期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
多孔硅的I-V特性及NO_2气敏特性研究
被引量：
6
1
作者
孙凤云
胡明
+2 位作者
孙鹏
陈鹏
刘博
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期316-319,共4页
采用双槽电化学腐蚀法在p+单晶硅表面制备多孔硅层,然后在多孔硅表面沉积形成Pt薄膜电极,制备出多孔硅气敏元件样品。利用SEM技术分析多孔硅的表面形貌,研究了腐蚀条件对多孔硅的孔隙率、横向I-V特性及低浓度NO2气敏特性的影响。结果表...
采用双槽电化学腐蚀法在p+单晶硅表面制备多孔硅层,然后在多孔硅表面沉积形成Pt薄膜电极,制备出多孔硅气敏元件样品。利用SEM技术分析多孔硅的表面形貌,研究了腐蚀条件对多孔硅的孔隙率、横向I-V特性及低浓度NO2气敏特性的影响。结果表明,多孔硅的横向I-V特性表现出非整流的欧姆接触;多孔硅的孔隙率及其对低浓度NO2的灵敏度均随腐蚀电流密度的增大而增加。当腐蚀电流密度为90 mA/cm2,腐蚀时间为30 min时,所得多孔硅气敏元件对体积分数为200×10-9的NO2的灵敏度可达到5.25,响应时间与恢复时间约分别为14 min与10 min。
展开更多
关键词
多孔硅
孔隙率
Ⅰ-Ⅴ
特性
no2气敏特性
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于高岭土多孔基板的In2O3微米梳制备及其气敏性能
被引量：
2
2
作者
卢瑞
钟祥熙
+4 位作者
殷尧禹
李昂
魏德洲
沈岩柏
张云海
《金属矿山》
CAS
北大核心
2019年第8期185-191,共7页
采用模压-烧结法制备高岭土多孔基板,考察烧结温度对高岭土多孔基板表面形貌与孔隙结构的影响,通过热蒸发法在高岭土多孔基板上制备出In2O3微米材料,并采用XRD、SEM、FTIR、阿基米德排水法等检测手段考察多孔基板及In2O3微米材料的形貌...
采用模压-烧结法制备高岭土多孔基板,考察烧结温度对高岭土多孔基板表面形貌与孔隙结构的影响,通过热蒸发法在高岭土多孔基板上制备出In2O3微米材料,并采用XRD、SEM、FTIR、阿基米德排水法等检测手段考察多孔基板及In2O3微米材料的形貌与结构。结果表明,在烧结温度1 200℃时所获高岭土多孔基板的孔径尺寸在45μm左右,显气孔率为32.71%,体积密度为1.48 g/cm^3,抗弯强度为15.08 MPa。在该多孔基板上所制备的In2O3产物呈梳状结构,梳齿直径和长度分别在1~10μm和20~80μm范围内,梳柄长度约为1 mm,结晶良好。对In2O3微米梳的气敏检测结果表明:In2O3微米梳对NO2气体具有良好的选择性、可逆性和重复性;其对浓度为0.001%的NO2气体的灵敏度随着工作温度的升高呈先升高后降低的趋势,响应时间和恢复时间随之减少,且在最佳工作温度200℃时达到最大值,为44.4,此时的响应时间和恢复时间分别为21 s和106 s;In2O3微米梳对NO2气体的灵敏度随着NO2浓度的增加而增加,两者之间呈线性相关,响应时间随着NO2浓度的增加而缩短,恢复时间则随之增长。
展开更多
关键词
高岭土多孔基板
In
2
O3微米材料
no2气敏特性
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
多孔硅的I-V特性及NO_2气敏特性研究
被引量：
6
1
作者
孙凤云
胡明
孙鹏
陈鹏
刘博
机构
天津大学电子信息工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期316-319,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60771019,60801018)
文摘
采用双槽电化学腐蚀法在p+单晶硅表面制备多孔硅层,然后在多孔硅表面沉积形成Pt薄膜电极,制备出多孔硅气敏元件样品。利用SEM技术分析多孔硅的表面形貌,研究了腐蚀条件对多孔硅的孔隙率、横向I-V特性及低浓度NO2气敏特性的影响。结果表明,多孔硅的横向I-V特性表现出非整流的欧姆接触;多孔硅的孔隙率及其对低浓度NO2的灵敏度均随腐蚀电流密度的增大而增加。当腐蚀电流密度为90 mA/cm2,腐蚀时间为30 min时,所得多孔硅气敏元件对体积分数为200×10-9的NO2的灵敏度可达到5.25,响应时间与恢复时间约分别为14 min与10 min。
关键词
多孔硅
孔隙率
Ⅰ-Ⅴ
特性
no2气敏特性
Keywords
porous silicon
porosity
Ⅰ-Ⅴ characteristics
no2
gas-sensing properties
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于高岭土多孔基板的In2O3微米梳制备及其气敏性能
被引量：
2
2
作者
卢瑞
钟祥熙
殷尧禹
李昂
魏德洲
沈岩柏
张云海
机构
东北大学资源与土木工程学院
矿物加工科学与技术国家重点实验室
出处
《金属矿山》
CAS
北大核心
2019年第8期185-191,共7页
基金
国家自然科学基金项目(编号：51674067,51422402)
中央高校基本科研业务费专项资金项目(编号：N180102032,N180408018)
+2 种基金
辽宁省“兴辽英才计划”资助项目（XLYC1807160）
辽宁“百千万人才工程”培养经费项目(编号：201892127)
矿物加工科学与技术国家重点实验室开放基金项目(编号：BGRIMM-KJSKL-2019-12)
文摘
采用模压-烧结法制备高岭土多孔基板,考察烧结温度对高岭土多孔基板表面形貌与孔隙结构的影响,通过热蒸发法在高岭土多孔基板上制备出In2O3微米材料,并采用XRD、SEM、FTIR、阿基米德排水法等检测手段考察多孔基板及In2O3微米材料的形貌与结构。结果表明,在烧结温度1 200℃时所获高岭土多孔基板的孔径尺寸在45μm左右,显气孔率为32.71%,体积密度为1.48 g/cm^3,抗弯强度为15.08 MPa。在该多孔基板上所制备的In2O3产物呈梳状结构,梳齿直径和长度分别在1~10μm和20~80μm范围内,梳柄长度约为1 mm,结晶良好。对In2O3微米梳的气敏检测结果表明:In2O3微米梳对NO2气体具有良好的选择性、可逆性和重复性;其对浓度为0.001%的NO2气体的灵敏度随着工作温度的升高呈先升高后降低的趋势,响应时间和恢复时间随之减少,且在最佳工作温度200℃时达到最大值,为44.4,此时的响应时间和恢复时间分别为21 s和106 s;In2O3微米梳对NO2气体的灵敏度随着NO2浓度的增加而增加,两者之间呈线性相关,响应时间随着NO2浓度的增加而缩短,恢复时间则随之增长。
关键词
高岭土多孔基板
In
2
O3微米材料
no2气敏特性
Keywords
Kaolin-based porous substrate
In
2
O3micromaterials
no2
Gas sensing properties
分类号
TD985 [矿业工程—选矿]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多孔硅的I-V特性及NO_2气敏特性研究
孙凤云
胡明
孙鹏
陈鹏
刘博
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于高岭土多孔基板的In2O3微米梳制备及其气敏性能
卢瑞
钟祥熙
殷尧禹
李昂
魏德洲
沈岩柏
张云海
《金属矿山》
CAS
北大核心
2019
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
