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三维Ni亚微米柱阵列的制备及微结构研究
被引量：
1
1
作者
陈昶
张伟
+5 位作者
陈建
刘春海
曾宪光
杨瑞嵩
王龙
蒲国
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期125-128,共4页
利用磁控溅射法在阳极氧化铝(AAO)模板上制备了Ni亚微米柱阵列,研究了不同退火温度对Ni亚微米柱阵列结构稳定性的影响。通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等对不同退火温度下制备的Ni亚微米柱阵列的晶体结...
利用磁控溅射法在阳极氧化铝(AAO)模板上制备了Ni亚微米柱阵列,研究了不同退火温度对Ni亚微米柱阵列结构稳定性的影响。通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等对不同退火温度下制备的Ni亚微米柱阵列的晶体结构以及表面形貌进行了表征。结果表明,磁控溅射法制备的Ni亚微米柱阵列具有多晶的面心立方结构,排列规则、粗细均匀,其直径约为400nm。经400℃退火后,开始形成Al1.1Ni0.9和AlNi金属间化合物。500℃退火后,出现空心Ni亚微米柱,且Ni亚微米柱体积膨胀变粗。600℃退火后,Ni亚微米柱部分脱落。
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关键词
AAO模板
磁控溅射
ni亚微米柱阵列
晶体结构
表面形貌
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职称材料
题名
三维Ni亚微米柱阵列的制备及微结构研究
被引量：
1
1
作者
陈昶
张伟
陈建
刘春海
曾宪光
杨瑞嵩
王龙
蒲国
机构
四川理工学院材料科学与工程学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室
四川理工学院分析测试中心
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期125-128,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51201111)
材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金资助项目(2015CL04)
+5 种基金
四川理工学院研究生创新基金资助项目(y2014017)
四川理工学院人才引进基金资助项目(2011RC05)
四川理工学院培育资助项目(2015PY01)
四川理工学院大学生创新创业训练计划资助项目(CX20141020)
四川省教育厅资助项目(12ZB285)
自贡市科技局资助项目(2013X05)
文摘
利用磁控溅射法在阳极氧化铝(AAO)模板上制备了Ni亚微米柱阵列,研究了不同退火温度对Ni亚微米柱阵列结构稳定性的影响。通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等对不同退火温度下制备的Ni亚微米柱阵列的晶体结构以及表面形貌进行了表征。结果表明,磁控溅射法制备的Ni亚微米柱阵列具有多晶的面心立方结构,排列规则、粗细均匀,其直径约为400nm。经400℃退火后,开始形成Al1.1Ni0.9和AlNi金属间化合物。500℃退火后,出现空心Ni亚微米柱,且Ni亚微米柱体积膨胀变粗。600℃退火后,Ni亚微米柱部分脱落。
关键词
AAO模板
磁控溅射
ni亚微米柱阵列
晶体结构
表面形貌
Keywords
AAO template
magnetron sputtering
ni
submicron columns array
crystal structure
surface morphology
分类号
P754.1 [天文地球—海洋科学]
O646.21 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维Ni亚微米柱阵列的制备及微结构研究
陈昶
张伟
陈建
刘春海
曾宪光
杨瑞嵩
王龙
蒲国
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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