金属掺杂二硫化钨基传感器对空气开关柜绝缘缺陷气体NO_(2)的气敏特性研究

1

作者 姚远 黄银阳 +3 位作者 刘立 顾键 周渠 曾文 《传感技术学报》 北大核心 2025年第8期1381-1387,共7页

NO_(2)是空气开关柜绝缘缺陷最重要的特征气体之一,对其进行准确监测可有效评估空气开关柜的运行状态。针对传统WS_(2)基气体传感器检测NO_(2)气敏响应低、响应恢复速度慢、功耗高等问题,提出一种用金属(Ni和Pd)掺杂WS_(2)基气体传感器... NO_(2)是空气开关柜绝缘缺陷最重要的特征气体之一,对其进行准确监测可有效评估空气开关柜的运行状态。针对传统WS_(2)基气体传感器检测NO_(2)气敏响应低、响应恢复速度慢、功耗高等问题,提出一种用金属(Ni和Pd)掺杂WS_(2)基气体传感器检测空气开关柜绝缘缺陷气体NO_(2)的方法。利用水热法制备了WS_(2)、Ni-WS_(2)和Pd-WS_(2)三种气敏材料,制作了WS_(2)、Ni-WS_(2)和Pd-WS_(2)气体传感器并测试了其对NO_(2)的气敏特性,基于密度泛函理论探究了Ni-WS_(2)和Pd-WS_(2)单层的敏感机理。结果表明,两种金属掺杂分别在灵敏度和响应速度方面提升了本征WS_(2)传感器的气敏性能,其中Ni-WS_(2)传感器的气敏性能更好,对5×10^(-6)NO_(2)灵敏度约为本征传感器的3.08倍。通过对Ni-WS_(2)和Pd-WS_(2)单层的敏感机理探究,验证了金属掺杂WS_(2)对NO_(2)气体吸附性能提升的实验结果。 展开更多

关键词 空气开关柜 no_(2)传感检测 气敏特性 二硫化钨 气敏机理

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检测空气绝缘分解气体NO_(2)的Pd-MoSe_(2)传感器研究 被引量：1

2

作者 吴宝良 李谈笑 +3 位作者 杨家隆 廖一铭 蒋佳明 周渠 《重庆理工大学学报（自然科学）》 CAS 北大核心 2024年第7期220-227,共8页

针对目前NO_(2)传感器响应低、恢复速度慢、功耗高等问题,提出一种用于空气绝缘分解气体NO_(2)检测的金属钯Pd掺杂MoSe_(2)基气体传感方法。制备了本征MoSe_(2)气敏传感器与Pd-MoSe_(2)气敏传感器,并基于所搭建气敏响应测试平台研究其对... 针对目前NO_(2)传感器响应低、恢复速度慢、功耗高等问题,提出一种用于空气绝缘分解气体NO_(2)检测的金属钯Pd掺杂MoSe_(2)基气体传感方法。制备了本征MoSe_(2)气敏传感器与Pd-MoSe_(2)气敏传感器,并基于所搭建气敏响应测试平台研究其对NO_(2)的气敏响应特性,利用第一性原理计算NO_(2)在MoSe_(2)晶面上的吸附参数和吸附行为。经过气敏特性测试发现:室温工作时,Pd-MoSe_(2)气敏传感器对20μL/L NO_(2)的响应值为3.95,响应时间和恢复时间分别为38 s和46 s,可实现2μL/L NO_(2)的有效检测。理论计算结果表明:本征MoSe_(2)对NO_(2)的吸附为弱物理吸附,而Pd-MoSe_(2)表现为强化学吸附。研究结果可为高性能MoSe_(2)气体传感器的制备及其在NO_(2)在线监测中的应用提供借鉴。 展开更多

关键词 空气绝缘分解气体 硒化钼 no_(2) 气敏传感器

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水热处理对SnO_2厚膜气敏传感器性能的影响 被引量：5

3

作者 徐红燕 李梅 +4 位作者 刘秀琳 孙海燕 王成建 崔得良 蒋民华 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1415-1417,共3页

研究了水热处理对于SnO2厚膜气敏传感器性能的影响。为了便于作对比,首先把SnO2纳米粉(平均粒径约200nm)平均分为两份:一份不经处理,直接用传统的厚膜传感器制备工艺制成气敏传感器(称为“原粉传感器”);另一份经过200℃水热处理后,用... 研究了水热处理对于SnO2厚膜气敏传感器性能的影响。为了便于作对比,首先把SnO2纳米粉(平均粒径约200nm)平均分为两份:一份不经处理,直接用传统的厚膜传感器制备工艺制成气敏传感器(称为“原粉传感器”);另一份经过200℃水热处理后,用同样的工艺制备成厚膜气敏传感器(称为“预处理粉传感器”)。利用乙醇、丙酮、CH4、H2和CO气体对这两种气敏传感器的性能进行了测试,结果表明预处理粉传感器的灵敏度和选择性明显优于原粉传感器。为了分析出现这种差异的原因,我们对这两种传感器的显微结构进行了分析,并在此基础上对实验现象进行了讨论。 展开更多

关键词 Sno2纳米粉 水热处理 气敏传感器 灵敏度 选择性

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半导体SnO_2纳米晶态粉体显微结构对气敏传感器性能的影响 被引量：5

4

作者 惠春 陈寿田 +1 位作者 徐爱兰 徐毓龙 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期178-179,共2页

用XRD、SEM手段分析了共沉淀工艺和水热合成技术制备的半导体SnO2 纳米晶态粉体及其厚膜陶瓷材料的显微结构 ,结果表明两种粉体的晶粒尺寸大约 7nm ,但两种粉体的XRD照片差异较大。用水热合成技术制备的粉体其颗粒是由纳米晶粒团聚而成 ... 用XRD、SEM手段分析了共沉淀工艺和水热合成技术制备的半导体SnO2 纳米晶态粉体及其厚膜陶瓷材料的显微结构 ,结果表明两种粉体的晶粒尺寸大约 7nm ,但两种粉体的XRD照片差异较大。用水热合成技术制备的粉体其颗粒是由纳米晶粒团聚而成 ,颗粒尺寸大约 30 0nm左右 ,具有较大的表面活性 ,而用共沉淀工艺制备的粉体 ,颗粒分布较宽 ,活性差。两种粉体的显微结构对厚膜陶瓷材料显微结构的形成和SnO2厚膜气敏传感器选择性、灵敏度和稳定性有着显著的影响。 展开更多

关键词 Sno2 纳米晶态粉体 气敏传感器 显微结构

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温湿度对SnO_2基CO气体传感器敏感特性的影响 被引量：6

5

作者 薛严冰 唐祯安 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期793-798,共6页

采用溶胶-凝胶法制备了纳米SnO2粉体及Pd掺杂浓度比分别为0.2 mol%、2 mol%1、0 mol%的三种掺杂粉体。以制得的粉体作为敏感材料,制成陶瓷微热板式CO气体传感器。在自行搭建的气体测试平台上,测试了各传感器在不同环境温湿度条件下对CO... 采用溶胶-凝胶法制备了纳米SnO2粉体及Pd掺杂浓度比分别为0.2 mol%、2 mol%1、0 mol%的三种掺杂粉体。以制得的粉体作为敏感材料,制成陶瓷微热板式CO气体传感器。在自行搭建的气体测试平台上,测试了各传感器在不同环境温湿度条件下对CO的响应,研究了Pd掺杂浓度对传感器湿度稳定性的影响,探讨了湿度影响传感器灵敏度的机理。实验结果表明:0.2 mol%Pd掺杂器件在不同湿度条件下灵敏度离散度由掺杂前的20.5%降低至8.63%,有效提高了传感器的湿度稳定性。10 mol%Pd掺杂器件在湿度大于50%相对湿度时,对20×10-6 CO出现反常响应,在还原气体CO出现时气敏膜电导减小。 展开更多

关键词 CO气体传感器 环境温湿度 气敏特性 Pd掺杂Sno2 掺杂浓度

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钠沸石/银离子玻璃NO_2气敏传感器的性能 被引量：1

6

作者 任惠茹 李刚 +1 位作者 林凌 于学敏 《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期611-614,共4页

报道一种新型固态电解质NO2 气敏传感器 ,它以人工钠沸石材料为气敏固态电解质 ,新型银离子玻璃为气敏辅助性材料 ,溅射金膜为工作电极 ,埋藏于银离子玻璃中的银球为参比电极 ,构成电位型气敏传感器 ,可在线检测来自工业废气和汽车尾气... 报道一种新型固态电解质NO2 气敏传感器 ,它以人工钠沸石材料为气敏固态电解质 ,新型银离子玻璃为气敏辅助性材料 ,溅射金膜为工作电极 ,埋藏于银离子玻璃中的银球为参比电极 ,构成电位型气敏传感器 ,可在线检测来自工业废气和汽车尾气等污染源的NO2 . 展开更多

关键词 no2 气敏传感器 钠沸石 银离子玻璃 固态电解质 二氧化氮 气敏材料

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基于纳米TiO_(2)气敏性传感器的研究进展

7

作者 顾家玉 潘云芳 孙璇 《印染》 CAS 北大核心 2024年第11期76-79,共4页

纳米TiO_(2)材料由于具有较宽的能带及光反应性强的半导体特性,有望成为新一代气敏传感技术的首选基体材料。文中综述了当前国内外基于TiO_(2)气敏性传感器的技术现状,重点介绍了不同空间结构的TiO_(2)气敏性传感器,探讨了TiO_(2)与不... 纳米TiO_(2)材料由于具有较宽的能带及光反应性强的半导体特性,有望成为新一代气敏传感技术的首选基体材料。文中综述了当前国内外基于TiO_(2)气敏性传感器的技术现状,重点介绍了不同空间结构的TiO_(2)气敏性传感器,探讨了TiO_(2)与不同材料复合后的传感特性并揭示就其传感机理,并展望了TiO_(2)气敏性传感器未来的发展趋势。 展开更多

关键词 纳米TiO_(2)材料 气敏传感器 环境监测 有害气体 复合材料

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掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响 被引量：11

8

作者 孙迎伟 胡木林 周志刚 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期799-802,共4页

利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃... 利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃时,SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度,而在工作温度为200～350℃时,SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外,SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后,讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。 展开更多

关键词 Zno 掺SiO2的Zn 厚膜 气敏传感器

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用于SO_2气体检测的4A型分子筛掺杂碳纳米管气敏传感器研制 被引量：3

9

作者 张晓星 罗晨晨 唐炬 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期146-151,共6页

SO2作为SF6气体在局部放电作用下的重要特征分解组分,其体积分数大小和变化规律可用于判断SF6绝缘设备内局部放电的严重程度。为提高碳纳米管传感器对SO2气体的检测灵敏度,实现对SO2气体的快速实时检测,提出了一种分子筛掺杂碳纳米管制... SO2作为SF6气体在局部放电作用下的重要特征分解组分,其体积分数大小和变化规律可用于判断SF6绝缘设备内局部放电的严重程度。为提高碳纳米管传感器对SO2气体的检测灵敏度,实现对SO2气体的快速实时检测,提出了一种分子筛掺杂碳纳米管制备气敏传感器的方法,研究了不同掺杂比例的传感器对体积分数为10-4的SO2气体的气敏响应特性,并对反应机理进行了初步探讨。结果表明:与本征碳纳米管相比,4A分子筛掺杂制备出的碳纳米管气敏传感器对SO2的灵敏度有了显著提高,电阻变化率从0.96%最大提高至33.7%,并且传感器具有良好的重复性和稳定性,多次重复试验表明传感器电阻变化率保持稳定。研究结果为最终实现SF6气体绝缘设备中SO2气体的在线监测奠定了试验基础。 展开更多

关键词 SO2 SF6局部放电 碳纳米管 分子筛 气敏传感器 气敏响应

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一种便携式TiO_2薄膜乙醇气敏传感器的研制 被引量：4

10

作者 何平 赵红东 潘国峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期1471-1474,共4页

研制了一种适合于乙醇检测的新型TiO2基薄膜气敏传感器.敏感材料是采用直流磁控反应溅射法制备在Al2O3陶瓷管上的TiO2薄膜,薄膜经过退火处理(500℃、3 h)后,得到对乙醇蒸汽具有很好选择性和灵敏度的锐钛矿相TiO2,其最佳工作温度为270℃... 研制了一种适合于乙醇检测的新型TiO2基薄膜气敏传感器.敏感材料是采用直流磁控反应溅射法制备在Al2O3陶瓷管上的TiO2薄膜,薄膜经过退火处理(500℃、3 h)后,得到对乙醇蒸汽具有很好选择性和灵敏度的锐钛矿相TiO2,其最佳工作温度为270℃左右,响应时间2 s,恢复时间3 s.测量电路采用以ARM7为核的LPC2131微控制器实时监测电源电压,自动调整占空比,从而实现对加热温度的精确控制.通过测量敏感薄膜的电阻,并与乙醇气体浓度进行校准,最终显示被测气体的浓度.整个传感器采用低功耗设计,具备报警功能,同时提供了一个友好的用户界面. 展开更多

关键词 气敏传感器 TIO2薄膜 电阻测量 选择性

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TiO_2-WO_3复合薄膜型气敏传感器性质研究 被引量：4

11

作者 冯庆 王新强 +1 位作者 刘高斌 王万录 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期278-281,共4页

二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2 h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明,该薄膜对酒精、丙... 二氧化钛和三氧化钨是具有重要功能的无机n型半导体材料,常用来制备气敏传感器。本文利用电子束蒸发制备了TiO2-WO3复合氧化物薄膜,在500℃下退火2 h。通过SEM和XRD观察了该薄膜的形貌特性并进行了气敏测试。实验表明,该薄膜对酒精、丙酮和二氧化硫气体具有较强的敏感性。本文还研究了温度、复合浓度和气体浓度对薄膜气体传感能力的影响。 展开更多

关键词 气敏传感器 电子束蒸发TiO2 WO3 n型金属氧化物

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非接触点胶打印用ZnO-SnO_(2)复合气敏墨水的制备及气敏性能研究

12

作者 王建搏 贾明昊 +3 位作者 王兴锋 雷鸣 沈杰 金伟 《硅酸盐通报》 CAS 北大核心 2024年第10期3878-3885,共8页

非接触点胶打印是一种新型、高精度、无模板、低成本的成膜技术,墨水的理化性质是决定打印薄膜质量的关键,对微电子器件性能有着重要影响。本文采用聚乙二醇400(PEG400)作为分散剂取代传统的高分子量分散剂,以乙二醇和丙三醇为溶剂、ZnO... 非接触点胶打印是一种新型、高精度、无模板、低成本的成膜技术,墨水的理化性质是决定打印薄膜质量的关键,对微电子器件性能有着重要影响。本文采用聚乙二醇400(PEG400)作为分散剂取代传统的高分子量分散剂,以乙二醇和丙三醇为溶剂、ZnO-SnO_(2)复合气敏材料为功能相制备高性能气敏墨水,并利用非接触点胶技术在基于微电子机械系统(MEMS)的微热板上打印ZnO-SnO_(2)复合气敏薄膜。根据墨水的黏度及悬浮稳定性,分析了PEG400含量和固含量对墨水理化性质的影响,通过SEM观察薄膜的微观形貌,研究结果表明,当固含量为15%(质量分数,下同)、PEG400含量为6%时,复合气敏墨水具备可打印性及低温烧结成膜特性,制备的复合气敏薄膜厚度均匀,表面平整,边缘规整,对丙酮气体有良好的响应。 展开更多

关键词 非接触点胶打印 复合气敏墨水 Zno-Sno_(2) PEG400 微热板 气体传感器

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WS_(2)量子点负载In_(2)O_(3)气体传感器制备和气敏特性研究 被引量：2

13

作者 朱东霞 李君 +1 位作者 刘帅伟 李廷鱼 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第6期10-13,17,共5页

利用液相超声法制备了硫化钨(WS_(2))量子点,并将其负载于中空微管状氧化铟(In_(2)O_(3))结构。采用扫描电子显微镜(SEM)对制备的材料表面形貌进行了表征,结果表明:WS_(2)量子点负载于In_(2)O_(3)表面。同时,制备出纯In_(2)O_(3)、WS_(2... 利用液相超声法制备了硫化钨(WS_(2))量子点,并将其负载于中空微管状氧化铟(In_(2)O_(3))结构。采用扫描电子显微镜(SEM)对制备的材料表面形貌进行了表征,结果表明:WS_(2)量子点负载于In_(2)O_(3)表面。同时,制备出纯In_(2)O_(3)、WS_(2)量子点修饰In_(2)O_(3)(WS_(2)@In_(2)O_(3))两种气体传感器,在室温下研究了其对NO_(2)的气敏性能。气敏特性实验表明:WS_(2)量子点的修饰能够显著提升In_(2)O_(3)对NO_(2)的气敏性能,当检测NO_(2)体积分数为50×10^(-6)时,摩尔分数为3%WS_(2)@In_(2)O_(3)在室温下的响应高达722.30,是相同条件下In_(2)O_(3)(195.72)的7.39倍;同时,WS_(2)量子点的修饰大幅度缩短了In_(2)O_(3)传感器的响应恢复时间。此外,所制备的传感器在选择性、重复性、长期稳定性方面皆表现出良好的性能。 展开更多

关键词 WS_(2)量子点 In_(2)O_(3)气体传感器 液相超声法 气敏特性

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TiO2薄膜型气敏传感器研究进展 被引量：4

14

作者 金嘉炜 李国臣 +2 位作者 张冶 李公义 楚增勇 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期28-38,共11页

TiO2纳米薄膜型气敏传感器具有制备方法简单、灵敏度高、一致性好、小型化等优点,且由于TiO2半导体的宽能带使其能够通过涂覆修饰其他元素使传感器性能得到大幅度提高,如今已经越来越受到研究者们的广泛关注。本文综述了当前国内外TiO2... TiO2纳米薄膜型气敏传感器具有制备方法简单、灵敏度高、一致性好、小型化等优点,且由于TiO2半导体的宽能带使其能够通过涂覆修饰其他元素使传感器性能得到大幅度提高,如今已经越来越受到研究者们的广泛关注。本文综述了当前国内外TiO2气敏传感器的研究进展,重点介绍了TiO2薄膜型气敏传感器在H2,NH3,H2S,VOC,CO,SO2六种常见还原性气体和CO2,NOx两种常见氧化性气体检测方面的应用,就其传感性能、传感机理进行了讨论,并展望了TiO2薄膜型气敏传感器研究的未来发展趋势,如通过向TiO2中掺杂导电微粒、贵金属或金属氧化物等以改良其性能,以期为新型气敏传感器的研究提供参考。 展开更多

关键词 TIO2 纳米薄膜型 气敏传感器 传感性能 传感机理

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具有无线传输功能的智能丙酮气敏传感器 被引量：2

15

作者 潘国峰 何平 +2 位作者 王其民 孙以材 高金雍 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第4期1-3,13,共4页

采用直流磁控溅射法制备SnO2掺杂的TiO2薄膜,700℃退火后得到对丙酮具有良好选择性和灵敏度的气敏元件。将具有ARM7内核的LPC2131作为微控制器,设计测量丙酮气体浓度的测试电路。当外界气体浓度发生变化时,采样电路测量出气敏元件的电阻... 采用直流磁控溅射法制备SnO2掺杂的TiO2薄膜,700℃退火后得到对丙酮具有良好选择性和灵敏度的气敏元件。将具有ARM7内核的LPC2131作为微控制器,设计测量丙酮气体浓度的测试电路。当外界气体浓度发生变化时,采样电路测量出气敏元件的电阻值,然后经过微控制器LPC2131处理、分析后,通过nRF905无线收发模块来实现系统的数据传输。该系统具有无线数据传输功能,且灵敏度高,抗干扰强,功耗低,电路设计简单,可广泛应用于对丙酮气体浓度进行实时、远程监控的场所。 展开更多

关键词 气敏传感器 丙酮 TIO2薄膜 ARM 无线传输

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半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用 被引量：1

16

作者 赵全明 李玲玲 +1 位作者 王广健 张剑军 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期343-344,共2页

论述了金属氧化物 Sn O2 的气敏机理 ,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备 Sn O2

关键词 传感器 气敏材料 Sno2薄膜 制备 应用

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溅射Au对SnO_2/Fe_2O_3薄膜气敏特性的影响 被引量：3

17

作者 马晓翠 阎大卫 肖智博 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期4-7,共4页

通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最... 通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。 展开更多

关键词 Sno2/Fe2O3薄膜 气敏特性 双层薄膜 气体传感器 溅射 表面修饰 氧化铁 氧化锡

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微纳结构二氧化锡气敏传感器的研究进展 被引量：1

18

作者 刘斌 李维 +4 位作者 刘海军 冯秋艳 侯腾 李永 郑长征 《应用化工》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期2139-2143,共5页

二氧化锡(SnO_2)是一种重要的半导体气敏材料,特别是具有不同形貌的微纳结构SnO_2,由于其粒子尺寸小,比表面积大,成为广泛研究的气敏材料之一。简要介绍了SnO_2的晶体结构和传感机理,综述了近年来具有不同形貌的微纳结构SnO_2气敏传感... 二氧化锡(SnO_2)是一种重要的半导体气敏材料,特别是具有不同形貌的微纳结构SnO_2,由于其粒子尺寸小,比表面积大,成为广泛研究的气敏材料之一。简要介绍了SnO_2的晶体结构和传感机理,综述了近年来具有不同形貌的微纳结构SnO_2气敏传感器以及金属和金属氧化物掺杂的微纳结构SnO_2气敏传感器的研究进展,并对微纳结构SnO_2气敏传感器未来的研究方向和重点进行了展望。 展开更多

关键词 二氧化锡 微纳结构 气敏传感器 研究进展 Sno2

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电纺In_2O_3纳米材料在气体传感器中的应用研究进展 被引量：1

19

作者 汤营茂 缪清清 +2 位作者 韩永和 钱庆荣 陈庆华 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期154-156,共3页

In2O3纳米材料因其具有载流子的量子限域效应而表现出新颖的电学、光学性质,在超灵敏气体传感器研究领域具备潜在的应用价值。静电纺丝技术被广泛应用于纳米材料的制备,是制备In2O3纳米材料最有效的方法之一。本文综述了静电纺丝In2O3... In2O3纳米材料因其具有载流子的量子限域效应而表现出新颖的电学、光学性质,在超灵敏气体传感器研究领域具备潜在的应用价值。静电纺丝技术被广泛应用于纳米材料的制备,是制备In2O3纳米材料最有效的方法之一。本文综述了静电纺丝In2O3纳米材料在气体传感器中的应用现状,并提出了今后的研究方向。 展开更多

关键词 IN2O3 纳米材料 静电纺丝 气敏性能 气体传感器

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SnO_2/Fe_2O_3双层薄膜的界面结构及其对气敏特性的影响 被引量：1

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作者 马晓翠 阎大卫 赵永生 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期79-84,共6页

本文给出用等离子化学气相沉积 (PCVD)技术制备的SnO2 /Fe2 O3 双层薄膜结构的俄歇谱 (AES)剖面分析、透射电镜 (TEM)断面形貌和扫描电镜 (SEM)表面形貌的实验研究结果。AES剖面分析和TEM断面形貌图显示在SnO2 与Fe2 O3 界面区有一个约 ... 本文给出用等离子化学气相沉积 (PCVD)技术制备的SnO2 /Fe2 O3 双层薄膜结构的俄歇谱 (AES)剖面分析、透射电镜 (TEM)断面形貌和扫描电镜 (SEM)表面形貌的实验研究结果。AES剖面分析和TEM断面形貌图显示在SnO2 与Fe2 O3 界面区有一个约 35nm厚的过渡层存在 ,其质地松散。实验还发现这个界面过渡层的存在缓解了层间应力 ,增强了SnO2 薄膜的附着力 ,对该双层膜的气敏特性有明显的控制作用 ;但当SnO2 层厚大于 2 70nm时 。 展开更多

关键词 Sno2/Fe2O3双层薄膜 界面结构 气敏特性 等离子化学气相沉积 气敏传感器 稳定性 二氧化锡 氧化铁

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