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关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题被引量：4: 1; 作者尤大伟任荆学 +1 位作者黄小刚武建军《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期279-282,共4页; 本文目的在于改进霍尔源的设计 ,实现宽能、大束流、低气耗、低污染、能自动化控制的新一代霍尔源。; 关键词光学镀膜离子束辅助镀膜等离子体加速器霍尔离子源; 在线阅读下载PDF 职称材料

端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究被引量：14: 2; 作者潘永强朱昌 +1 位作者陈智利杭凌侠《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期57-60,共4页; 研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源 ,论述了该源的工作原理以及伏安特性。着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法 ,并对测量结果进行了分析、比较。; 关键词离子束辅助沉积光学薄膜端部霍尔等离子体离子源工作原理束流密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题	尤大伟任荆学黄小刚武建军	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究	潘永强朱昌陈智利杭凌侠	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2003	14	在线阅读下载PDF 职称材料

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