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郎穆尔探针低温低压等离子体诊断 被引量:5
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作者 王晓冬 张杨 +3 位作者 王庆 李敖 王瑞 陈文 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期995-997,共3页
基于Orbital Motion Limit(OML)离子收集理论,建立了等离子体参数与朗缪尔探针电流、电压之间的函数关系。将MATLAB作为编程工具,编制计算程序,采用多重滤波方法消除朗缪尔探针对等离子体产生的干扰。分析不同滤波方法对探针电流、电子... 基于Orbital Motion Limit(OML)离子收集理论,建立了等离子体参数与朗缪尔探针电流、电压之间的函数关系。将MATLAB作为编程工具,编制计算程序,采用多重滤波方法消除朗缪尔探针对等离子体产生的干扰。分析不同滤波方法对探针电流、电子电流、电子电流的一阶和二阶微分等朗缪尔探针诊断数据滤波的影响,与自行设计的数字实验结果进行对比,选择最优滤波方法,以提高朗缪尔探针的诊断精度。 展开更多
关键词 朗缪尔探针 离子体诊断 oml离子收集理论 多重滤波 数字实验
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