性先变好后逐渐变差;多层膜表面均方根粗糙度随基底温度的升高而增加;光学透过率随基底温度的升高逐渐增大,基底温度为300℃时最大透过率接近90%;面电阻随基底温度的升高逐渐增加,最小面电阻为12.4Ω/□。 展开更多
关键词 透明导电膜 多层膜 光学性质 电学性质
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光反射干涉谱新方法测试薄膜厚度和光学常数 被引量:2
17
作者 廖荣 张海燕 +3 位作者 杨铁铮 谈锬 范宇 王道然 《中国测试》 CAS 北大核心 2013年第6期10-13,共4页
依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理,并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明:该方法可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基... 依据测量薄膜和光之间相互作用可确定薄膜特性的原理,并基于光反射干涉谱与德国最新研发薄膜分析软件SCOUT的新方法可测量已知或未知材料的多层薄膜厚度及其折射率n、消光系数k。通过实际测试证明:该方法可测试单晶硅、玻璃、ITO玻璃基底上沉积薄膜的厚度,样品基本不需要特别准备,对样品无破坏性,测试精准。理论上可以测量所有透光或半透光薄膜的厚度和光学常数,操作非常简便,适合于镀膜行业的在线检测和实时监控,且SCOUT软件在多层膜及多种材料的研发、制备等方面具有应用潜力。 展开更多
关键词 纳米薄膜 光反射干涉谱 薄膜厚度 折射率 消光系数
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用等厚干涉测液体折射率 被引量:7
18
作者 王彦方 吴俊林 《陕西师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期57-58,共2页
采用劈尖实验装置在不改变劈尖膜条件下,同时测得空气膜和液体膜的干涉条纹宽度,并进一步计算出实验结果,从而得到一种方便求出液体折射率的新方法.
关键词 劈尖 等厚干涉 折射率 光程差
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肥皂膜水洞实验技术 被引量:7
19
作者 杨义红 尹协振 陆夕云 《实验流体力学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期36-41,共6页
介绍了一种新型的实验装置———肥皂膜水洞,该装置为研究二维流体力学问题提供了便利条件,干涉法可用来对流场进行流动显示实验。笔者运用这套系统对双圆柱绕流和栅格湍流进行了初步探讨。
关键词 肥皂膜水洞 干涉法 流动显示 二维流 双圆柱绕流 网格湍流
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金属基复合透明导电多层膜的研究进展 被引量:4
20
作者 王振国 蔡珣 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期1-3,16,共4页
简要分析了金属基复合透明导电多层膜的发展及应用现状,对其原理、结构设计、稳定性等方面的研究概况及其存在的问题进行了讨论。阐述了金属基复合透明导电多层膜的发展趋势。
关键词 金属基 透明导电膜 多层膜 光电性能
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