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用全息三波面干涉法产生透镜阵列
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作者 王丁 陈文涛 《光电工程》 EI CAS CSCD 1996年第2期28-33,共6页
采用三次曝光在全息图上依次记录下三个两两波法线夹角相等的平面波。然后用原参考光照射处理后的全息图,同时再现出三个平面波,得到三光束干涉的六角形蜂窝状阵列式空间光强分布。用正性光刻胶板记录下此光强分布,经显影、电铸等工... 采用三次曝光在全息图上依次记录下三个两两波法线夹角相等的平面波。然后用原参考光照射处理后的全息图,同时再现出三个平面波,得到三光束干涉的六角形蜂窝状阵列式空间光强分布。用正性光刻胶板记录下此光强分布,经显影、电铸等工艺步骤制成镍母板。用镍母板在透明塑料上热压成型得到透镜阵列板。 展开更多
关键词 光学零件加工 微型透镜 全息干涉术
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