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利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动被引量：8: 1; 作者郭彤胡春光 +4 位作者胡晓东栗大超金翠云傅星胡小唐《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1545,共4页; 描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运... 展开更多; 关键词微机电系统 mirau显微干涉仪面内运动离面运动频闪照明; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量被引量：1: 2; 作者薛媛陈青山 +1 位作者刘力双吕勇《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期259-265,共7页; 为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和... 展开更多; 关键词显微视觉双频激光干涉仪光纤阵列精密测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

20^(×) Mirau型白光干涉显微物镜的设计被引量：2: 3; 作者陈卉《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1402-1406,共5页; 对于具有动态特性的MEMS陀螺仪表面形貌的检测,采用传统接触式检测方式难以实现。本文设计一款无限远场校正的20^(×) Mirau型白光干涉显微物镜成像系统,实现对MEMS陀螺仪无接触式的表面缺陷检测。系统工作于可见光波段,数值孔径NA=... 展开更多; 关键词白光干涉显微物镜 mirau 光学设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光双光路显微干涉仪: 4; 作者陈瑜《四川激光》 1981年第A02期79-79,共1页; 本文介绍了一种激光显微干涉仪器，它的基本原理和结构是：借助沙敏干涉仅的结构，可得到等光程的双光路测量系统；采用He-Ne激光（TEM00模）做光源，为了能观察到微小光学材料或介质材料的光学性能，在等光程的一个光路中置入样品，则... 展开更多; 关键词 HE-NE激光显微干涉干涉仪双光路 TEM00模测量系统光学性能介质材料光学材料显微系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量被引量：1: 5; 作者刘晓军高咏生《中国测试技术》 CAS 2004年第2期3-5,共3页; 介绍一种显微剪切干涉仪 ,其基于剪切干涉是自干涉 ,因而具有相当的抗环境干扰和抗振动的特性 ,结合剪切干涉技术与显微干涉技术 ,实现制造环境下表面粗糙度精密测量。本文介绍了该显微剪切干涉仪的原理 ,给出了实验结果。; 关键词剪切干涉显微干涉抗振表面粗糙度精密测量显微剪切干涉仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

测量透明颗粒形状及变形的显微干涉系统: 6; 作者赵兵方如华《同济大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1627-1630,共4页; 结合激光干涉及图像处理技术研究测量透明颗粒形状及监测其变形的光学系统 ;对共路偏光干涉仪进行改进 ,使之更好地测量由温度场变化引起的小试件变形 ;对柱及球形试件进行理论和数值分析及实验研究 .; 关键词偏光干涉仪透明颗粒共路干涉图像处理显微; 在线阅读下载PDF 职称材料

白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用被引量：4: 7; 作者王生怀王淑珍 +1 位作者陈育荣谢铁邦《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第2期22-27,共6页; 为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计... 展开更多; 关键词显微干涉仪白光显微干涉光源数值孔径孔径光阑; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动被引量：8: 1; 作者郭彤胡春光胡晓东栗大超金翠云傅星胡小唐; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1542-1545,共4页; 基金国家863计划资助项目(2004AA404042); 文摘描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力.; 关键词微机电系统 mirau显微干涉仪面内运动离面运动频闪照明; Keywords Microelectromechanical systems （MEMS） mirau microscopic interferometer^In-plane motionOut-of-plane motion Stroboscopic illumination; 分类号 TH741.4 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量被引量：1: 2; 作者薛媛陈青山刘力双吕勇; 机构北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院; 出处《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期259-265,共7页; 基金北京市优秀人才培养资助(2013D005007000007) 北京市属高等学校青年拔尖人才培育计划项目(CIT&TCD201404124); 文摘为了对光纤阵列测量的高精度显微模板进行精密检测,采用双频激光干涉仪结合显微视觉系统,通过骨架化、腐蚀法、质心法等算法对显微图像进行计算处理,实现模板特征刻线的提取与精确定位。对模板上8条刻度线之间的间距分别进行重复测量和组合测量,实验结果表明重复测量的标准偏差不大于0.07μm,组合测量的标准偏差不大于0.04μm。介绍了测量系统构成与工作原理,并对测量过程进行了精度分析,分析结果表明测量过程的极限误差不大于0.10μm。; 关键词显微视觉双频激光干涉仪光纤阵列精密测量; Keywords micro-vision dual-frequency laser interferometer fiber array precision measurement; 分类号 TH744.5 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名20^(×) Mirau型白光干涉显微物镜的设计被引量：2: 3; 作者陈卉; 机构中国电子科技集团公司第十一研究所; 出处《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1402-1406,共5页; 文摘对于具有动态特性的MEMS陀螺仪表面形貌的检测,采用传统接触式检测方式难以实现。本文设计一款无限远场校正的20^(×) Mirau型白光干涉显微物镜成像系统,实现对MEMS陀螺仪无接触式的表面缺陷检测。系统工作于可见光波段,数值孔径NA=0.3,放大倍率为20倍,工作距离3.1 mm,总体长度为45.85 mm。系统包含光学成像部分和Mirau型干涉部分,光学成像部分的成像质量接近衍射极限,各项设计指标均满足要求;通过VirtualLab软件对干涉物镜进行光路的干涉仿真并得到清晰的干涉条纹,验证了设计的合理性。; 关键词白光干涉显微物镜 mirau 光学设计; Keywords white light interference microscope objective mirau optical design; 分类号 O435 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光双光路显微干涉仪: 4; 作者陈瑜; 机构西安激光仪器厂; 出处《四川激光》 1981年第A02期79-79,共1页; 文摘本文介绍了一种激光显微干涉仪器，它的基本原理和结构是：借助沙敏干涉仅的结构，可得到等光程的双光路测量系统；采用He-Ne激光（TEM00模）做光源，为了能观察到微小光学材料或介质材料的光学性能，在等光程的一个光路中置入样品，则视场中将出现样品引起的干涉图案，此外，又设置了显微系统进行观察，必要时还可对图象摄影记录。; 关键词 HE-NE激光显微干涉干涉仪双光路 TEM00模测量系统光学性能介质材料光学材料显微系统; 分类号 TN248.1 [电子电信—物理电子学] Q631 [生物学—生物物理学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量被引量：1: 5; 作者刘晓军高咏生; 机构华中科技大学机械学院香港科技大学机械工程系; 出处《中国测试技术》 CAS 2004年第2期3-5,共3页; 文摘介绍一种显微剪切干涉仪 ,其基于剪切干涉是自干涉 ,因而具有相当的抗环境干扰和抗振动的特性 ,结合剪切干涉技术与显微干涉技术 ,实现制造环境下表面粗糙度精密测量。本文介绍了该显微剪切干涉仪的原理 ,给出了实验结果。; 关键词剪切干涉显微干涉抗振表面粗糙度精密测量显微剪切干涉仪; Keywords Roughness profile Shearing interferometer Microscope interference Anti-vibration; 分类号 TG84 [金属学及工艺—公差测量技术] TH744.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名测量透明颗粒形状及变形的显微干涉系统: 6; 作者赵兵方如华; 机构同济大学固体力学教育部重点实验室; 出处《同济大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1627-1630,共4页; 文摘结合激光干涉及图像处理技术研究测量透明颗粒形状及监测其变形的光学系统 ;对共路偏光干涉仪进行改进 ,使之更好地测量由温度场变化引起的小试件变形 ;对柱及球形试件进行理论和数值分析及实验研究 .; 关键词偏光干涉仪透明颗粒共路干涉图像处理显微; Keywords polarizing interferometer transparent grain common path image processing microscopy; 分类号 O348 [理学—固体力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用被引量：4: 7; 作者王生怀王淑珍陈育荣谢铁邦; 机构华中科技大学机械学院仪器系湖北汽车工业学院机械系; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第2期22-27,共6页; 基金国家863计划项目(2008AA0422409) 国家自然科学基金项目50745020) +1 种基金湖北省教育厅项目(D20092301 D20082301); 文摘为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计了Z向一维位移工作台,提出了一种以显微干涉图像灰度值归一化标准方差为依据的白光干涉测量条纹自动搜索定位方法。相关实验结果为白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供了参考依据。; 关键词显微干涉仪白光显微干涉光源数值孔径孔径光阑; Keywords micro interferometer white light microscopy interference light source numerical aperture pore aperture; 分类号 TH741.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动	郭彤胡春光胡晓东栗大超金翠云傅星胡小唐	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于双频激光干涉仪的显微模板精密测量	薛媛陈青山刘力双吕勇	《应用光学》 CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	20^(×) Mirau型白光干涉显微物镜的设计	陈卉	《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	激光双光路显微干涉仪	陈瑜	《四川激光》	1981	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	显微剪切干涉表面粗糙度轮廓测量	刘晓军高咏生	《中国测试技术》 CAS	2004	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	测量透明颗粒形状及变形的显微干涉系统	赵兵方如华	《同济大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用	王生怀王淑珍陈育荣谢铁邦	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2010	4	在线阅读下载PDF 职称材料