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侧壁修复提升237 nm AlGaN基Micro-LED光功率密度研究
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作者 郝家龙 李宏博 +9 位作者 吕顺鹏 朱立财 孙文超 张若甲 刘钟旭 蒋科 贲建伟 张山丽 孙晓娟 黎大兵 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第6期970-978,共9页
AlGaN基深紫外Micro-LED在无掩膜光刻、日盲紫外保密通信等领域具有重要应用前景。然而,侧壁效应和电流拥挤效应严重制约高电流密度下的光功率密度。本研究制备了发光波长237 nm,台面半径分别为12.5、25.0、50.0μm的深紫外Micro-LED,... AlGaN基深紫外Micro-LED在无掩膜光刻、日盲紫外保密通信等领域具有重要应用前景。然而,侧壁效应和电流拥挤效应严重制约高电流密度下的光功率密度。本研究制备了发光波长237 nm,台面半径分别为12.5、25.0、50.0μm的深紫外Micro-LED,并系统探究了侧壁修复对不同尺寸和不同阵列化Micro-LED的影响规律。研究发现,使用KOH修复侧壁可有效降低AlGaN基深紫外Micro-LED侧壁缺陷密度,减小反向漏电流密度,同时降低由侧壁缺陷导致的肖特基-里德-霍尔(SRH)非辐射复合。对于单台面器件,器件尺寸越小,最大光功率密度越高,但侧壁效应严重制约着小尺寸器件的光功率密度,导致小尺寸器件在低电流密度下光功率密度最低,侧壁修复后,半径12.5μm的器件峰值光功率密度提升最多,提升了186%,且在不同电流密度下光功率密度均最高;对于相同发光面积的阵列化器件,侧壁修复后,阵列化程度越高,光功率密度越高,4×4阵列12.5μm的Micro-LED比半径50.0μm的器件峰值光功率密度提高了116%,其原因是在保持较低侧壁缺陷的情况下,阵列化可以提高电流密度分布均匀性,进而提高光效。该研究有助于提高Micro-LED的光功率密度,并将推动短波深紫外Micro-LED走向实际应用。 展开更多
关键词 侧壁效应 电流拥挤效应 AlGaN micro-led 侧壁修复 阵列化工程
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改进相位相关与聚类思想的Micro-LED芯片显微图像拼接
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作者 林坚普 王廷雨 +6 位作者 蔡苾芃 张建豪 梅婷 林珊玲 林志贤 乐建避 吴朝兴 《光学精密工程》 北大核心 2025年第4期641-652,共12页
针对现有Micro-LED芯片的显微图像由于存在大量相似且整齐排列的LED而导致算法拼接速度慢及准确率低的问题,本文提出了一种基于聚类思想的Micro-LED芯片显微图像拼接方法。首先使用最大类间方差法对图像进行预处理,随后使用自适应面积... 针对现有Micro-LED芯片的显微图像由于存在大量相似且整齐排列的LED而导致算法拼接速度慢及准确率低的问题,本文提出了一种基于聚类思想的Micro-LED芯片显微图像拼接方法。首先使用最大类间方差法对图像进行预处理,随后使用自适应面积拓展相位相关算法对相邻两幅图像的重叠区域进行峰值计算以求得初步配准的偏移量,接着使用图像分块联合差异值哈希算法的优化配准策略得到优化后的偏移量,最后引入基于密度的噪声应用空间聚类对可能存在的错误偏移量进行自动筛出和处理。实验结果表明本文算法平均耗时为64 ms,满足拼接实时性的需求,拼接正确率达到99.4%,配准精度控制在1个pixel之内,融合处理后在主观上可以达到完美的拼接效果,为错误偏移量导致的整体错位问题也提供了新的解决思路。本文算法有效解决了晶圆级Micro-LED芯片检测中显微图像拼接的关键环节,并可推广应用于具有重复特征且高精度要求的其他机器视觉自动化领域,具有较高的实际工程应用价值。 展开更多
关键词 图像拼接 micro-led芯片显微图像 相位相关 差异值哈希 聚类思想 缺陷检测
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Micro-LED晶圆缺陷检测的宽光谱大视场显微物镜设计
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作者 洪惠敏 贺文俊 《光子学报》 北大核心 2025年第3期207-220,共14页
为了实现对Micro-LED晶圆缺陷的准确和高效检测,设计了一款工作波长覆盖可见光和近红外的宽光谱、大视场、平场、复消色差显微物镜。采用正-正-负三光组结构,计算调整了各光组光焦度并分配其元件特征,实现了大视场和长工作距设计。基于B... 为了实现对Micro-LED晶圆缺陷的准确和高效检测,设计了一款工作波长覆盖可见光和近红外的宽光谱、大视场、平场、复消色差显微物镜。采用正-正-负三光组结构,计算调整了各光组光焦度并分配其元件特征,实现了大视场和长工作距设计。基于Buchdahl色散模型进行了玻璃材料的色散矢量分析并指导了初始光学系统材料替换,实现了平场复消色差设计。设计结果表明:该显微物镜的工作波长范围为420 nm~1064 nm、放大倍率为10倍、视场为3.3 mm、数值孔径为0.34、可见光波段分辨率为0.88μm、近红外波段分辨率为1.35μm、工作距为8 mm、齐焦距为95 mm。其成像质量优良,调制传递函数曲线接近衍射极限,全谱段复消色差,全视场平坦,易于加工生产,可用于检测大范围的表面以及次表面的微米级Micro-LED晶圆缺陷。 展开更多
关键词 光学设计 显微物镜 Buchdahl模型 平场复消色差 micro-led
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蜂巢表面AlGaInP基倒装Micro-LED的光电性能
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作者 谢军 张威 +2 位作者 谢子敬 徐盛海 王洪 《发光学报》 北大核心 2025年第10期1953-1960,共8页
AlGaInP基红光Micro-LED较低的光提取效率限制了器件的发光强度。本文提出了一种自组装Ni金属纳米掩模和湿法刻蚀技术,获得了具有高密度、高均匀性的GaP表面纹理,通过表面纹理增加临界角降低全内反射效应从而有效地提高了器件光提取效... AlGaInP基红光Micro-LED较低的光提取效率限制了器件的发光强度。本文提出了一种自组装Ni金属纳米掩模和湿法刻蚀技术,获得了具有高密度、高均匀性的GaP表面纹理,通过表面纹理增加临界角降低全内反射效应从而有效地提高了器件光提取效率。使用不同厚度的镍掩膜获得不同形貌的表面纹理。结果表明,在20 A/cm^(2) 电流密度下,使用1 nm厚镍金属纳米掩膜湿法蚀刻的Micro-LED的发光强度和外量子效率比无表面纹理的Micro-LED分别提升21.04%和23.58%。提出了一种使用ICP干法刻蚀结合湿法刻蚀制备蜂巢型圆柱状表面纹理。在相同工艺的ICP刻蚀后对GaP层湿法腐蚀不同时间,在电流密度为20 A/cm^(2) 时,使用ICP蚀刻和湿法蚀刻10 s*3次的Micro-LED发光强度和外量子效率分别比无表面纹理的Micro-LED提高了81.61%和48.40%。 展开更多
关键词 ALGAINP 倒装 光提取效率 micro-led 表面纹理
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芯片尺寸与阵列偏移对图形衬底Micro-LED光强空间分布的影响
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作者 张佳辰 李盼盼 +2 位作者 李金钗 黄凯 李鹏岗 《发光学报》 北大核心 2025年第2期366-372,共7页
微型发光二极管(Micro-light emitting diode,Micro-LED)以高亮度、高对比度、低能耗和快速响应等优异特性,广泛应用于户外显示、增强现实和虚拟现实等领域。然而,Micro-LED的微型化带来了光强分布控制的挑战。为提高其发光效率,常使用... 微型发光二极管(Micro-light emitting diode,Micro-LED)以高亮度、高对比度、低能耗和快速响应等优异特性,广泛应用于户外显示、增强现实和虚拟现实等领域。然而,Micro-LED的微型化带来了光强分布控制的挑战。为提高其发光效率,常使用图形蓝宝石衬底(Patterned sapphire substrate,PSS)技术,通过微米级图形单元优化光提取率。在大尺寸LED中,PSS对光强空间分布影响较小,但在微米级Micro-LED中影响显著。本文采用光线追迹方法,系统研究了发光波长为460 nm的不同尺寸PSS Micro-LED在不同阵列偏移下的光强空间分布,并量化了光强空间分布的非对称率,最后解释了该现象。结果表明,随着尺寸减小,PSS对光强空间分布影响增大。当尺寸为3μm×5μm时,在y轴和x轴的光强空间分布的非对称率达3.06%和4.22%,因而影响Micro-LED发光均匀性。本研究为Micro-LED在显示应用中的优化设计提供了理论支持。 展开更多
关键词 micro-led 图形蓝宝石衬底(PSS) 非对称率
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表面复合与光提取效率竞争机制对Micro-LED光效的影响
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作者 刘志强 江莹 +7 位作者 莫梦月 闫金健 李鹏岗 黄凯 李金钗 卢卫芳 康俊勇 张荣 《厦门大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第4期682-689,共8页
[目的]基于表面复合引起的尺寸效应,研究Micro-LED器件的尺寸、形状与光效的关系.[方法]利用SimuLED软件,通过设计不同尺寸和形状的器件,探究器件表面复合占比与周长面积比之间的关系,并分析器件形状对Micro-LED性能的影响.[结果]器件... [目的]基于表面复合引起的尺寸效应,研究Micro-LED器件的尺寸、形状与光效的关系.[方法]利用SimuLED软件,通过设计不同尺寸和形状的器件,探究器件表面复合占比与周长面积比之间的关系,并分析器件形状对Micro-LED性能的影响.[结果]器件表面复合速率与周长面积比成线性比例关系;器件形状通过表面复合占比与光提取效率共同影响器件的外量子效率.在本文研究的3种芯片形状中,圆形芯片的内量子效率最高,正六边形芯片的外量子效率最高,而方形芯片的内、外量子效率以及光功率均最低.[结论]当器件的尺寸受限时,可以通过优化器件形状,以降低表面复合占比和提高光提取效率,进而提高光效. 展开更多
关键词 micro-led 尺寸效应 表面复合速率 周长面积比 光提取效率
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Impact attenuation mechanism of single/double-layer potting structures of MEMS devices under continuous double-pulse impact
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作者 Hao'nan Guo Yunbo Shi +4 位作者 Rui Zhao Yu'nan Chen Peng Zhang Liang Chen Tao Guo 《Defence Technology(防务技术)》 2025年第6期104-114,共11页
High-overload shocks are very likely to cause damage to the microstructure of MEMS devices, especially the continuous multiple high-overload shocks generated by the penetration of the multilayer target environment pos... High-overload shocks are very likely to cause damage to the microstructure of MEMS devices, especially the continuous multiple high-overload shocks generated by the penetration of the multilayer target environment pose more stringent challenges to its protective structure. In this study, the kinetic response model of the protective structure under single-pulse and continuous double-pulse impact is established,and a continuous double-pulse high overload impact test impact platform based on the sleeve-type bullet is constructed, and the protective performance of the multi-layer structure under multi-pulse is analyzed based on the acceleration decay ratio, and the results show that the protective performance of the structure has a positive correlation with its thickness, and it is not sensitive to the change of the load of the first impact;the first impact under double-pulse impact will cause damage to the microstructure through the superposition of the second impact. The first impact under double-pulse impact will cause an increase in the overload amplitude of the second impact through superposition;compared with the single-layer structure, the acceleration attenuation ratio of the double-layer structure can be increased by up to 26.13%, among which the epoxy-polyurethane combination has the best protection performance, with an acceleration attenuation ratio of up to 44.68%. This work provides a robust theoretical foundation and experimental basis for the reliable operation of MEMS devices, as well as for the design of protective structures in extreme environments. 展开更多
关键词 Continuous double pulse Protective structure Attenuation ratio MEMS devices
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高亮绿光氮化镓基Micro-LED微型显示器制备 被引量:1
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作者 张杰 王光华 +10 位作者 邓枫 杨文运 高思博 鲁朝宇 孟泽阳 高树雄 常诚 曹坤宇 马赛江 刘颖琪 王丽琼 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第10期1186-1191,共6页
Micro-LED作为一种新型的显示技术,具有对比度高、响应快及寿命长等优点,已成为当前研究的热点。然而,尽管潜力巨大,Micro-LED技术的商业化之路仍面临诸多技术上的挑战与瓶颈。本文旨在探讨高亮绿光氮化镓基Micro-LED微型显示器的制备... Micro-LED作为一种新型的显示技术,具有对比度高、响应快及寿命长等优点,已成为当前研究的热点。然而,尽管潜力巨大,Micro-LED技术的商业化之路仍面临诸多技术上的挑战与瓶颈。本文旨在探讨高亮绿光氮化镓基Micro-LED微型显示器的制备过程及其相关技术。基于WVGA041全数字信号电路CMOS硅基驱动电路,制作了0.41 inch、分辨率为800×480的主动式单色绿光Micro-LED微型显示器。利用高精度倒装焊接技术实现了CMOS驱动电路与LED发光芯片的电气连接。结果表明,制备出LED显示芯片正常启亮电压为2.8V,EL光谱峰值波长524nm;在硅基CMOS电路驱动范围内,Micro-LED微型显示器在5V电压下,器件亮度为108000cd/m^(2)(最大亮度可达250000 cd/m^(2)),电流密度达到0.61A/cm^(2)时色坐标为(0.175,0.756)。当电流密度从0.3A/cm^(2)增加到1.3A/cm^(2)时,色坐标从(0.178,0.757)变化到(0.175,0.746),器件的色稳定性能够满足实际应用要求。 展开更多
关键词 micro-led 微型显示器 高亮单色绿光发光二级管
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用于Mini/Micro-LED芯片缺陷检测的全局特征压缩卷积神经网络 被引量:1
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作者 田心如 褚洁 +2 位作者 蔡觉平 温凯林 王宇翔 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期174-184,共11页
微型发光二极管(Mini/Micro-LED)是下一代显示技术。随着Mini/Micro-LED芯片物理尺寸的微小化,制造良品率下降、集成度激增,Mini/Micro LED芯片的快速、精确检测成为工业生产的关键。然而由于芯片尺寸小、分布密集,单个目标的特征信息... 微型发光二极管(Mini/Micro-LED)是下一代显示技术。随着Mini/Micro-LED芯片物理尺寸的微小化,制造良品率下降、集成度激增,Mini/Micro LED芯片的快速、精确检测成为工业生产的关键。然而由于芯片尺寸小、分布密集,单个目标的特征信息占比不足,且工业检测要求检测算法速度快、易部署,Mini/Micro-LED芯片缺陷检测仍面临巨大挑战。针对这些问题,设计了一种压缩注意力细节-语义互补卷积神经网络(CADSC-CNN)。在特征融合网络加入基于自注意力机制的编码器结构,更容易获取全局信息,对小目标的特征信息进行补充;同时对自注意力进行压缩操作减少模型的参数量,提高检测速率。此外,通过工业相机采集的Mini/Micro-LED数据集验证该方法的有效性。实验表明,该方法的平均精度均值(mAP)达到了95.6%,速度为100.6 fps。 展开更多
关键词 缺陷检测 Mini/micro-led 卷积神经网络 自注意力
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GaN基Micro-LED反向漏电流失效机理分析 被引量:2
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作者 王伟 张腾飞 王绶玙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1539-1546,共8页
针对GaN基蓝光Micro-LED芯片,采用温度应力和电压应力的实验方法研究了其反向漏电流失效机理。结果表明,在温度应力下,Micro-LED芯片退化前的反向漏电流主要由多步热辅助隧穿电流构成,且受Poole-Frenkel(PF)隧穿机制影响;电压应力(-85V... 针对GaN基蓝光Micro-LED芯片,采用温度应力和电压应力的实验方法研究了其反向漏电流失效机理。结果表明,在温度应力下,Micro-LED芯片退化前的反向漏电流主要由多步热辅助隧穿电流构成,且受Poole-Frenkel(PF)隧穿机制影响;电压应力(-85V)退化后,反向漏电流会随着应力时间的延长而增大,此时由多步热辅助隧穿电流转换为空间电荷限制电流机制(SCLC)。通过分析退化前后的能带图得知,长时间的电压应力会发生击穿现象,导致Micro-LED芯片内部电场剧烈变化,电子能够以高能量碰撞到晶格原子,产生大量的载流子,从而增加了非辐射复合率,使得反向漏电流由原来的1.9766×10^(-7)A增大到1.5834×10^(-4)A。 展开更多
关键词 micro-led 失效机制 非辐射复合 遂穿通道 反向漏电流
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钙钛矿量子点色转换Micro-LEDs:稳定性与图案化研究进展
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作者 严梓峻 刘众 +8 位作者 杨晓 赖寿强 颜丰裕 林宗民 林岳 吕毅军 郭浩中 陈忠 吴挺竹 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1-26,共26页
微型发光二极管(Micro light-emitting diode,Micro-LED)显示具有优异的显示性能和光电性质,被称为“下一代”终极显示技术。为了满足近眼显示需求,Micro-LED需要进一步微缩与集成化。随着微纳级图案化技术的不断革新,荧光色转换层法表... 微型发光二极管(Micro light-emitting diode,Micro-LED)显示具有优异的显示性能和光电性质,被称为“下一代”终极显示技术。为了满足近眼显示需求,Micro-LED需要进一步微缩与集成化。随着微纳级图案化技术的不断革新,荧光色转换层法表现出低制造成本等显著优势,相较于三色芯片法,更适合应用于对色域、分辨率有更高要求的虚拟/增强现实显示应用。钙钛矿量子点是最有前景的荧光色转换材料,然而自身晶格固有的不稳定性和外界环境因素刺激共同导致的结构降解是一大问题。另外,如何制备与Micro-LED芯片阵列相匹配的微米级荧光阵列图案是至关重要的。为此,本文首先讲述了造成钙钛矿量子点结构不稳定性的原因,其次,总结了配体交换、离子掺杂、表面包覆和化学交联等方案在提升钙钛矿量子点稳定性方面的应用,最后,总结了光刻技术和喷墨打印技术在制备高分辨率钙钛矿量子点荧光阵列的最新研究进展。 展开更多
关键词 micro-led 荧光色转换层法 钙钛矿量子点 稳定性 图案化技术
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Freestanding oxide membranes:synthesis,tunable physical properties,and functional devices
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作者 Ao Wang Jinfeng Zhang Lingfei Wang 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期2-17,1,I0002,共18页
The study of oxide heteroepitaxy has been hindered by the issues of misfit strain and substrate clamping,which impede both the optimization of performance and the acquisition of a fundamental understanding of oxide sy... The study of oxide heteroepitaxy has been hindered by the issues of misfit strain and substrate clamping,which impede both the optimization of performance and the acquisition of a fundamental understanding of oxide systems.Recently,however,the development of freestanding oxide membranes has provided a plausible solution to these substrate limitations.Single-crystalline functional oxide films can be released from their substrates without incurring significant damage and can subsequently be transferred to any substrate of choice.This paper discusses recent advancements in the fabrication,adjustable physical properties,and various applications of freestanding oxide perovskite films.First,we present the primary strategies employed for the synthesis and transfer of these freestanding perovskite thin films.Second,we explore the main functionalities observed in freestanding perovskite oxide thin films,with special attention to the tunable functionalities and physical properties of these freestanding perovskite membranes under varying strain states.Next,we encapsulate three representative devices based on freestanding oxide films.Overall,this review highlights the potential of freestanding oxide films for the study of novel functionalities and flexible electronics. 展开更多
关键词 freestanding oxide membranes transition metal oxides thin films electronic devices
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基于DeviceNet总线的温度变送器设计 被引量:2
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作者 徐继宁 李正熙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z2期659-661,共3页
DeviceNet总线以其方便、高可靠性和开放性正得到日益广泛的工业应用。以协议规范为蓝本,介绍了温度变送器的DeviceNet接口硬件实现方案,对象模型描述和相关参数设定以及应用层协议的软件实现,给出了具体程序示例。对仅线组2的从设备开... DeviceNet总线以其方便、高可靠性和开放性正得到日益广泛的工业应用。以协议规范为蓝本,介绍了温度变送器的DeviceNet接口硬件实现方案,对象模型描述和相关参数设定以及应用层协议的软件实现,给出了具体程序示例。对仅线组2的从设备开发有积极的借鉴意义。 展开更多
关键词 现场总线 deviceNET 协议 仅限组2从设备
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一种Device-to-Device移动社交网络中的热点文件预测方法 被引量:1
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作者 张霄宏 侯海杰 任建吉 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2018年第5期973-977,共5页
随着信息技术的蓬勃发展,移动社交网络越来越受到人们的关注,尤其是对移动社交网络中的热点分析.以基于Device-to-Device技术构建的移动社交网络为研究对象,从网络规模、文件分享特征以及用户影响力等方面入手,提出一种预测该类社交网... 随着信息技术的蓬勃发展,移动社交网络越来越受到人们的关注,尤其是对移动社交网络中的热点分析.以基于Device-to-Device技术构建的移动社交网络为研究对象,从网络规模、文件分享特征以及用户影响力等方面入手,提出一种预测该类社交网络中热点文件的方法.该方法从信息和用户的角度出发,通过量化文件重要性、文件敏感性、用户参与力和用户影响力四个指标,利用多元线性回归方法建立预测模型,并在真实数据上验证了方法的有效性. 展开更多
关键词 移动社交网络 device-to-device 热点文件预测
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基于SIR的Device-to-Device移动社交网络信息传播模型 被引量:1
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作者 张霄宏 钱凯 鲍亚雷 《河南理工大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第3期131-136,共6页
智能移动设备的迅速普及在加快移动社交网络发展的同时,也给底层通信网络带来了沉重的负担。为了缓解底层通信网络的负担,越来越多的社交网络应用开始采用Device-to-Device技术传播信息。本文以Device-to-Device移动社交网络为研究对象... 智能移动设备的迅速普及在加快移动社交网络发展的同时,也给底层通信网络带来了沉重的负担。为了缓解底层通信网络的负担,越来越多的社交网络应用开始采用Device-to-Device技术传播信息。本文以Device-to-Device移动社交网络为研究对象,首先分析该网络中用户参与信息传播的特点,然后在传染病模型的基础上构建适合此网络特点的信息传播模型,并利用该模型分析真实Device-to-Device环境中的信息传播过程。结果表明,Device-to-Device移动社交网络中的信息传播与基于Internet的社交网络中的信息传播有相似之处;但是,由于Device-to-Device移动社交网络存在较大的传播时延,信息在该网络中需要较长的时间才能达到传播高峰。 展开更多
关键词 信息传播 社交网络 device-to-device通讯 传染病模型
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基于DSP的DeviceNet串行协议转换器的软硬件设计 被引量:1
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作者 王晓娟 欧文 《电测与仪表》 北大核心 2004年第8期45-47,28,共4页
DeviceNet是一种新型现场总线技术。要实现设备到DeviceNet总线系统的集成,串行协议转换器将是一种很好的解决方法。本文介绍了协议转换器的功能,并给出了基于TMS320LF2407A的协议转换器的软硬件设计方法。
关键词 deviceNET总线 DSP 串行协议转换器 软件设计 硬件设计
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DeviceNet电机数据对象协议分析 被引量:1
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作者 刘勇 刘宗野 佟为明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z3期2441-2442,共2页
电机是工业生产中最重要的执行和动力机构,也是总线控制的一个很重要的对象。本文在介绍了DeviceNet协议的基本特点和设备模型的基础上,重点分析了DeviceNet协议的电机控制设备层,并对DeviceNet电机数据对象作了深入研究。相信对研究电... 电机是工业生产中最重要的执行和动力机构,也是总线控制的一个很重要的对象。本文在介绍了DeviceNet协议的基本特点和设备模型的基础上,重点分析了DeviceNet协议的电机控制设备层,并对DeviceNet电机数据对象作了深入研究。相信对研究电机控制的科研人员开发DeviceNet节点会有一定帮助。 展开更多
关键词 deviceNET 电机控制设备层 电机数据对象
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氮化镓基Micro-LED显示技术研究进展 被引量:7
18
作者 蒋府龙 许非凡 +2 位作者 刘召军 刘斌 郑有炓 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第11期2013-2023,共11页
现代社会已经进入信息化并向智能化方向发展,显示是实现信息交换和智能化的关键环节。在目前众多显示技术中,Micro-LED显示技术被认为是具有颠覆性的次世代显示技术,得到学术界与产业界的广泛关注。Micro-LED显示技术是一种新自发光显... 现代社会已经进入信息化并向智能化方向发展,显示是实现信息交换和智能化的关键环节。在目前众多显示技术中,Micro-LED显示技术被认为是具有颠覆性的次世代显示技术,得到学术界与产业界的广泛关注。Micro-LED显示技术是一种新自发光显示技术,具有对比度高、响应快、色域宽、功耗低及寿命长等优点,可以满足高级显示应用的个性化需求。然而目前在Micro-LED显示商业化进程中,依然存在一些技术瓶颈尚未解决。应用于Micro-LED晶圆的外延技术需考虑衬底选择、波长均匀性及缺陷控制等方面因素;Micro-LED器件的效率衰减问题目前依然没有有效的解决途径;此外利用颜色转换媒介实现单片Micro-LED全彩显示技术尚未成熟。本文从以上3个问题点出发,分别综述了Micro-LED显示目前存在的技术问题及研究现状。 展开更多
关键词 氮化镓 micro-led显示 外延 micro-led器件 效率衰减 micro-led全彩显示
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晶圆级Micro-LED芯片检测技术研究进展 被引量:10
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作者 苏昊 李文豪 +6 位作者 李俊龙 刘慧 王堃 张永爱 周雄图 吴朝兴 郭太良 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期582-594,共13页
随着微型氮化镓(GaN)发光二极管(LED)制造工艺的不断进步,Micro-LED显示有望成为新一代显示技术并在近眼显示、大尺寸高清显示器件、柔性屏幕等领域大放异彩。在Micro-LED显示众多技术环节中,晶圆级Micro-LED芯片的检测是实现坏点拦截,... 随着微型氮化镓(GaN)发光二极管(LED)制造工艺的不断进步,Micro-LED显示有望成为新一代显示技术并在近眼显示、大尺寸高清显示器件、柔性屏幕等领域大放异彩。在Micro-LED显示众多技术环节中,晶圆级Micro-LED芯片的检测是实现坏点拦截,提升显示屏良品率、降低整机制造成本的关键环节。针对大数量(百万数量级)、小尺寸(<50μm)的晶圆级Micro-LED芯片阵列,现有的电学检测手段存在检测效率低、成本高等缺点。因此,提高检测效率、提升检测准确度、降低检测成本是晶圆级Micro-LED检测技术的发展趋势。本文首先介绍了晶圆级Micro-LED芯片检测时所需要检测的几个指标,其次详细介绍并分析了现有的或已经提出的检测手段,最后对晶圆级Micro-LED芯片检测技术进行总结并展望了未来技术发展方向。 展开更多
关键词 micro-led 缺陷检测 接触型检测 无接触检测
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无电学接触型氮化镓基Micro-LED器件光电性能 被引量:3
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作者 许海龙 陈孔杰 +4 位作者 陈培崎 周雄图 郭太良 吴朝兴 张永爱 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期1592-1600,共9页
针对传统Micro-LED芯片巨量转移与键合、发光芯片与驱动电极高质量接触等技术难题,本文采用金属有机化合物化学气相沉积和原子层沉积工艺制备无电学接触型氮化镓基Micro-LED器件,研究了器件的伏安特性、亮度-频率特性、发光延迟特性及阻... 针对传统Micro-LED芯片巨量转移与键合、发光芯片与驱动电极高质量接触等技术难题,本文采用金属有机化合物化学气相沉积和原子层沉积工艺制备无电学接触型氮化镓基Micro-LED器件,研究了器件的伏安特性、亮度-频率特性、发光延迟特性及阻抗-频率特性等光电特性,并分析了器件工作机理。实验结果表明,交流驱动的无电学接触型Micro-LED器件的电流随着频率的增大而增大,且I-V特性呈线性关系。在20V_(pp)的驱动信号下,器件亮度随频率的增大先上升后下降,在频率为25 MHz时,器件亮度达到最大,且发光峰值滞后于电流峰值,说明器件的发光存在延迟。器件的等效阻抗随着频率的增大呈现先减小后趋于稳定的趋势,且器件在频率53 MHz附近出现负电容现象。 展开更多
关键词 micro-led器件 氮化镓 无电学接触 交流驱动 光电特性
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