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MMF-YOLO晶圆模具表面微缺陷检测算法
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作者 冯金秋 燕芳 +1 位作者 杨阳 李海宇 《计算机工程与应用》 北大核心 2025年第15期132-143,共12页
针对晶圆模具表面微缺陷检测中面临的目标小、尺度变化大、背景复杂、检测精度较低等问题,提出了结合边缘信息聚焦和上下文信息融合扩散的微缺陷检测算法MMF-YOLO。使用边缘信息聚焦模块(edge information focusing module,EIFM)改进原... 针对晶圆模具表面微缺陷检测中面临的目标小、尺度变化大、背景复杂、检测精度较低等问题,提出了结合边缘信息聚焦和上下文信息融合扩散的微缺陷检测算法MMF-YOLO。使用边缘信息聚焦模块(edge information focusing module,EIFM)改进原网络中的C3k2,从多尺度边缘信息中选择与目标高度相关的关键特征。使用上下文信息融合扩散金字塔网络(context-fusion diffusion pyramid network,CFD-PN)结构,对颈部网络进行优化,通过提取各层次网络中特征在空间分辨率和语义信息上的不同表征,减少信息融合过程中特征的混淆和丢失。同时,引入ADown(adaptive down-sampling module)下采样模块,优化了卷积层中的参数数量和计算冗余,以减少模型的复杂度。使用特征尺度缩放检测头(feature scale-aware detection head,FSDH),通过使用共享卷积,减少网络储存开销。实验结果表明,MMF-YOLO算法相较于基线YOLOv11n,在晶圆模具表面微缺陷数据集上,mAP@0.5提升了6.93个百分点,更适用于晶圆模具表面微缺陷检测任务和嵌入式平台部署与推理。 展开更多
关键词 机器视觉 微缺陷检测 边缘信息增强 上下文融合扩散金字塔 YOLOv11
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基于视觉Transformer的运动特征选择融合微表情识别算法 被引量:1
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作者 杜含月 张鹏 +3 位作者 林强 李晓桐 徐森 贲晛烨 《信号处理》 北大核心 2025年第2期267-278,共12页
微表情识别旨在揭示目标对象隐藏的真实情感,其在人机交互、心理诊断以及意图预测等领域具有重要应用价值。然而,微表情表达强度微弱、时间短暂且面部运动单元间存在长距离依赖,使得传统卷积神经网络难以有效表征微表情动态特征。此外,... 微表情识别旨在揭示目标对象隐藏的真实情感,其在人机交互、心理诊断以及意图预测等领域具有重要应用价值。然而,微表情表达强度微弱、时间短暂且面部运动单元间存在长距离依赖,使得传统卷积神经网络难以有效表征微表情动态特征。此外,微表情特征与受试者身份以及面部外观信息存在强耦合性,不利于分离和提取微表情语义信息。为了解决上述问题,本文提出了一种基于视觉Transformer和运动特征选择的微表情识别算法。首先,利用TVL1光流算法计算水平和垂直光流运动图,用以表征面部运动。随后,利用视觉Transformer网络编码微表情发生时面部运动单元间的运动依赖关系,为了进一步提升特征表达能力,本文设计了特征选择融合模块(Feature Selection Fusion Module,FSFM)以实现微表情关键的局部信息的有效获取,并引入空间一致性注意力模块(Spatial Consistency Attention Module,SCAM)以确保不同运动特征在空间分布上的一致性。此外,本文提出的交叉注意力融合模块(Cross Attention Fusion Module,CAFM)能够增强微表情语义信息的表征能力。与现有方法相比,本文所提出的算法在三个权威的微表情数据库上微表情识别任务中表现出显著的准确率提升,进一步验证了该方法的有效性与优越性。 展开更多
关键词 微表情识别 特征选择与融合 交叉注意力机制 视觉Transformer
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热压成形玻璃微透镜阵列的宏微特征尺寸测量
3
作者 杨高 陈裕杰 +3 位作者 周陈标 任清瑞 龚峰 张志辉 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第3期258-269,共12页
热压印技术是实现玻璃微透镜阵列高质量高效率制造的有效途径。为应对大批量热压印成形的玻璃微透镜阵列的质量检测需求,设计和搭建了一套基于机器视觉的宏微特征尺寸高效测量系统。在宏观测量模块中,基于改进的Zernike矩亚像素边缘检... 热压印技术是实现玻璃微透镜阵列高质量高效率制造的有效途径。为应对大批量热压印成形的玻璃微透镜阵列的质量检测需求,设计和搭建了一套基于机器视觉的宏微特征尺寸高效测量系统。在宏观测量模块中,基于改进的Zernike矩亚像素边缘检测算法计算玻璃元件的直径。在微观测量模块中,基于自动搜索最佳模板匹配的图像拼接算法得到较大区域的图像后,计算微透镜单元的直径、圆心坐标和圆度。将玻璃元件和模具对应位置的微透镜阵列图像进行配准,计算微透镜阵列形状的复制偏差。实验结果表明:热压印后的光学元件直径增加15.6μm,测量直径的平均误差为3.7μm。对于选取的850μm×150μm区域,建立微透镜阵列的复制偏差图,发现玻璃光学元件表面对角线的两微透镜中心距比模具表面两微透镜中心距增加1.423μm。该测量系统亦适用于其他复制技术所制造的微透镜阵列的复制偏差分析。 展开更多
关键词 微纳制造 微透镜阵列 尺寸检测 机器视觉 亚像素
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显微视觉系统中自动聚焦技术的研究 被引量:17
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作者 李惠光 王帅 +2 位作者 沙晓鹏 邵暖 李峰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期1-9,共9页
在聚焦评价算法的研究中,本文首先对传统的离散余弦变换(DCT)算法和最小核值相似区(SUSAN)算法进行改进,然后结合改进后的DCT算法和SUSAN算法提出一种新的聚焦评价算法,该算法结合频域评价算法和空间域评价算法各自的优点,使聚焦曲线在... 在聚焦评价算法的研究中,本文首先对传统的离散余弦变换(DCT)算法和最小核值相似区(SUSAN)算法进行改进,然后结合改进后的DCT算法和SUSAN算法提出一种新的聚焦评价算法,该算法结合频域评价算法和空间域评价算法各自的优点,使聚焦曲线在单峰性,局部极值点和灵敏度等方面与传统算法相比有较大改善。在聚焦窗口的研究中,本文提出一种基于图像子块重要程度加权的聚焦窗口选择方法,该方法以总梯度变化率作为图像子块重要程度因子,将重要程度因子值小于阈值的图像子块视为背景子块,去除背景子块后剩下的部分为聚焦窗口。新的聚焦窗口选择方法能实现动态的区分目标区域与背景区域。 展开更多
关键词 显微视觉 自动聚焦 评价函数 离散余弦变换 SUSAN算法
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面向IC封装的显微视觉定位系统 被引量:17
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作者 李君兰 张大卫 +2 位作者 王以忠 赵兴玉 孔凡芝 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期965-972,共8页
为了实现IC封装设备视觉定位系统的整体构建,在分析面向IC封装的视觉系统的基础上,对显微成像系统、视觉系统标定以及模式识别定位算法进行了研究。针对面向IC封装的视觉定位系统的特点,搭建视觉系统,并进行了系统标定。用Matlab编写了... 为了实现IC封装设备视觉定位系统的整体构建,在分析面向IC封装的视觉系统的基础上,对显微成像系统、视觉系统标定以及模式识别定位算法进行了研究。针对面向IC封装的视觉定位系统的特点,搭建视觉系统,并进行了系统标定。用Matlab编写了模式识别定位软件界面,并进行了相关试验研究。实验分析了系统的定位精度和稳定性,实验结果表明,标定误差基本满足正态分布,XY方向的平均误差为0.0145和0.1065pixel,方差为0.3103和0.2775pixel。经过对视觉定位系统的标定,并使用某种IC芯片进行实际定位实验,结果显示匹配定位误差可以控制在3.5μm(0.4pixel)以内。该视觉系统实现了亚像素级的定位精度。 展开更多
关键词 IC封装 视觉定位 显微视觉 系统标定 模板匹配
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显微视觉系统中自动聚焦算法的研究 被引量:8
6
作者 李惠光 李敏 +1 位作者 邵暖 李国友 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2016年第14期197-201,共5页
针对自动聚焦过程中的聚焦评价函数、聚焦窗口、搜索算法进行了研究。首先改进了Robert函数增加了聚焦评价函数的陡峭度;其次针对固定聚焦窗口无法准确找到聚焦物体的缺点,提出了一种动态选择聚焦窗口的方法,该方法将图像分块,利用不同... 针对自动聚焦过程中的聚焦评价函数、聚焦窗口、搜索算法进行了研究。首先改进了Robert函数增加了聚焦评价函数的陡峭度;其次针对固定聚焦窗口无法准确找到聚焦物体的缺点,提出了一种动态选择聚焦窗口的方法,该方法将图像分块,利用不同子块的梯度变化程度区分物体和背景,该方法更具适应性;进而提出了大步长和小步长相结合的爬山搜索算法,经过改进后的爬山搜索算法能更准确地找到焦平面;最后通过自行研发的显微视觉系统验证了所提自动聚焦方案的有效性。 展开更多
关键词 显微视觉系统 自动聚焦 评价函数 动态聚焦窗口 爬山算法
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显微视觉系统的自动聚焦及控制 被引量:25
7
作者 周丽平 孙志峻 张泉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第3期807-812,共6页
对自动显微镜的自动聚焦评价函数及聚焦控制策略进行了研究。首先,介绍了频域聚焦函数提升小波变换及时域聚焦函数Sobel-Tenengrad算子,通过将提升小波变换和Sobel-Tenengrad算子有机组合提出了一种新型聚焦评价函数。然后,利用离焦、... 对自动显微镜的自动聚焦评价函数及聚焦控制策略进行了研究。首先,介绍了频域聚焦函数提升小波变换及时域聚焦函数Sobel-Tenengrad算子,通过将提升小波变换和Sobel-Tenengrad算子有机组合提出了一种新型聚焦评价函数。然后,利用离焦、正焦样本图像对自组织算法进行无监督训练,使用粒子群优化算法加速训练过程,并以经过学习的自组织映射算法作为聚焦控制器。最后,进行了显微视觉自动聚焦实验。实验结果表明:新型组合算子具有单峰性,峰值处变化陡峭,对不同样本、不同倍数物镜均可在正焦位置达到最大值,鲁棒性强;经过学习控制器后平均仅用7.6步即可完成自动聚焦,与爬山法相比,该聚焦算法不仅大大提高了聚焦速度且性能稳定,对每幅输入图像处理、识别时间约为120ms;满足了显微视觉自动聚焦要求,获得了良好聚焦效果。 展开更多
关键词 显微视觉 自动聚焦 聚焦策略 离散小波变换 自组织映射 粒子群优化
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微装配正交精确对准系统的设计 被引量:7
8
作者 唐永龙 张之敬 +1 位作者 张晓峰 孙媛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1542-1550,共9页
针对平板类零件微装配系统设计过程中面临的问题,提出采用正交光学对准机构来实现用人机协同的微装配系统对微小型平板类结构件的高精度装配,并分析计算高精度对准机构模块产生的误差。建立了基于显微机器视觉及正交光学对准的微装配系... 针对平板类零件微装配系统设计过程中面临的问题,提出采用正交光学对准机构来实现用人机协同的微装配系统对微小型平板类结构件的高精度装配,并分析计算高精度对准机构模块产生的误差。建立了基于显微机器视觉及正交光学对准的微装配系统平台,用本文提出的方法进行了微装配实验,结果显示本装配系统在装配的一致性与装配效率方面有较大的改善与提高。提出的光学对准方法可有效地用于平板结构的硅微MEMS器件和非硅MEMS器件等集成的复杂微小型异构机电系统的装配,设计的平台具有很好的开放性和可移植性。棱镜正交对准机构产生0.001°的角度误差时,对准理论偏差小于0.98μm,实际实验中微装配平台系统装配精度小于5μm,满足平板类微小型结构件装配一般精度需求。 展开更多
关键词 微装配 正交对准 显微视觉 人机协同
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MEMS器件微装配系统的设计与研制 被引量:4
9
作者 陈立国 孙立宁 +1 位作者 荣伟彬 谢晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第14期1226-1228,1232,共4页
在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS... 在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成。提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究。 展开更多
关键词 微装配 MEMS 显微视觉 作业工具
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基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术 被引量:4
10
作者 金翠云 靳世久 +2 位作者 栗大超 冯亚林 郝一龙 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期248-252,共5页
为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结... 为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求. 展开更多
关键词 微机电系统 机器微视觉 动态测试 模糊图像 光学检测 亚像素
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显微视觉系统对柱状微零件自动聚焦技术研究 被引量:5
11
作者 罗李焱 徐德 +1 位作者 张正涛 张娟 《计算机工程与应用》 CSCD 2014年第8期122-126,142,共6页
针对显微视觉中的柱状物体图像的清晰度问题,提出了一种实时检测图像特征并跟踪特征区域进行自动聚焦的方法。该聚焦算法包括聚焦评价函数、聚焦搜索算法和聚焦区域选择。该聚焦搜索算法实现了显微视觉系统下快速准确的聚焦,克服了爬山... 针对显微视觉中的柱状物体图像的清晰度问题,提出了一种实时检测图像特征并跟踪特征区域进行自动聚焦的方法。该聚焦算法包括聚焦评价函数、聚焦搜索算法和聚焦区域选择。该聚焦搜索算法实现了显微视觉系统下快速准确的聚焦,克服了爬山搜索算法的缺点,有效避免搜索结果陷入局部极大值。显微视觉中对聚焦区域的选择尤为重要,以图像特征区域作为聚焦区域,实时检测该特征区域进行聚焦,实现了在景深小于柱状物体半径的情形下对柱状物体边缘的精确聚焦。粗聚焦后电机位置的标准差为205μm,精聚焦后电机位置的标准差为37μm。实验结果表明,该自动聚焦方法能够满足微装配系统对显微视觉的聚焦需求。 展开更多
关键词 聚焦区域选择 聚焦搜索算法 自动聚焦 柱状零件 显微视觉 微装配
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基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术(英文) 被引量:3
12
作者 金翠云 栗大超 +2 位作者 靳世久 冯亚林 郝一龙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期771-774,796,共5页
随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要... 随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试,给出了测量结果,并对测试结果进行了分析和讨论。 展开更多
关键词 MEMS 动态测试 机器微视觉 模糊图像 微谐振器 谐振频率
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微操作机器人的显微视觉自标定方法 被引量:4
13
作者 谢晖 孙立宁 +1 位作者 荣伟彬 陈立国 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期32-35,共4页
在分析微操作机器人结构特点的基础上确定了待标定参数,提出了一种基于显微视觉的自标定方法。通过动态跟踪随机器人运动的目标来计算其图像坐标,采用最小二乘法拟合目标运动轨迹在显微镜坐标平面中的投影直线,并结合高精度机器人的位移... 在分析微操作机器人结构特点的基础上确定了待标定参数,提出了一种基于显微视觉的自标定方法。通过动态跟踪随机器人运动的目标来计算其图像坐标,采用最小二乘法拟合目标运动轨迹在显微镜坐标平面中的投影直线,并结合高精度机器人的位移量,经过几何投影和变换,标定出待标定坐标到显微镜坐标的转换矩阵。该标定方法无需特殊辅助测量仪器。实验表明,角度标定重复性好,位置标定误差小于 2 个像素。 展开更多
关键词 机器人显微视觉 微操作机器人 自标定 转换矩阵
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基于显微视觉的宏/微双驱动微动台系统 被引量:6
14
作者 于保军 杨志刚 +1 位作者 齐会良 程光明 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期125-129,174,共6页
提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差。采用显微... 提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差。采用显微视觉反馈控制微动台的移动和定位,实现定位机构的全闭环反馈控制,同时提出了带运动规划和估算的运动控制策略,提高了系统的运行速度。实验研究表明:系统的动态和稳定性能良好,该微动台的最大行程80mm,定位精度1μm。 展开更多
关键词 宏/微双重驱动 精密定位 显微视觉 运动规划
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微机电系统测试技术及方法 被引量:14
15
作者 李智 王向军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第1期37-44,共8页
微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一 ,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光... 微机电系统 (MEMS)测试技术及方法是MEMS设计、仿真、制造及质量控制和评价的关键环节之一 ,本文对MEMS测试技术及方法所涉及的微机械量、微几何量、微材料特性以及系统综合参数与性能的测试技术及方法进行了讨论。重点介绍了光学及光电检测技术在微机电系统检测中的应用 ,对计算机微视觉检测技术在微机电系统检测中的应用进行了探讨。 展开更多
关键词 微机电系统 MEMS检测技术 光电检测 计算机视觉检测
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显微视觉技术在微细加工中的应用 被引量:2
16
作者 李丽宏 张明路 +2 位作者 孙凌宇 张建华 魏智 《天津工业大学学报》 CAS 北大核心 2012年第6期60-63,67,共5页
面向微细加工设计显微视觉系统,同时结合力觉传感器共同控制微细加工的操作过程.针对显微图像中噪声也被放大的特点,在自动聚焦处理中提出了一种新的强噪声聚焦评价函数处理方法,即在中值滤波和双边滤波后,采用分水岭算法对滤波图像进... 面向微细加工设计显微视觉系统,同时结合力觉传感器共同控制微细加工的操作过程.针对显微图像中噪声也被放大的特点,在自动聚焦处理中提出了一种新的强噪声聚焦评价函数处理方法,即在中值滤波和双边滤波后,采用分水岭算法对滤波图像进行过分割处理,对分割的各小区域求取其均值,用均值代替此区域内像素灰度值,再利用SML聚焦评价函数进行自动聚焦;同时,为了避免回程间隙而损失定位精度,在搜索方式上,采用精度较高的三次样条插值定位方法,利用相对矩对目标进行识别.实践表明,本系统能快速准确地确定刀具与加工工件之间的三维距离,完成微细操作控制过程. 展开更多
关键词 显微视觉 微细加工 自动聚焦 目标识别
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基于显微视觉的沥青路面微观纹理三维重构 被引量:4
17
作者 邹丽琼 周兴林 胡怡玮 《武汉科技大学学报》 CAS 北大核心 2015年第4期297-301,共5页
针对沥青路面微观形貌常用检测方法的不足,融合显微视觉的局部放大特性和数字图像处理技术,提出了基于显微视觉的沥青路面微观纹理三维重构方法。根据激光三角测量原理建立显微视觉三维重构数学模型;利用立体显微镜采集序列图像,对图像... 针对沥青路面微观形貌常用检测方法的不足,融合显微视觉的局部放大特性和数字图像处理技术,提出了基于显微视觉的沥青路面微观纹理三维重构方法。根据激光三角测量原理建立显微视觉三维重构数学模型;利用立体显微镜采集序列图像,对图像进行插值处理和阈值分割,并提取光条中心线;采用Delaunay三角剖分算法实现表面三维重构。与基于聚焦深度的沥青路面微观纹理三维重构方法进行试验对比分析,结果表明,本文方法对光照均匀性无特殊要求,具有精度高、操作简便、三维直观性强等特点。 展开更多
关键词 沥青路面 微观纹理 显微视觉 三维重构 图像处理
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宏/微双驱动定位台显微视觉自动聚焦清晰度评价方法 被引量:2
18
作者 于保军 杨志刚 +2 位作者 田丰君 董景石 姜斌 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期199-203,共5页
在基于光学显微镜的微操作定位中,为了克服显微镜头在拍摄图像过程中的视场狭小、焦深短等问题,综合利用了基于梯度场的图像清晰度评价方法和基于小波变换的图像清晰度评价方法。将显微镜头安装在一维宏/微双精度定位平台上,用以保证显... 在基于光学显微镜的微操作定位中,为了克服显微镜头在拍摄图像过程中的视场狭小、焦深短等问题,综合利用了基于梯度场的图像清晰度评价方法和基于小波变换的图像清晰度评价方法。将显微镜头安装在一维宏/微双精度定位平台上,用以保证显微镜头的运动精度。为了防止系统聚焦于面积最大的背景部分,采用了仅对目标区域进行清晰度评价计算的方法,保证系统仅对操作感兴趣的目标进行自动聚焦。通过以上技术实现定位机构的全闭环反馈控制。实验研究表明:系统的动态和稳定性能良好,系统的响应速度由0.3帧/s提高到3帧/s,同时根据清晰度确定的空间位置关系还可以进行防碰撞控制。 展开更多
关键词 宏/微双重驱动 清晰度评价 显微视觉 自动聚焦
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基于视觉的三自由度微动平台输入耦合研究 被引量:3
19
作者 张宪民 龙学俊 林容周 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2013年第1期1-5,161,共5页
为了提高精密微动平台的定位精度,提出了一种计算微动平台输入耦合位移系数的实验方法。构建显微视觉测量系统,以柔顺铰链式平面三自由度微动平台为研究对象,实时跟踪测量微动平台输入位移;对平台与图像之间的坐标系进行标定,有效提高... 为了提高精密微动平台的定位精度,提出了一种计算微动平台输入耦合位移系数的实验方法。构建显微视觉测量系统,以柔顺铰链式平面三自由度微动平台为研究对象,实时跟踪测量微动平台输入位移;对平台与图像之间的坐标系进行标定,有效提高了平台的输入位移和耦合位移的测量精度。实验表明,基于显微视觉的测量结果与Ansys模拟仿真结果相符,对微动平台的分析与设计具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 显微视觉 三自由度平台 输入耦合 标定
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基于显微视觉的微小型零件跟踪系统 被引量:3
20
作者 吴叶兰 杨飞 +1 位作者 刘阳 谢涛 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第2期95-98,共4页
微装配过程中的运动目标跟踪是一个新兴的研究方向。构建了一个由CCD相机、显微镜头、电控云台和图像处理模块组建的、针对微小型零件的显微视觉跟踪系统。为克服显微视场范围小的局限性,提出一种基于SIFT特征点的模板匹配和Kalman预测... 微装配过程中的运动目标跟踪是一个新兴的研究方向。构建了一个由CCD相机、显微镜头、电控云台和图像处理模块组建的、针对微小型零件的显微视觉跟踪系统。为克服显微视场范围小的局限性,提出一种基于SIFT特征点的模板匹配和Kalman预测相结合的跟踪算法,通过Kalman预测实现在局部范围内的模板匹配,利用SIFT特征对模板匹配的结果进行校正和更新。实验结果表明:提出的跟踪算法能得到稳定的目标局部特征,并准确地跟踪到目标,对亮度变化、成像模糊等影响因素有较强的适应能力。 展开更多
关键词 显微视觉 目标跟踪 模板匹配 尺度不变特征变换 KALMAN滤波
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