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微系统集成技术研究的动向
被引量：
7
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作者
钟先信
李建蜀
+3 位作者
肖沙里
徐涛
朱维安
缪秀娥
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998年第4期1-6,共6页
在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。
关键词
微系统
微光学
微传感器
微执行器
集成仪器
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职称材料
题名
微系统集成技术研究的动向
被引量：
7
1
作者
钟先信
李建蜀
肖沙里
徐涛
朱维安
缪秀娥
机构
重庆大学微系统研究中心
华南理工大学机电工程系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998年第4期1-6,共6页
文摘
在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。
关键词
微系统
微光学
微传感器
微执行器
集成仪器
Keywords
microsystems
,
microoptics
,
microsensors
,
microactuators
,
asim
分类号
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微系统集成技术研究的动向
钟先信
李建蜀
肖沙里
徐涛
朱维安
缪秀娥
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1998
7
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