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微机械角速度传感器的研制
被引量：
1
1
作者
邵良杰
罗晓章
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1999年第8期3-4,13,共3页
文中介绍一种用于测量运动物体角速度的微机械角速度传感器，包括其结构组成、工作机理、运动方程、制作工艺以及测试结果。由于其尺寸的大幅度减小，使它在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。
关键词
微机械
角速度传感器
纳米技术
研制
在线阅读
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职称材料
题名
微机械角速度传感器的研制
被引量：
1
1
作者
邵良杰
罗晓章
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1999年第8期3-4,13,共3页
基金
国防科技预研基金
文摘
文中介绍一种用于测量运动物体角速度的微机械角速度传感器，包括其结构组成、工作机理、运动方程、制作工艺以及测试结果。由于其尺寸的大幅度减小，使它在许多领域都有极其广泛的应用，是当今微米／纳米技术发展的一个主要方向。
关键词
微机械
角速度传感器
纳米技术
研制
Keywords
micromechanical angular rate sensor
,
micro nanometer technology
分类号
TH824.303 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械角速度传感器的研制
邵良杰
罗晓章
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1999
1
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职称材料
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