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检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪
被引量：
6
1
作者
张红霞
张以谟
+2 位作者
井文才
周革
李岩
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期377-380,共4页
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成....
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.
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关键词
mirau
干涉
相移
干涉
轮廓仪
mirau干涉物镜
光纤连接器
压电陶瓷传感器
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职称材料
题名
检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪
被引量：
6
1
作者
张红霞
张以谟
井文才
周革
李岩
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
出处
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期377-380,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60377031)
973计划资助项目(2003CB314907)
文摘
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由Mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,Mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.
关键词
mirau
干涉
相移
干涉
轮廓仪
mirau干涉物镜
光纤连接器
压电陶瓷传感器
Keywords
mirau
interference
phase-shifting interferometer
mirau
interference objective
optic fiber connector
piezoelectric transducer
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪
张红霞
张以谟
井文才
周革
李岩
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
6
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