期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到318篇文章
< 1 2 … 16 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
射频磁控溅射法制备MoS_(2)纳米薄膜的光学性能研究
1
作者 樊志琴 邢淑涵 +2 位作者 李瑞 张丽英 张俊峰 《化工新型材料》 北大核心 2025年第2期131-134,共4页
采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底表面沉积不同厚度的MoS_(2)纳米薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光谱(UV-Vis)和荧光光谱等手段对MoS_(2)薄膜结构及光谱性质进行表征。结果表明:溅射时间越长,MoS_(2)薄膜的... 采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底表面沉积不同厚度的MoS_(2)纳米薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、紫外-可见光分光光谱(UV-Vis)和荧光光谱等手段对MoS_(2)薄膜结构及光谱性质进行表征。结果表明:溅射时间越长,MoS_(2)薄膜的结晶性越好。薄膜形成条状纳米结构相互交叠的表面形貌,样品表面形貌均匀致密。MoS_(2)纳米薄膜在可见光波段对短波长光源吸收较强,对长波长光源透射较强。随着溅射时间的增加,薄膜厚度增加,导致MoS_(2)纳米薄膜的吸收系数增加,透射率减小,光学带隙也逐渐减少。在MoS_(2)薄膜的发射谱中,位于675nm的A激子峰,对应的带隙为1.8eV。发射峰的强度随着MoS_(2)薄膜层数的增加而减小,发射峰的位置随着MoS_(2)薄膜层数的增加而蓝移。 展开更多
关键词 mos_(2)薄膜 射频磁控溅射 光学性能 激子峰
在线阅读 下载PDF
Z型异质结复合薄膜UIO-66-NH_(2)/Ag/Ag_(3)PO_(4)/Ni的可见光催化性能及机理
2
作者 赵娣 刘洪燕 +4 位作者 王树军 孙欣语 张紫璇 齐学宇 刘子帆 《材料导报》 北大核心 2025年第8期153-158,共6页
设计和合成高效光催化剂需要实现反应位点的精确调控、光诱导载流子的快速迁移以及可见光的有效吸收。本工作采用恒流电沉积法制备了UIO-66-NH_(2)/Ag/Ag_(3)PO_(4)/Ni复合薄膜。UIO-66-NH_(2)和Ag_(3)PO_(4)的能带结构匹配良好,同时纳... 设计和合成高效光催化剂需要实现反应位点的精确调控、光诱导载流子的快速迁移以及可见光的有效吸收。本工作采用恒流电沉积法制备了UIO-66-NH_(2)/Ag/Ag_(3)PO_(4)/Ni复合薄膜。UIO-66-NH_(2)和Ag_(3)PO_(4)的能带结构匹配良好,同时纳米Ag作为光生载流子分离中心,形成了由Ag_(3)PO_(4)、Ag和UIO-66-NH_(2)组成的Z型异质结光催化体系,有效地分离了光生电子-空穴对,保留了强氧化-还原活性位点,因而UIO-66-NH_(2)/Ag/Ag_(3)PO_(4)/Ni复合薄膜在可见光下表现出优异的光催化性能。此外,光电化学测试结果表明,UIO-66-NH_(2)/Ag/Ag_(3)PO_(4)/Ni复合薄膜具有更高的载流子分离速率和更低的催化还原溶解O_(2)的反应势垒。活性物种实验结果表明,·O_(2)^(-)和空穴(h^(+))在光催化降解中起主要作用,进一步证实了系统的Z型异质结光催化降解机制。 展开更多
关键词 UIO-66-NH_(2)/Ag/Ag_(3)PO_(4)/Ni复合薄膜 Z型异质结 恒流电沉积 可见光 光催化
在线阅读 下载PDF
2Cr13基体表面粗糙度对Ti掺杂MoS_(2)薄膜摩擦磨损性能的影响
3
作者 丁子珊 赖泽标 +4 位作者 李一治 江小辉 刘京周 吉利 Ermakov Boris Sergeevich 《表面技术》 北大核心 2025年第13期96-106,共11页
目的探究基体表面粗糙度对Ti掺杂MoS_(2)薄膜摩擦磨损性能的影响及其磨损机理,为后续2Cr13基体配磨副表面状态设计提供参考。方法通过磁控溅射法在表面粗糙度(Ra)范围为0.2~0.7μm的2Cr13基体表面制备Ti掺杂的MoS_(2)薄膜,并在大气环境... 目的探究基体表面粗糙度对Ti掺杂MoS_(2)薄膜摩擦磨损性能的影响及其磨损机理,为后续2Cr13基体配磨副表面状态设计提供参考。方法通过磁控溅射法在表面粗糙度(Ra)范围为0.2~0.7μm的2Cr13基体表面制备Ti掺杂的MoS_(2)薄膜,并在大气环境下进行干摩擦摩擦磨损实验。通过扫描电子显微镜、金相显微镜、能谱仪、白光干涉仪对实验后的薄膜磨痕形貌及对摩球的磨斑形貌进行观察分析。结果通过分析基体粗糙度为0.2μm的薄膜的磨痕表面形貌可知,主要为黏着磨损,其平均摩擦因数和对摩球磨斑面积最大,而其磨损率在所有试样中处于居中位置;当基体的粗糙度增至0.5~0.6μm范围时,其平均摩擦因数、薄膜磨损率及对摩球磨斑面积都最小;当基体粗糙度进一步升至0.7μm时,薄膜的磨损率(8.79301×10^(-7)mm^(3)·N^(-1)·m^(-1))最大,而其平均摩擦因数(0.092)较小,对摩球磨斑面积(4.125×10^(4)μm^(2))略有升高,但比Ra 0.2μm下的对摩球的磨斑面积小。结论基于分子-机械摩擦理论,揭示了基体不同粗糙度对镀膜后表面摩擦磨损的影响机制,在低粗糙度(0.2μm)下,分子间的作用力主导摩擦阻力,黏着磨损显著;在中粗糙度(0.4~0.6μm),工件在不同摩擦阻力的作用下,其磨损机制为黏着磨损和磨粒磨损,其中Ra 0.4μm的工件仍以黏着磨损为主。随着基体粗糙度的增加,Ra 0.6μm工件表面的磨损机制逐渐转变为以磨粒磨损为主,在Ra 0.5~0.6μm范围内制备的Ti掺杂MoS_(2)薄膜展现出最优的综合性能;在高粗糙度(0.7μm)下,由机械啮合阻力主导,薄膜磨损剧烈,磨损机制主要为磨粒磨损。在不同基体表面粗糙度状态下,薄膜的摩擦磨损机制存在显著差别,为提升以摩擦磨损性能为目标的基体表面状态提供了关键依据。 展开更多
关键词 基体表面粗糙度 Ti掺杂mos_(2)薄膜 2Cr13基体 摩擦磨损 磨损机制 干摩擦
在线阅读 下载PDF
V_(2)O_(5)/MWCNT纳米复合薄膜的制备及其光电特性
4
作者 彭玮烨 李毅 +5 位作者 何伟业 张皓婷 薛畅 王伟 刘红薇 施张庆 《光子学报》 北大核心 2025年第2期189-198,共10页
选用99.99%纯度的V_(2)O_(5)粉末和多壁碳纳米管,采用溶胶凝胶法和后退火工艺在石英基底上制备了V_(2)O_(5)与多壁碳纳米管的纳米复合薄膜。通过场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪等表征了复合薄膜的... 选用99.99%纯度的V_(2)O_(5)粉末和多壁碳纳米管,采用溶胶凝胶法和后退火工艺在石英基底上制备了V_(2)O_(5)与多壁碳纳米管的纳米复合薄膜。通过场发射扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪等表征了复合薄膜的表面形貌、结构、化学组成和元素,利用分光光度计等测试分析了复合薄膜的光电特性。结果表明,多壁碳纳米管的掺入使V_(2)O_(5)薄膜的带隙变宽,当温度从室温升至270℃时,其电阻从52.38 MΩ下降到0.97 MΩ,有近两个数量级的变化;在600~1200 nm波长范围内,复合薄膜的平均透过率达58%,相变前后的透过率变化达2%,在0~7 V的电压调控下透过率随电压的增大而升高。复合薄膜经过多次高低温循环测试,其光电特性具有较好的可逆热致光电特性和稳定性,有望在新型光电器件和传感器等领域得以应用。 展开更多
关键词 复合薄膜 V_(2)O_(5) 多壁碳纳米管 溶胶凝胶 光电特性
在线阅读 下载PDF
CoS_(2)-MoS_(2)复合催化剂的水热合成及电解水催化性能
5
作者 浮琳萍 鲁耀宗 +3 位作者 李明 张龙华 何玉 刘伟 《河南科技大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第3期35-44,54,共11页
目前电解水制氢所用催化剂价格昂贵,且各类催化大多功能单一,不利于电解水的工程化应用。针对以上问题,结合二硫化钼材料和钴硫化物的催化反应特点,通过一步水热法合成具有双功能催化活性的非贵金属CoS_(2)-MoS_(2)复合催化剂。利用场... 目前电解水制氢所用催化剂价格昂贵,且各类催化大多功能单一,不利于电解水的工程化应用。针对以上问题,结合二硫化钼材料和钴硫化物的催化反应特点,通过一步水热法合成具有双功能催化活性的非贵金属CoS_(2)-MoS_(2)复合催化剂。利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)以及电催化测试等手段对不同钴钼比的CoS_(2)-MoS_(2)样品进行表征和性能分析。实验结果表明;当钴钼摩尔比为1∶3时,CoS_(2)-MoS_(2)样品呈现出微米花状形貌结构,并表现出最优的催化活性。在0.1 M KOH电解液中,析氧反应(OER)的过电位比纯CoS_(2)降低了约128 mV,而析氢反应(HER)的过电位比纯MoS_(2)降低了约131 mV。在1 M KOH电解液中,CoS_(2)-1-3分别连续进行OER和HER过程50 h后,其电流密度仍能保持在99.38%和84.13%,表明其具有良好的电催化稳定性。当复合催化剂同时作为阳极和阴极进行全水解时,仅需1.77 V即可达到10 mA·cm^(-2)的电流密度,且稳定运行50 h后电流密度保持率为89.08%。 展开更多
关键词 二硫化钼(mos_(2)) 二硫化钴(CoS_(2)) 析氧反应 析氢反应 复合催化剂 双功能催化 电解水
在线阅读 下载PDF
SiO2嵌入分离层制备高性能薄膜复合膜
6
作者 胡小杰 丰桂珍 +2 位作者 方圳生 张火梅 陈俊 《水处理技术》 北大核心 2025年第3期44-48,共5页
为提高传统纳滤膜的分离性与抗污染性,以聚砜超滤膜(PSF)为基膜,以哌嗪(PIP)、均苯三甲酰氯(TMC)分别为水、有机相单体,引入二氧化硅(SiO_(2))作为水相添加材料,通过界面聚合(IP)反应制备二氧化硅薄膜复合膜(TFN-SiO_(2)),研究SiO_(2)... 为提高传统纳滤膜的分离性与抗污染性,以聚砜超滤膜(PSF)为基膜,以哌嗪(PIP)、均苯三甲酰氯(TMC)分别为水、有机相单体,引入二氧化硅(SiO_(2))作为水相添加材料,通过界面聚合(IP)反应制备二氧化硅薄膜复合膜(TFN-SiO_(2)),研究SiO_(2)的添加对膜表面特性、分离性能及抗污染性能的影响。结果表明:SiO_(2)的嵌入对膜的表面粗糙度、亲水性和负电性都有较大增强;当SiO_(2)添加质量比为0.02%时,TFN-SiO_(2)膜的水通量达到35.5 L/(m^(2)·h),对Na_(2)SO_(4)的截留维持在95%以上,在30 h的脱盐试验中保持良好的稳定性,同时对腐殖酸(HA)、牛血清蛋白(BSA)、海藻酸钠(SA)三种模型污染物的抗污染性能有所提升。 展开更多
关键词 界面聚合 SIO2 薄膜复合膜 抗污染性
在线阅读 下载PDF
聚酰亚胺/米粒状HfO_(2) 复合薄膜的制备及其性能研究
7
作者 董军乐 刘婉婉 +5 位作者 李佳怡 赵勇 黄玲艳 刘一军 冯永强 黄剑锋 《陕西科技大学学报》 北大核心 2025年第3期105-110,共6页
以智能电动汽车为代表的新一代科技革命的快速发展,给汽车电机绝缘漆包线的耐温性能提出了更高要求.因此,耐高温高性能漆包线漆膜受到行业的高度关注.本文通过原位聚合法将米粒状HfO_(2)纳米粒子复合到聚酰亚胺(PI)基体中,得益于HfO_(2... 以智能电动汽车为代表的新一代科技革命的快速发展,给汽车电机绝缘漆包线的耐温性能提出了更高要求.因此,耐高温高性能漆包线漆膜受到行业的高度关注.本文通过原位聚合法将米粒状HfO_(2)纳米粒子复合到聚酰亚胺(PI)基体中,得益于HfO_(2)纳米粒子独特的微观形貌、较小的尺寸特征及单一的单斜晶相,所得PI/HfO_(2)(米粒状)复合薄膜可见光区透过率达到90%,水接触角增加到91.4°,失重率为10%时的热分解温度由纯PI膜492℃提高至522℃,介电常数提升至4.4(200 kHz).本工作对开发新型高性能漆包线新配方具有重要指导意义. 展开更多
关键词 HfO_(2) 聚酰亚胺 复合薄膜 漆包线
在线阅读 下载PDF
MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料负载光催化混凝土的制备及其活性研究
8
作者 林沙珊 王吓忠 《无机盐工业》 北大核心 2025年第6期123-132,共10页
以MoS_(2)和g-C_(3)N_(4)作为前驱体,通过溶剂热法制备了MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料,采用X射线衍射(XRD)、N2吸附-脱附、紫外可见漫反射光谱(UV-vis DRS)、稳态荧光光谱(PL)、瞬态光电流谱(TPC)和交流阻抗谱(EIS)对MoS_(2)/g-C_(3)N_... 以MoS_(2)和g-C_(3)N_(4)作为前驱体,通过溶剂热法制备了MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料,采用X射线衍射(XRD)、N2吸附-脱附、紫外可见漫反射光谱(UV-vis DRS)、稳态荧光光谱(PL)、瞬态光电流谱(TPC)和交流阻抗谱(EIS)对MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料的物相晶型、比表面积和孔容孔径、光谱响应范围和强度、光生载流子重组、可见光吸收转化能力和电荷传质阻力等进行了表征。通过水泥包裹法制备了MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料负载光催化混凝土,应用于氮氧化物(NOx)的去除。结果表明:MoS_(2)和g-C_(3)N_(4)之间异质结的构建拓宽了光谱吸收范围,提升了可见光吸收和转化能力,实现了高效的光生载流子分离,表面/界面电阻降低,有利于光催化性能的提升。在NOx初始质量浓度为200 mg/L、可见光照射时间为180 min、MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料负载量为4%的条件下,MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料负载光催化混凝土表现出最佳的NOx去除活性,NOx去除率达到了84.63%,循环使用10次NOx的去除率仅仅降低了2.85%,该催化材料的光催化稳定性也较好。MoS_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料的负载堵塞了混凝土的部分全连通和半连通孔隙,骨料和水泥之间结合更加紧密,降低了混凝土的透水性能,提高了混凝土的抗压强度,表现出良好的抗冻融性能。 展开更多
关键词 mos_(2)/g-C_(3)N_(4)复合材料 混凝土 可见光光催化 氮氧化物
在线阅读 下载PDF
Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料的微纳摩擦学特性
9
作者 曲强 朱修崇 +2 位作者 涂有旺 康潇 张雷 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期3060-3071,共12页
为探明Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料在解决空间载流摩擦部件高稳定载流和抗磨损问题的作用效果,采用纳米压痕、纳米划痕、表面轮廓仪、扫描电镜等研究微/纳力学尺度下、不同载荷和电流时Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料的力学行为和摩擦磨损特... 为探明Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料在解决空间载流摩擦部件高稳定载流和抗磨损问题的作用效果,采用纳米压痕、纳米划痕、表面轮廓仪、扫描电镜等研究微/纳力学尺度下、不同载荷和电流时Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料的力学行为和摩擦磨损特性。研究结果表明:Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料在精准微小力作用下具有良好的塑性,压痕模量和硬度与载荷呈非线性关系,其变化机制主要由压痕尺寸效应和塑性变形共同主导;随着载荷增加,Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料压痕最大深度和塑性深度呈线性增大,当载荷从10 mN增加到20 mN时,压痕最大深度增加约44%,塑性深度增加约51%,而当载荷从20 mN增加到50 mN时,压痕最大深度增加约78%,塑性深度增加约79%,材料的弹塑性转变载荷约为20 mN。在较低载荷(50~100 mN)下,Ag/MoS_(2)-WS_(2)复合材料具有较好的耐磨性。 展开更多
关键词 Ag/mos_(2)-ws_(2)复合材料 纳米压痕 纳米划痕 摩擦磨损
在线阅读 下载PDF
TiB_(2)/WS_(2)复合薄膜退火处理下的结构演变与磨损失效分析 被引量：1
10
作者 刘进龙 李红轩 +2 位作者 吉利 刘晓红 张定军 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期220-231,共12页
在严苛的航空航天工况环境下,WS_(2)基复合薄膜在减摩耐磨方面的结构演变和失效规律仍须进一步探索。为扩展其在温域上的应用范围,采用磁控溅射技术在硅片和718高温合金块上沉积TiB_(2)/WS_(2)复合薄膜,分别在200、450和600℃大气环境... 在严苛的航空航天工况环境下,WS_(2)基复合薄膜在减摩耐磨方面的结构演变和失效规律仍须进一步探索。为扩展其在温域上的应用范围,采用磁控溅射技术在硅片和718高温合金块上沉积TiB_(2)/WS_(2)复合薄膜,分别在200、450和600℃大气环境下对复合薄膜进行退火处理。利用扫描电子显微镜、透射电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、纳米压痕仪和球盘高温摩擦试验机等分析技术对退火处理前后薄膜的组分、结构、力学性能和摩擦磨损性能进行研究。结果表明:随着退火温度的升高,复合薄膜中硫元素的分解率增大,S/W比降低,薄膜氧化程度增加。未退火处理薄膜在摩擦过程中由于形成易于剪切滑移的WS_(2)(002)晶体取向结构保持了低且稳定的摩擦因数。200℃退火处理后薄膜的致密性增加,硬度得到明显的提升,显示良好的减摩耐磨性能[摩擦因数<0.075,磨损率为9.21×10^(-6)mm^(3)/(m·N)量级]。450℃退火处理后薄膜中生成的氧化相WO_(3)、TiO_(2)导致摩擦因数波动上升,磨损率增加。600℃退火处理后薄膜瞬时失效,主要是由于薄膜中硫元素的大量分解流失难以形成润滑相和薄膜表面形成松散堆积结构所造成的。通过观察退火处理前后复合薄膜微观结构的变化明确了其在不同温度下的磨损失效演化规律。 展开更多
关键词 TiB_(2)/ws_(2)复合薄膜 退火处理 硫元素流失 摩擦磨损
在线阅读 下载PDF
闭合场-磁控溅射制备Ti掺杂MoS_(2)复合薄膜及其摩擦学性能研究
11
作者 王伟奇 陈欣仪 +5 位作者 赵旋 林鑫 田广科 郭月霞 王锐东 令晓明 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期28-35,共8页
采用闭合场-磁控溅射沉积技术,通过调节沉积过程中钛靶的溅射电流,分别在单晶Si(100)和304不锈钢基底上制备不同含量Ti掺杂MoS_(2)复合薄膜。利用场发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和透射电子显微镜表征薄膜的形貌、微观结构及... 采用闭合场-磁控溅射沉积技术,通过调节沉积过程中钛靶的溅射电流,分别在单晶Si(100)和304不锈钢基底上制备不同含量Ti掺杂MoS_(2)复合薄膜。利用场发射扫描电子显微镜、X射线光电子能谱仪和透射电子显微镜表征薄膜的形貌、微观结构及元素含量;利用纳米压痕仪、球-盘摩擦试验机系统考察薄膜的力学性能和在大气环境下的摩擦学性能及其与薄膜中Ti元素含量之间的关系。结果表明:随着溅射电流增加,薄膜中Ti元素含量增加、MoS_(2)晶粒的生长尺寸变小,使MoS_(2)由尺寸较大的层状结构向短程有序、长程无序的无定型非晶结构转变。尤其在钛靶电流为1.0 A条件下制备的Ti元素原子分数为18.55%的Ti/MoS_(2)复合薄膜表现出较好的致密性和硬度,同时Ti元素相比于MoS_(2)可以在摩擦界面处优先与O结合,使薄膜中MoS_(2)抗氧化性能提升,从而改善了薄膜的摩擦学性能。 展开更多
关键词 闭合场-磁控溅射 mos_(2)润滑薄膜 摩擦学性能 力学性能
在线阅读 下载PDF
磁控溅射MoS_2/WS_2复合薄膜的工艺与摩擦学性能研究 被引量：8
12
作者 孙建 李长生 +3 位作者 金岚 唐华 张叶 李学超 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期398-402,共5页
采用MoS2/WS2复合靶材在不锈钢和硅基片上溅射MoS2/WS2纳米薄膜,通过多次实验,得到溅射MoS2/WS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压4.0Pa,靶基距为70mm,溅射功率为150W,溅射时间为3h。使用X-射线衍射仪,能谱仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和... 采用MoS2/WS2复合靶材在不锈钢和硅基片上溅射MoS2/WS2纳米薄膜,通过多次实验,得到溅射MoS2/WS2薄膜的最佳工艺如下:溅射气压4.0Pa,靶基距为70mm,溅射功率为150W,溅射时间为3h。使用X-射线衍射仪,能谱仪,扫描电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析。采用HH-3000薄膜结合强度划痕试验仪,纳米压痕测试系统,UNT-3摩擦磨损试验机对薄膜进行机械性能和摩擦磨损性能分析,结果表明:在大气环境中,WS2/MoS2复合薄膜摩擦性能要优于纯MoS2薄膜。 展开更多
关键词 mos2/ws2复合薄膜磁控溅射摩擦学性能
在线阅读 下载PDF
衬底修饰层诱导的高覆盖率单层MoS_(2)晶圆生长研究
13
作者 左浩松 刘一禾 +4 位作者 陈匡磊 胥如峰 张铮 张先坤 张跃 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第8期628-634,共7页
作为后摩尔时代集成电路发展的关键候选材料之一,二维二硫化钼(MoS_(2))晶圆级高质量制备是其产业化应用的重要基础。当前基于蓝宝石衬底的化学气相沉积(CVD)法虽可实现大尺寸MoS_(2)薄膜生长,但受限于气相MoO_(3)在蓝宝石Al-O界面上吸... 作为后摩尔时代集成电路发展的关键候选材料之一,二维二硫化钼(MoS_(2))晶圆级高质量制备是其产业化应用的重要基础。当前基于蓝宝石衬底的化学气相沉积(CVD)法虽可实现大尺寸MoS_(2)薄膜生长,但受限于气相MoO_(3)在蓝宝石Al-O界面上吸附能力较弱导致的钼源不均匀沉积,造成了薄膜翘曲和裂纹缺陷等问题。研究提出了一种蓝宝石衬底表面预制备Al-O-Mo-O化学键合修饰层的生长策略,成功生长出均匀连续、高覆盖率的2英寸单层MoS_(2)晶圆。该方法通过在预退火沉积的过程中,提供稳定的氧气氛围,有效减弱了蓝宝石表面悬挂键,同时在蓝宝石衬底表面构筑了Al-O-Mo-O修饰层,为气相MoO_(3)沉积提供稳固的锚定位点,增强了MoO_(3)反应源在界面上的吸附作用,促进了气相钼源在衬底上的均匀吸附沉积和均匀硫化,最终获得高覆盖率单层MoS_(2)薄膜。基于此薄膜构建的顶栅晶体管阵列性能展现出优异的一致性,最高开关比达10^(7),最大开态电流达10^(−5)A,器件良率超过96%。研究提出的衬底修饰方法为蓝宝石基高质量MoS_(2)薄膜的可控制备提供了新方案,优化了现有制备工艺体系,对推动二维材料在集成电路中的应用具有积极意义。 展开更多
关键词 mos_(2) 前驱体 MoO_(3) 薄膜覆盖率 化学气相沉积
在线阅读 下载PDF
42CrMo合金钢织构表面复合固体润滑剂摩擦学性能研究
14
作者 欧阳瑞 陈文刚 +3 位作者 王海军 Dongyang Li 王文 王永康 《表面技术》 北大核心 2025年第13期43-50,共8页
目的提升42CrMo合金钢摩擦副表面的摩擦学性能。方法采用激光织构技术在试件表面加工不同面密度的三角织构,以环氧树脂E51为衬垫,将纳米颗粒MoS_(2)与E51环氧树脂按1∶2比例混合后填充至织构内部,进行摩擦磨损试试验。在不同工况条件下... 目的提升42CrMo合金钢摩擦副表面的摩擦学性能。方法采用激光织构技术在试件表面加工不同面密度的三角织构,以环氧树脂E51为衬垫,将纳米颗粒MoS_(2)与E51环氧树脂按1∶2比例混合后填充至织构内部,进行摩擦磨损试试验。在不同工况条件下,研究织构不同面积占比的摩擦学性能,并利用SEM扫描电镜和EDS元素能谱分析仪对试样表面磨痕进行表征。最后,通过应力仿真分析不同织构密度的等效应力大小及分布规律。结果与未织构表面相比,纯织构表面的摩擦系数在一定程度上降低,从约0.8降至0.6左右;微织构与MoS_(2)纳米颗粒结合形成的复合润滑结构的摩擦学性能明显优于未织构表面和纯织构表面。当织构凹坑面积占有率为16%时,复合润滑结构的摩擦系数最低,约为0.19;随着织构密度的增加,复合润滑结构的摩擦系数逐渐上升,当织构密度达到36%时,摩擦系数达到最大值,约为0.3。密度为16%的织构表面等效应力峰值为3.5538 MPa,随着织构密度的增加,等效应力峰值呈现先增大后减小的趋势。结论表面微织构与填充的MoS_(2)纳米颗粒的协同作用,显著改善了42CrMo合金钢表面的摩擦学性能。MoS_(2)纳米颗粒在摩擦副表面形成固体润滑膜,而微织构能够捕获磨屑并储存润滑剂,为破损的润滑膜提供补充,从而实现减摩抗磨的效果。 展开更多
关键词 42CrMo合金钢 激光织构技术 复合润滑结构 mos_(2) 织构密度 摩擦学性能
在线阅读 下载PDF
ZIF⁃67衍生Co@C/MoS_(2)纳米复合材料的制备及微波吸收性能
15
作者 李敏 孟献丰 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1932-1942,共11页
通过碳化技术和水热反应相结合成功制备了Co@C/MoS_(2)复合吸波材料。结果表明,ZIF⁃67的碳化温度和Co@C/MoS_(2)的微观结构对Co@C/MoS_(2)复合材料的吸波性能具有重要影响。Co@C/MoS_(2)的褶皱结构增强了入射波的反射与散射,进而优化了... 通过碳化技术和水热反应相结合成功制备了Co@C/MoS_(2)复合吸波材料。结果表明,ZIF⁃67的碳化温度和Co@C/MoS_(2)的微观结构对Co@C/MoS_(2)复合材料的吸波性能具有重要影响。Co@C/MoS_(2)的褶皱结构增强了入射波的反射与散射,进而优化了阻抗匹配,提高了材料的电磁波(EMW)吸收性能。当碳化温度为800℃,样品匹配厚度为1.7 mm时,Co@C/MoS_(2)复合材料展现出最佳的吸波性能,最小反射损耗(RL_(min))和有效吸收带宽(EAB)分别达到-101.84 dB和7.4 GHz。 展开更多
关键词 纳米复合材料 ZIF⁃67 Co@C/mos_(2) 电磁波吸收
在线阅读 下载PDF
MoS_(2)/WS_(2)复合薄膜的环境适应性和摩擦学性能 被引量：3
16
作者 范昕 任思明 +1 位作者 王海新 蒲吉斌 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期1468-1476,共9页
湿热大气环境对MoS_(2)润滑薄膜的摩擦学性能有严重的劣化作用。采用非平衡磁控溅射技术成功制备了WS_(2)掺杂MoS_(2)复合薄膜,研究发现,MoS_(2)基体中掺入少量WS_(2)可以诱导MoS_(2)沿(002)晶面择优生长,薄膜结构变得更加致密,显著抑... 湿热大气环境对MoS_(2)润滑薄膜的摩擦学性能有严重的劣化作用。采用非平衡磁控溅射技术成功制备了WS_(2)掺杂MoS_(2)复合薄膜,研究发现,MoS_(2)基体中掺入少量WS_(2)可以诱导MoS_(2)沿(002)晶面择优生长,薄膜结构变得更加致密,显著抑制腐蚀介质的渗透和扩散,使MoS_(2)/WS_(2)复合薄膜展现出高盐雾耐蚀性、小摩擦因数和低磨损率。成分优化的MoS_(2)-1.6%WS_(2)(原子分数)复合薄膜在经历4天的盐雾试验后仅表层被氧化,仍能保持0.16的小摩擦因数和3.80×10^(-6) mm^(3)/(N·m)的低磨损率。 展开更多
关键词 mos_(2)/ws_(2)复合薄膜 盐雾环境 耐腐蚀性 摩擦学性能
在线阅读 下载PDF
PBST/TiO_(2)/MgO复合薄膜的制备及性能 被引量：1
17
作者 张昕 卫爱丽 +1 位作者 张杰 余雯雯 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期98-103,109,共7页
采用硅烷偶联剂γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH-570)对TiO_(2)/MgO NPs改性,采用溶液共混法制备了聚丁二酸-共-对苯二甲酸丁二醇酯(PBST)/TiO_(2)/MgO NPs纳米复合薄膜,并探讨了其在食品包装方面的应用。研究了改性TiO_(2)/MgO ... 采用硅烷偶联剂γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(KH-570)对TiO_(2)/MgO NPs改性,采用溶液共混法制备了聚丁二酸-共-对苯二甲酸丁二醇酯(PBST)/TiO_(2)/MgO NPs纳米复合薄膜,并探讨了其在食品包装方面的应用。研究了改性TiO_(2)/MgO NPs对PBST基体机械、阻隔、抗菌和保鲜性能的影响。结果表明:复合膜的抗拉强度和水蒸汽透过率分别为29.39MPa和2.43×10^(-11) g·m/(m^(2)·s·Pa),相较PBST基体抗拉强度提高了24.32%,水蒸汽透过率降低了32.37%,且对金黄色葡萄球菌(S.aures)和大肠杆菌(E.coli)抑菌效果显著,分别达到98.7%和97.2%,并对圣女果有良好的保鲜性能,当改性后的TiO_(2)/MgO NPs质量含量为5%时,复合薄膜的性能最佳。 展开更多
关键词 复合薄膜 聚丁二酸-共-对苯二甲酸丁二醇酯 TiO 2/MgO 抗菌活性 食品包装
在线阅读 下载PDF
MoS_2基复合薄膜制备及其结构与摩擦学性能研究 被引量：23
18
作者 柴利强 张晓琴 +3 位作者 许佼 乔丽 张小龙 王鹏 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期1-6,共6页
利用多靶磁控溅射法制备MoS_2基系列复合薄膜,通过扫描电子显微镜、X-ray衍射、拉曼光谱对薄膜微观形貌及晶体结构进行表征,利用纳米压入表征薄膜硬度及弹性模量,通过微动摩擦磨损试验对比分析了该系列薄膜在大气环境下的润滑性能.研究... 利用多靶磁控溅射法制备MoS_2基系列复合薄膜,通过扫描电子显微镜、X-ray衍射、拉曼光谱对薄膜微观形貌及晶体结构进行表征,利用纳米压入表征薄膜硬度及弹性模量,通过微动摩擦磨损试验对比分析了该系列薄膜在大气环境下的润滑性能.研究结果表明:MoS_2薄膜中复合C、Ti元素可有效抑制薄膜生长过程中柱状结构的形成,薄膜更为致密;复合薄膜的摩擦系数及磨损率显著降低.其中,MoS_2+C+Ti三元复合薄膜硬度为7.43 GPa,其弹性模量及弹性恢复量分别为98.1 GPa和61.7%.在大气环境(RH 35%~50%)下,法向载荷10 N时MoS_2+C+Ti薄膜具有最低的磨损率4.67×10–17 m^3/(N·m),该薄膜在不同载荷的微动摩擦试验中均具有最好的承载力. 展开更多
关键词 mos2基复合薄膜 结构 力学性能 摩擦学性能
在线阅读 下载PDF
MoS_2/a-C复合薄膜在高/低湿度环境下的摩擦学性能研究 被引量：9
19
作者 耿中荣 李霞 +1 位作者 张广安 李浩 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期481-487,共7页
采用磁控溅射方法制备了MoS_2薄膜与不同碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜,利用XRD、SEM、Raman光谱仪、纳米压痕仪和CSM摩擦试验机等分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:MoS_2薄膜为疏松的柱状结构,MoS_2/a-C复合薄膜为无定形... 采用磁控溅射方法制备了MoS_2薄膜与不同碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜,利用XRD、SEM、Raman光谱仪、纳米压痕仪和CSM摩擦试验机等分析了复合薄膜的结构、力学和摩擦学性能.结果表明:MoS_2薄膜为疏松的柱状结构,MoS_2/a-C复合薄膜为无定形的致密结构,硬度较高.低湿环境下MoS_2薄膜与MoS_2/a-C复合薄膜的摩擦性能差别不明显;高湿环境下薄膜的摩擦系数和磨损率均有所升高,其中MoS_2薄膜与低碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜氧化严重,而高碳含量的MoS_2/a-C复合薄膜的摩擦学性能稳定,对湿度交替变换的环境适应性更佳.这是由于碳元素掺杂改善复合薄膜的微观结构,提高复合薄膜的抗氧化性和力学性能. 展开更多
关键词 mos_2/a-C复合薄膜 湿度 抗氧化性能 摩擦学性能
在线阅读 下载PDF
非平衡磁控溅射沉积MoS_2-Ti复合薄膜结构与摩擦磨损性能研究 被引量：26
20
作者 周晖 温庆平 +3 位作者 郝宏 谭立 王长胜 薛德胜 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期183-187,共5页
采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模... 采用非平衡磁控溅射法制备出不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜并对其结构进行表征,采用显微硬度仪测量MoS2-Ti复合薄膜的显微硬度,在球-盘摩擦磨损试验机上评价其在大气中的摩擦磨损性能.结果表明:不同Ti含量的MoS2-Ti复合薄膜呈岛状生长模式,断面呈致密细柱状,结晶状态均为无定形态;薄膜的显微硬度随Ti含量增加而升高;MoS2-Ti复合薄膜在大气中的摩擦磨损性能优于MoS2薄膜,掺杂适当Ti可以使MoS2-Ti复合薄膜的摩擦曲线波动减小,耐磨寿命提高,在本试验研究范围内,含30%Ti复合薄膜的耐磨寿命最长,当Ti掺杂量达到50%时MoS2-Ti复合薄膜失去润滑性能. 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 mos2-Ti复合薄膜 结构 摩擦磨损性能
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 2 … 16 下一页 到第 页
关于我们 | 版权声明 | 联系我们 | 帮助中心| 意见反馈
主办单位：上海市教育委员会
技术支持：重庆维普资讯有限公司
渝公网安备 50019002500403号
使用帮助 返回顶部