采用DMD并行输入的激光干涉直写方法 被引量：11

1

作者 吴智华 周小红 +2 位作者 魏国军 邵洁 陈林森 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第5期424-428,共5页

基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处... 基于HoloMaker-IV激光干涉直写系统的数字微反射镜(digital micro-mirror device,DMD)并行输入光刻方式,提出了根据图形特性的智能边界处理,实现了超高分辨率图像的高效激光直写干涉光刻。通过DMD输入图形与系统干涉控制参数相互匹配处理的方式对256色位图进行了图形格式转换,从而支持2D/3D,3D光变图像以及各种微图形文字的处理,为高效率制作高品质光变图像提供了新方法。实验表明:在2400DPI分辨率下,该方法比传统逐点光刻法的运行效率提高90倍。给出了高质量的实验结果。 展开更多

关键词 并行激光直写 图像处理软件 数字光变图像

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液晶可变延迟器研制及其电控相位延迟测量 被引量：12

2

作者 江继军 张大勇 李剑峰 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期652-655,共4页

为了获取线性易控的可变延迟器,研制了基于SLC-7607A平行向列相液晶的可变延迟器。简要阐述了液晶可变延迟器工作原理和研制工艺过程,采用基于Stokes参量的可变延迟器的相位延迟测量新方法,在入射光波长为632.8nm时,测出了可变延迟器的... 为了获取线性易控的可变延迟器,研制了基于SLC-7607A平行向列相液晶的可变延迟器。简要阐述了液晶可变延迟器工作原理和研制工艺过程,采用基于Stokes参量的可变延迟器的相位延迟测量新方法,在入射光波长为632.8nm时,测出了可变延迟器的相位延迟与控制电压关系特征曲线,测量结果具有很好的重复性。结果表明,电压在1V～2.7V区间,可变延迟器具有线性易控的特点,并拟合出它们的线性关系式。该实验结果对液晶可变延迟器的研制、测量和使用都具有一定的参考价值。 展开更多

关键词 光学器件 液晶 可变延迟器 斯托克斯参量 线性

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单驱动变曲率单晶硅反射镜的研究 被引量：1

3

作者 张治国 熊木地 +1 位作者 张增宝 金玉奇 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期280-284,共5页

为了解决高能激光器输出光束的光束质量随时间蜕变的问题,提出了一种主动光学元件的结构,只使用一个驱动器使反射镜的曲率产生可控制的改变,用以补偿高能激光器中增益介质或光学元件因热效应而产生的球差。通过理论模拟计算和实验研究... 为了解决高能激光器输出光束的光束质量随时间蜕变的问题,提出了一种主动光学元件的结构,只使用一个驱动器使反射镜的曲率产生可控制的改变,用以补偿高能激光器中增益介质或光学元件因热效应而产生的球差。通过理论模拟计算和实验研究对比验证,这种结构能够使单晶硅基底的反射镜产生微小变形,通过精确控制驱动器,可以使反射镜产生所需要的曲率变化。结果表明,这种主动光学元件可以用于谐振腔内补偿高能激光器中热效应产生的球差项的影响。 展开更多

关键词 光学器件 变曲率 单驱动 热补偿

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全光纤热光型可变光衰减器的闭环控制 被引量：2

4

作者 潘昊 陈哲 +1 位作者 张云聪 张凌童 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2008年第3期36-39,共4页

根据全光纤热光型变光衰减器(FTOVOA)的光电特性提出了针对该型FTOVOA的闭环控制的设计,并研制了该型FTOVOA的闭环控制系统。实验结果表明,当FTOVOA衰减量小于35dB时,闭环控制系统使光衰减量漂移小于±0.23dB。通过引入闭环控制不... 根据全光纤热光型变光衰减器(FTOVOA)的光电特性提出了针对该型FTOVOA的闭环控制的设计,并研制了该型FTOVOA的闭环控制系统。实验结果表明,当FTOVOA衰减量小于35dB时,闭环控制系统使光衰减量漂移小于±0.23dB。通过引入闭环控制不仅改善了全光纤热光型可变光衰减器的稳定性,而且使这种电流控制型的可变光衰减器变为一种电压控制型器件。 展开更多

关键词 可变光衰减器 侧边抛磨光纤 全光纤器件 闭环控制 光功率监控

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可见光波段亚波长防伪光栅的实验研究 被引量：4

5

作者 陈永利 赵达尊 +2 位作者 张静方 朱军 王晓利 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期139-142,共4页

研究可见光波段亚波长防伪光栅的制做.给出了用2θ夹角一次光刻、2θ夹角摆动δ角两次光刻和2θ夹角旋转β角两次光刻等干涉光刻工艺设计和构建可见光波段亚波长光栅微结构的基本原理.优化设计的干板表面曝光量分布函数可用于构建特定... 研究可见光波段亚波长防伪光栅的制做.给出了用2θ夹角一次光刻、2θ夹角摆动δ角两次光刻和2θ夹角旋转β角两次光刻等干涉光刻工艺设计和构建可见光波段亚波长光栅微结构的基本原理.优化设计的干板表面曝光量分布函数可用于构建特定面形分布的光栅微结构.制作了可见光波段的1维和2维亚波长光栅微结构,给出了其SEM和AFM实验数据和理论分析图形,检验了微结构的彩色防伪光变效果.实验结果表明:该干涉光刻工艺能够构建出表面光滑、深度较大的复杂光栅微结构,并能展现出一定的彩色光变效果. 展开更多

关键词 亚波长光栅微结构 防伪光变图像 高频光栅构建 干涉光刻

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双层交叉叠合式共振亚波长光栅 被引量：2

6

作者 陈永利 赵达尊 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期1147-1150,共4页

提出了一种防伪光栅结构-双层交叉叠合式共振亚波长光栅,其特点是可以展宽共振亚波长光栅的共振波长宽度,使得当将其应用于防伪时能得到更佳的光变效果。分析了半峰全宽展宽的原理,指出共振宽度值的大小依赖于耦合到光栅波导层内一级衍... 提出了一种防伪光栅结构-双层交叉叠合式共振亚波长光栅,其特点是可以展宽共振亚波长光栅的共振波长宽度,使得当将其应用于防伪时能得到更佳的光变效果。分析了半峰全宽展宽的原理,指出共振宽度值的大小依赖于耦合到光栅波导层内一级衍射光的能量。优化设计了此种光栅的结构参量。用矢量衍射理论对该结构的共振特性和制作工艺误差进行了研究。研究表明:这种防伪光栅的共振光谱峰值并不随着入射角的改变而降低,共振半峰全宽最大值约为同等条件下基本共振光栅结构的7倍,该结构的共振性能对光栅制作误差不是很敏感,是一种应用价值较高的防伪光栅结构。 展开更多

关键词 共振亚波长光栅 半峰全宽展宽 层叠光栅 光变图像防伪

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聚合物分散液晶材料可调光衰减器的设计与制作

7

作者 郑继红 顾玲娟 +2 位作者 张兴德 苏锦文 庄松林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期877-880,共4页

本文介绍了基于聚合物分散液晶材料及全息电控光栅元件的形成机理。提出了基于全息PDLC技术的可调光衰减器的设计,利用H-PDLC光栅制作了衰减器实验样品。H-PDLC光衰减器样品在1550nm的光通信波段测试结果表明,在输入光源为1550nm、223μ... 本文介绍了基于聚合物分散液晶材料及全息电控光栅元件的形成机理。提出了基于全息PDLC技术的可调光衰减器的设计,利用H-PDLC光栅制作了衰减器实验样品。H-PDLC光衰减器样品在1550nm的光通信波段测试结果表明,在输入光源为1550nm、223μW情况下,光衰减器的插入损耗为2.3 dB,衰减调节范围为12dB。 展开更多

关键词 光通信器件 聚合物分散液晶 光衰减器 光电材料

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针式光栅头光学可变图像打印系统的设计

8

作者 沈雁 陈林森 +1 位作者 周望 解剑峰 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期67-68,共2页

本文提出了针式光栅头光学可变图像打印系统的原理和设计方法 ,分析了光学可变图像的特性 ,指出该系统不仅可以打印普通平面图像 ,更能设计打印光学可变图像和体视对立体图像 ,研制了该系统并给出了光学可变图像的打印实验结果。

关键词 光栅 衍射 光学可变图像 打印

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基于数字光栅模板的光变图像形成方法

9

作者 周万根 许忠保 +1 位作者 钟毓宁 苏昊 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期822-825,共4页

研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的... 研究了以数字光栅模板形成光变图像的方法,搭建了以Lcos空间光调制器为图像发生器的光刻实验平台。该方法与传统光刻技术相比有两大改进:采用数字光栅模板替代分束元件及机械旋转结构;以Lcos为图像发生器,采用面阵式的曝光得到高质量的具有位相信息的任意光斑图形。该方法的分辨率可达1000线/mm,能够制作出高质量的光变图像,如2D/3D图像以及各种精密的微刻图像和文字。 展开更多

关键词 激光直写 数字光栅 空间光调制器 光变图像

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基于3D-VTGM-SBPM平行定向耦合器模拟研究

10

作者 张夕飞 马长峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期188-191,共4页

提出基于变量变换伽辽金法的三维半矢量束传播法(3D-VTGM-SBPM),可直接应用于三维光波导器件的光波传输模拟.采用适当的变量变换,将三维半矢量BPM基本方程归结为一阶常微分方程组,避免了非物理反射且能反映模场的偏振特性,成功的分析了... 提出基于变量变换伽辽金法的三维半矢量束传播法(3D-VTGM-SBPM),可直接应用于三维光波导器件的光波传输模拟.采用适当的变量变换,将三维半矢量BPM基本方程归结为一阶常微分方程组,避免了非物理反射且能反映模场的偏振特性,成功的分析了基于脊形光波导的平行定向耦合器的光波传输特性. 展开更多

关键词 光波导器件 变量变换伽辽金法 三维束传播法 半矢量 平行定向耦合器

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基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现 被引量：5

11

作者 陆亚聪 陈林森 +2 位作者 魏国军 邵洁 周小红 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期46-47,共2页

提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨... 提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。 展开更多

关键词 激光直写 数字微反射镜 光变图像

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Wollaston棱镜对发散光束的分束特性分析 被引量：4

12

作者 薛林 吴福全 蒋琳琳 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期833-836,共4页

为了了解Wollaston棱镜用于发散光束时对出射o光束、e光束发散角的影响,利用折射定律对发散光束两边缘光线通过Wollaston棱镜后的o光、e光分束角进行了推导,采用控制变量法分析了发散光束经过Wollaston棱镜后出射的o光束和e光束的变化,... 为了了解Wollaston棱镜用于发散光束时对出射o光束、e光束发散角的影响,利用折射定律对发散光束两边缘光线通过Wollaston棱镜后的o光、e光分束角进行了推导,采用控制变量法分析了发散光束经过Wollaston棱镜后出射的o光束和e光束的变化,得出了Wollaston棱镜对出射o光束、e光束发散角的影响。结果表明,相对入射光束的发散角,Wollaston棱镜对o光束有减小发散角的作用,对e光束有增大发散角的作用;对于一定结构角的棱镜,当入射光的波长变大时,o光束发散角增大,而e光束发散角减小;对于确定的单色发散光束,当结构角增大时,o光束发散角减小,而e光束发散角增大;无论是入射光的波长还是棱镜结构角的变化,对出射o光束、e光束发散角的影响都是有限的。由此可见,在要求不是太高的应用中,可以忽略Wollaston棱镜对出射o光束、e光束发散角的影响。 展开更多

关键词 光学器件 WOLLASTON棱镜 控制变量法 发散光束 发散角

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一种利用光变图像光刻系统的存储方法 被引量：2

13

作者 樊莉 陈林森 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期297-299,共3页

文中提出了一种高密度光变图像的存储方法,利用光变图像激光光刻系统,采用空间光调制器(SLM)进行子图输入,在平面记录材料光刻胶上进行2D光变图像和文字的光学存储,制成易于复制的浮雕位相型衍射图像。

关键词 空间光调制器 光变图像 存储方法 光存储 光刻胶

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基于三组元可调光焦度器件的变焦光学系统设计

14

作者 程洪涛 李恒宇 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期1127-1132,共6页

采用矩阵光学理论分析三组元可调光焦度器件的变焦系统的一阶属性,得到了基于系统放大率的光焦度控制方程。结合三组元系统初始参数并以系统球差最小为目标,对其进行了初始结构设计,得到了透镜形状参数的控制函数,然后进行光焦度和像质... 采用矩阵光学理论分析三组元可调光焦度器件的变焦系统的一阶属性,得到了基于系统放大率的光焦度控制方程。结合三组元系统初始参数并以系统球差最小为目标,对其进行了初始结构设计,得到了透镜形状参数的控制函数,然后进行光焦度和像质评价验证计算,最后对设计实例进行了归化对比验证。验证结果表明:对球差最小优化值的求解可信,设计方法为采用可调光焦度器件设计变焦系统提供了参考。 展开更多

关键词 可调光焦度器件 变焦 光学系统 几何光学

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双余弦型像素光变防伪商标

15

作者 杨畅 张逸新 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期9-12,共4页

目的建立一种光变防伪商标的微镜像素模型。方法基于色光反射,利用双余弦函数所构成的微镜曲面,满足反射光亮度和反射光强稳定度的雅可比行列式判据特性。结果构建出了适用于商标的RGBS结构型印刷防伪微镜模型,模拟并分析了函数表面形... 目的建立一种光变防伪商标的微镜像素模型。方法基于色光反射,利用双余弦函数所构成的微镜曲面,满足反射光亮度和反射光强稳定度的雅可比行列式判据特性。结果构建出了适用于商标的RGBS结构型印刷防伪微镜模型,模拟并分析了函数表面形状随参数变化的情况。结论该模型利用余弦函数的周期性,可通过调节结构参量达到防伪的效果。 展开更多

关键词 微结构防伪 RGBS颜色模式 光变防伪 反射防伪

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