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微机械梳状驱动陀螺仪的理论分析 被引量:2
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作者 郭秀中 阮爱武 《传感器技术》 CSCD 1997年第3期23-26,共4页
在导出静电驱动力表达式的基础上,论述微机械梳状驱动陀螺仪的工作原理和动力学方程,并说明了陀螺仪参数对测量灵敏度的影响.
关键词 微机械陀螺仪 梳状驱动 动力学方程 测量灵敏度
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