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基于微热流传感器的MEMS振速型矢量水听器
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作者 刘焕颖 郭世旭 赵鹏 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第6期20-27,共8页
文中设计了一种基于微热流原理的振速型MEMS矢量水听器,通过建立敏感单元和水听器封装结构的有限元仿真模型,对敏感单元关键参数和封装结构进行优化设计,开展了一维振速型MEMS水听器研制及测试工作。测试结果表明其在30~400 Hz低频段内... 文中设计了一种基于微热流原理的振速型MEMS矢量水听器,通过建立敏感单元和水听器封装结构的有限元仿真模型,对敏感单元关键参数和封装结构进行优化设计,开展了一维振速型MEMS水听器研制及测试工作。测试结果表明其在30~400 Hz低频段内,有平坦的灵敏度响应,灵敏度为-191.1 dB±2.5 dB(内置前置放大器增益为40 dB),其具有与频率无关的“8”字指向性,在可用频段内,横向抑制比大于34.2 dB。该传感器体积小,低频特性好,无需弹性悬挂安装,可刚性固定。 展开更多
关键词 热流传感器 水下应用 mems矢量水听器
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基于MEMS的微流体机械研究进展 被引量:19
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作者 王沫然 李志信 《流体机械》 CSCD 2002年第4期23-28,共6页
介绍了近十年特别是近三年以来微流动系统研究的最新成果 ,具体介绍了新型微加速度计、微泵、微喷、微阀、微通道及微系统的结构、原理及应用情况 ,并对微流动系统研究中存在的问题和发展方向作了简述。
关键词 mems 微流动系统 微加速度计 微泵 微喷 微阀 微通道
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基于MEMS的流动主动控制技术及其研究进展 被引量:10
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作者 程忠宇 吴学忠 李圣怡 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2005年第4期577-584,共8页
MEMS技术与流动控制技术的结合,使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实,极大地推动了流动主动控制技术的发展。简述了流动主动控制技术的基本原理、关键技术,以及应用MEMS技术实现流动主动控制的机理和途径。介绍了几家国外研... MEMS技术与流动控制技术的结合,使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实,极大地推动了流动主动控制技术的发展。简述了流动主动控制技术的基本原理、关键技术,以及应用MEMS技术实现流动主动控制的机理和途径。介绍了几家国外研究机构近年来在流动主动控制技术领域基于MEMS技术的微传感、微控制和微执行技术及其集成技术的研究进展,以及在三角翼前沿涡控制、减阻研究、发动机喷流控制、细长体背风面分离流控制等方面的应用情况。 展开更多
关键词 流动控制 微机电系统 微传感器 微控制器 微驱动器
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一种AlN基热隔离MEMS阵列风速传感器设计 被引量:10
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作者 赵文杰 施云波 +2 位作者 罗毅 李国龙 周真 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期2819-2824,共6页
采用微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminum nitride,AIN)基热隔离四阵列热流量风速风向传感器,并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0.2 mm的AlN基片上通过光刻剥离工艺和激... 采用微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminum nitride,AIN)基热隔离四阵列热流量风速风向传感器,并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0.2 mm的AlN基片上通过光刻剥离工艺和激光微加工工艺实现2D微结构风速风向传感器制备。传感器由中间加热器、4个温度探测器和1个温度传感器组成,4个温度探测器之间通过激光微加工刻蚀8个热隔离通孔以减少热传导损失,提高有效热流量交换。通过对传感器的ANSYS仿真及性能测试,验证了设计的合理性及工艺的可行性。分析得出采用热隔离通孔可有效提高4个探测器的灵敏度,降低了加热电极的热传导损失,减小了传感器设计尺寸,提高了设计的集成度。传感器测试结果表明:最大角度差为5°,速度误差小于0.5 m/s。加热功耗为120 mW,响应时间仅3 s。 展开更多
关键词 风速传感器 氮化铝 热流量 微机电系统
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MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置 被引量:4
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作者 高杨 代富 +1 位作者 席仕伟 刘婷婷 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第8期109-112,共4页
为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产... 为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真,验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器信号读出与数据采集电路基于内建多路A/D转换器的单片机实现,具有传感器加热电阻器的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能。采用该简易流量测试装置对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定,获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。 展开更多
关键词 微机电系统 气体流量传感器 测试 标定 有限元分析
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MEMS矢量水听器海洋环境适应性研究
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作者 张文栋 张国军 +2 位作者 王盼盼 梁晓琦 纪松祥 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期841-846,1028,共7页
海流、温度及压力等复杂海洋环境因素会对微机电系统(micro-electro-mechanical-system,简称MEMS)矢量水听器正常工作产生干扰,影响其对微弱声信号的拾取能力。首先,建立了基于"三明治"式抗流封装结构数学模型,通过仿真得到... 海流、温度及压力等复杂海洋环境因素会对微机电系统(micro-electro-mechanical-system,简称MEMS)矢量水听器正常工作产生干扰,影响其对微弱声信号的拾取能力。首先,建立了基于"三明治"式抗流封装结构数学模型,通过仿真得到了不同抗流结构参数对海流噪声抑制效果;其次,利用Comsol软件仿真研究了海水温度、水深(静水压强)等变化对MEMS矢量水听器灵敏度的影响;最后,通过试验验证,得出了"三明治"式抗流封装结构具有20 dB以上的抑制流噪声能力,在0~40℃的海水温度范围内MEMS矢量水听器的灵敏度变化量小于±0.5 dB,在0~12 MPa的静水压强范围内灵敏度变化量小于±0.9 dB,与理论分析及仿真结果基本一致。 展开更多
关键词 微机电系统 矢量水听器 流噪声 仿生
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一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器 被引量:1
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作者 郭然 陈德勇 王军波 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第12期1-3,9,共4页
提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅Si... 提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。 展开更多
关键词 谐振式 微流量传感器 电磁激励 低应力富硅氮化硅SiN 有限元耦合场仿真 微机电系统
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QDOT MICRO^(TM)导管两种模式与传统导管功率控制模式对消融损伤灶影响的对比研究
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作者 张念秦 李乐 +9 位作者 陈冠之 夏雨 孟旭 胡志成 刘立旻 吴灵敏 郑黎晖 王虹剑 丁立刚 姚焰 《中国心血管杂志》 北大核心 2024年第4期349-354,共6页
目的探讨QDOT MICRO^(TM)(QDOT)导管两种模式消融效果的安全性,以及与传统导管功率控制(PC)模式相比不同参数设置对消融创痕的影响。方法应用新鲜离体猪心,比较QDOT导管的温度/流速控制(TFC)模式与THERMOCOOL SMARTTOUCHTM SF(STSF)导管... 目的探讨QDOT MICRO^(TM)(QDOT)导管两种模式消融效果的安全性,以及与传统导管功率控制(PC)模式相比不同参数设置对消融创痕的影响。方法应用新鲜离体猪心,比较QDOT导管的温度/流速控制(TFC)模式与THERMOCOOL SMARTTOUCHTM SF(STSF)导管的PC模式在不同消融指数(AI,400、500)分组下的创痕大小和安全性。同时评估QDOT导管的超高功率短时程消融模式(vHPSD)和TFC模式在不同接触压力(5、15和30 g)和不同贴靠角度(0°、45°和90°)分组下的创痕大小和安全性,并对比两种模式在不同消融间距(4 mm和6 mm)分组下创痕的均匀性、连续性和安全性。结果在AI相同时,TFC与PC模式所产生的创痕的深度、表面宽度、最大横径以及体积的差异均无统计学意义(均为P>0.05)。与目标AI为400时TFC模式相比,vHPSD模式所产生创痕的表面宽度和最大横径的差异均无统计学意义(均为P>0.05),但vHPSD模式产生的创痕更浅[(1.95±0.38)mm比(2.72±0.31)mm,P<0.001]、体积更小[(30.35±11.34)mm^(3)比(48.78±19.82)mm^(3),P=0.040]。接触压力对创痕情况影响不显著,各参数差异均无统计学意义(均为P>0.05)。各组创痕表面宽度均在贴靠角度90°时最小,且在目标AI为500的TFC模式组不同贴靠角度导致的创痕表面宽度差异有统计学意义(P=0.027)。此外,消融间距为4 mm时,vHPSD模式和TFC模式均能产生均匀且连续的线状创痕;消融间距为6 mm时,vHPSD模式和目标AI为400的TFC模式组所产生的创痕均不连续,而目标AI为500的TFC模式组产生的创痕具有良好的连续性。应用QDOT导管和STSF导管消融均未产生气爆和焦痂。结论在AI相同时,QDOT导管的TFC模式与STSF导管的PC模式消融效果相似。与TFC模式相比,vHPSD模式产生的创痕深度更浅,体积更小。QDOT导管的TFC模式和vHPSD模式安全性均较高。 展开更多
关键词 射频消融术 QDOT micro^(TM)导管 超高功率短时程 温度/流量控制
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面向呼吸监测的热式气体流量传感器设计 被引量:1
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作者 任帅 胡慧 +2 位作者 张昂 黄祎淼 王涛 《北京理工大学学报》 北大核心 2025年第6期621-628,共8页
为了优化呼吸监测气体流量传感器的体积与精度,基于国产化热式流量测量芯片,设计了一种融合热分布和恒温差模式的高精度、宽量程和快速响应气体流量传感器.首先设计了热式流量测量芯片的驱动放大电路,进行了PCB绘制及加工,使得传感器能... 为了优化呼吸监测气体流量传感器的体积与精度,基于国产化热式流量测量芯片,设计了一种融合热分布和恒温差模式的高精度、宽量程和快速响应气体流量传感器.首先设计了热式流量测量芯片的驱动放大电路,进行了PCB绘制及加工,使得传感器能够在呼吸流量监测范围-200~200 L/min的情况下实现模拟量0.5~4.5 V输出;其次设计了带有支路的气体流道结构及具有良好防水性的封装结构,使得传感器满足医用呼吸监测高湿环境需求;最后完成了整体传感器的装配测试,并对传感器进行了参数标定.实验结果表明,该传感器整机功率为20 mW,流量测量误差低于±1%F.S.,响应时间低于15 ms,线性度低于±3%. 展开更多
关键词 气体流量传感器 微机电系统 热式流量测量 呼吸监测
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适用于真空系统的压电微调阀门流导测试和调节特性研究
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作者 杨传森 郭宇扬 +6 位作者 宋春尧 刘迪 丁双 卢耀文 王欢 齐鲁平 杨轶行 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第8期711-717,共7页
针对真空系统中压电微调阀流导调控稳定性不足的问题,文章设计了一种基于定容法的流导特性测试系统,研究了激励电压幅值、波形及施加历史对典型压电微调阀流导特性的影响。实验结果表明,压电微调阀的流导−激励电压循环曲线存在显著回滞... 针对真空系统中压电微调阀流导调控稳定性不足的问题,文章设计了一种基于定容法的流导特性测试系统,研究了激励电压幅值、波形及施加历史对典型压电微调阀流导特性的影响。实验结果表明,压电微调阀的流导−激励电压循环曲线存在显著回滞效应,降压过程流导值较升压过程均显著偏高,其机制可能与压电陶瓷电畴结构弛豫和残余应力释放的时间依赖性相关。通过预加100 V高电压激励,典型激励电压下的流导值重复性显著提升,说明了预激励可优化电畴结构排列和残余应力分布一致性并降低形变滞后效应。该研究揭示了激励电压施加历史对压电微调阀流导调节性能的关键影响,为提升真空系统压力控制精度提供了实验依据和思路。 展开更多
关键词 压电微调阀 流导 激励电压 压力控制
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非定常激励对低速压气机稳定性影响的数值研究
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作者 刘卓琦 潘天宇 +1 位作者 李宸璋 李秋实 《推进技术》 北大核心 2025年第8期29-37,共9页
非定常主动控制是一种高效的压气机稳定边界拓展方法,明确其稳定性改善机制有利于设计有效的扩稳方案。基于试验设置和结果,使用约化后的1/10圆周计算域,开展失速先兆频率的低速压气机叶尖微喷气的非定常数值模拟,并对比有/无激励、近... 非定常主动控制是一种高效的压气机稳定边界拓展方法,明确其稳定性改善机制有利于设计有效的扩稳方案。基于试验设置和结果,使用约化后的1/10圆周计算域,开展失速先兆频率的低速压气机叶尖微喷气的非定常数值模拟,并对比有/无激励、近失速和失速演化过程的瞬态流场。结果表明:溢流涡是实壁叶尖的关键流动结构,其在通道内的持续快速增长增强前缘溢流并诱发龙卷风涡产生,是实壁失速起始的标志;激励通过改变叶尖局部压力分布和壁面边界条件,增强叶尖中部泄漏流动和壁面剪切,促进叶尖流体周向移动并抑制溢流涡增长,失速起始对应的流量系数减小1.03%,改善稳定性;激励增强前缘溢流,诱导流场内先产生龙卷风涡,后溢流涡在通道内持续增强,二者共同作用,与实壁相比失速后的流场恶化速度更快。 展开更多
关键词 低速压气机 非定常流动控制 叶尖微喷气 失速过程 叶尖泄漏流动 涡动力学
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双足机器人微型液压动力单元设计与控制研究
12
作者 沈丕 董昊臻 +2 位作者 程虎 吴心怡 王迪 《机床与液压》 北大核心 2025年第5期52-57,共6页
液压动力单元是液压双足机器人的核心部件,其小型化、轻量化设计是机器人的重要研究内容之一。针对液压双足机器人,设计一种新型微型液压动力单元。为了控制液压动力单元的输出流量,设计一种基于迭代学习的模糊PI控制器,实现对系统流量... 液压动力单元是液压双足机器人的核心部件,其小型化、轻量化设计是机器人的重要研究内容之一。针对液压双足机器人,设计一种新型微型液压动力单元。为了控制液压动力单元的输出流量,设计一种基于迭代学习的模糊PI控制器,实现对系统流量的精确控制。为了稳定压力并降低流量损耗,设计一种基于模糊控制器的压力补偿策略,提高了系统的性能和效率。最后,根据控制系统的流量内环和压力外环的特点,分别设计了转速、流量、压力实验,以验证模糊系统在转速、压力控制中的作用以及迭代学习在流量控制中的作用。实验结果表明:该微型液压动力单元可靠性强、效率高,可针对需求提供相应的流量和压力。 展开更多
关键词 双足机器人 微型液压动力单元 流量压力控制 模糊控制器
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微型涡流发生器改善S弯喷管流场的实验研究
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作者 刘诗敏 梁华 +2 位作者 李金平 张富垚 马张煜 《推进技术》 北大核心 2025年第2期41-56,共16页
S弯喷管虽然能够提升飞行器隐身性能,但弯曲的几何结构会造成额外的总压损失和低能流体脉动增强的问题,导致飞行器性能降低,因此需要采用流动控制手段改善内部流场。本文将阵列式微型涡流发生器安装在S弯喷管上壁面中心线局部速度最大... S弯喷管虽然能够提升飞行器隐身性能,但弯曲的几何结构会造成额外的总压损失和低能流体脉动增强的问题,导致飞行器性能降低,因此需要采用流动控制手段改善内部流场。本文将阵列式微型涡流发生器安装在S弯喷管上壁面中心线局部速度最大点前侧,研究其在冷态流场中对喷管出口总压损失的控制效果和对上壁面下游流场低频脉动的抑制效果。结果表明:(1)在试验参数下,对于相同高度的微型涡流发生器,安装位置距离局部速度最大点较远时,喷管出口截面总压损失系数更低。(2)落压比为1.2时,安装高度为2.2%喷管入口直径的微型涡流发生器,能够使喷管出口平均总压损失系数相对基准降低8.57%。(3)微型涡流发生器能降低喷管上壁面下游流场的低频脉动,使脉动幅值降低22.8%,提升低能流稳定性。 展开更多
关键词 S弯喷管 微型涡流发生器 总压损失 流动控制 变分模态分解
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电流变阀微观成链特性及流量控制研究
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作者 雷先华 陈星光 +2 位作者 贺沅玮 雷宇茜 庄钰 《机床与液压》 北大核心 2025年第9期168-173,共6页
电流变阀通过电场强度实现阀的流量无级调节,能够很好地实现微型化和机电液一体化,广泛应用于流体控制系统中。针对电流变阀在流量控制中微观成链特性与宏观性能关联机制不明确的问题,研究电流变阀在静/动态场下电场强度、流道尺寸和流... 电流变阀通过电场强度实现阀的流量无级调节,能够很好地实现微型化和机电液一体化,广泛应用于流体控制系统中。针对电流变阀在流量控制中微观成链特性与宏观性能关联机制不明确的问题,研究电流变阀在静/动态场下电场强度、流道尺寸和流速对电流变阀中电流变效应的影响,通过可视化实验清楚描述介电微颗粒的动力学行为和链成型的演变过程,为电流变阀流量控制提供研究依据。结果显示:电场强度增大对链成型和电渗效应有益,但场强过大将产生电离和击穿现象;电流变阀流速直接影响链状结构的牢固程度,耦合场下不能忽略基液的黏性力对介电微粒的影响;静态场下电流变阀流道高度10 mm较5 mm所形成的链结构更完整/紧密,而动态耦合场下5 mm高度流道中链状结构强度好,更具有抵抗流动场的能力;在研究电流变阀流量控制时必须考虑动态耦合场的作用,以达到最优化参数的目的。 展开更多
关键词 电流变阀 微观成链特性 流量控制 耦合场 流道尺寸
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基于结构与冷却融合设计的阵面热控制
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作者 吕士斌 顾林卫 李龙 《舰船科学技术》 北大核心 2025年第13期143-148,共6页
针对舰载/车载阵面内部模块高度集成化、冷却与结构深度耦合的发展趋势,阐述了一种基于结构与冷却融合设计的阵面热控制方案。通过将流体分配器与阵面骨架融合为一体,实现冷却与结构深度耦合;采用阵面骨架分水静压腔设计和额定流量下流... 针对舰载/车载阵面内部模块高度集成化、冷却与结构深度耦合的发展趋势,阐述了一种基于结构与冷却融合设计的阵面热控制方案。通过将流体分配器与阵面骨架融合为一体,实现冷却与结构深度耦合;采用阵面骨架分水静压腔设计和额定流量下流阻匹配技术,实现阵面内各液冷模块流量的精确分配;采用微小流道叠加局部截断的强化传热技术,实现了子阵模块内热流密度为105 W/cm^(2)功率器件的有效散热和同类型主要发热器件的安装表面温度差值不得大于5℃的均温性热控制要求。通过在实装子阵模块嵌装温度传感器,监测冷板表面温度,验证了热控制方案的合理性与可行性。 展开更多
关键词 阵面热控制 流阻匹配 流量分配 微小流道 均温性
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微小流量旋转直驱伺服阀传控特性分析与优化
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作者 陆亮 徐寅鹏 +3 位作者 李梦如 张小洁 凌扬洋 李鸿向 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期805-814,共10页
针对无人机、战术弹、支线民航等小型飞行器航空发动机燃油计量系统与推力矢量系统微小流量的伺服控制需求,就旋转直驱伺服阀偏心球副传动接口与非全周节流阀口等关键结构进行了尺寸约束设计分析,并就节流阀口宽度、球副偏心距以及驱动... 针对无人机、战术弹、支线民航等小型飞行器航空发动机燃油计量系统与推力矢量系统微小流量的伺服控制需求,就旋转直驱伺服阀偏心球副传动接口与非全周节流阀口等关键结构进行了尺寸约束设计分析,并就节流阀口宽度、球副偏心距以及驱动电机转动惯量等重要参数进行了优化分析,给出了伺服阀结构设计的优化区间。在此基础上,研究提出了电机转角与电流双闭环控制方法,幅频响应实测结果与理论分析较为一致,200 Hz以上高频响应满足实际需求,且双闭环控制方法大幅降低了伺服阀响应超调并提升了稳定性。 展开更多
关键词 旋转直驱伺服阀 微小流量 传动与控制 建模分析 设计优化
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基于多级MEKF的微型无人机状态估计 被引量:1
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作者 刘砚菊 李景泉 冯迎宾 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2024年第7期36-43,共8页
针对微型无人机在GPS拒止环境下,低成本惯性测量单元(inertialmeasurement unit,IMU)精度低稳定性差,传统算法难以保障其状态信息解算实时性和精度的问题,提出一种基于IMU和光流传感器融合的多级乘性扩展卡尔曼滤波(multiplicative exte... 针对微型无人机在GPS拒止环境下,低成本惯性测量单元(inertialmeasurement unit,IMU)精度低稳定性差,传统算法难以保障其状态信息解算实时性和精度的问题,提出一种基于IMU和光流传感器融合的多级乘性扩展卡尔曼滤波(multiplicative extended Kalman filter,MEKF)状态估计算法。将磁力计、陀螺仪和加速度计的数据融合以实现姿态估计;利用姿态估计值、加速度和光流数据以实现速度估计;将速度估计值积分融合高度数据,以实现位置估计。实验结果表明,与传统算法相比,该算法能实现更快速可靠的状态估计。 展开更多
关键词 微型无人机 光流传感器 乘性扩展卡尔曼滤波 状态估计
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微型自吸氧直接甲醇燃料电池的阳极极板设计研究 被引量:5
18
作者 钟凌燕 王晓红 +1 位作者 姜英琪 刘理天 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2163-2166,共4页
在体积微型化条件下,极板流场图形的设计对燃料电池的性能优化,尤其是提高面积比功率,具有极其重要的意义.本文设计了不同沟道和沟脊宽度的阳极极板,测试了相应微型自吸氧燃料电池的性能变化.实验结果表明,在沟脊宽度小于沟道宽度的条件... 在体积微型化条件下,极板流场图形的设计对燃料电池的性能优化,尤其是提高面积比功率,具有极其重要的意义.本文设计了不同沟道和沟脊宽度的阳极极板,测试了相应微型自吸氧燃料电池的性能变化.实验结果表明,在沟脊宽度小于沟道宽度的条件下,增加沟道或沟脊宽度都能改善微型燃料电池的性能,但改善幅度随宽度增加而趋缓.当沟道和沟脊宽度等比例变化时,性能随宽度的增加的最优值为600μm,其性能达到了2.87mW/cm2,优于沟道和沟脊均为400μm和800μm的燃料电池的性能. 展开更多
关键词 微型燃料电池 流场图形设计 自吸氧 mems
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用于微量化学分析芯片的微型无阀泵流动特性分析与测试 被引量:5
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作者 谢海波 傅新 杨华勇 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期168-173,共6页
从理论计算、流场仿真和试验三方面研究了用于微流控化学分析芯片的微型无阀泵流动特性 ,初步建立了微型无阀泵流道结构的数学模型 ,重点讨论了结构参数的选取原则及相应的流动阻尼系数的计算方法 ,采用 Matlab针对该数学模型进行了数... 从理论计算、流场仿真和试验三方面研究了用于微流控化学分析芯片的微型无阀泵流动特性 ,初步建立了微型无阀泵流道结构的数学模型 ,重点讨论了结构参数的选取原则及相应的流动阻尼系数的计算方法 ,采用 Matlab针对该数学模型进行了数值计算 ,并进行了 CFD仿真对计算结果进行对比及修正 ,最后通过试验验证了数值计算与仿真的可靠性 ,为微型无阀泵参数化设计及优化提供了理论依据及经验曲线。 展开更多
关键词 mems 电泳 微型无阀泵 流体仿真 流动阻尼 微量化学分析芯片 CFD
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微型二维光流传感器设计 被引量:7
20
作者 张洪涛 张广玉 +1 位作者 李隆球 王林 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期619-623,共5页
针对常规光流传感器或者功能单一,或者尺寸较大,无法应用于对负载和尺寸有严格限制场合的问题,设计了一种微型二维光流传感器。对图像插值光流算法进行了描述和仿真,仿真结果证明该算法有较好的环境适应能力和鲁棒性。对传感器硬件结构... 针对常规光流传感器或者功能单一,或者尺寸较大,无法应用于对负载和尺寸有严格限制场合的问题,设计了一种微型二维光流传感器。对图像插值光流算法进行了描述和仿真,仿真结果证明该算法有较好的环境适应能力和鲁棒性。对传感器硬件结构和软件流程进行了说明,并在自行研发的微型飞行器平台上进行了辅助悬停稳定性实验,结果表明该传感器可以有效减小飞行器的位置漂移,其轻质量和小尺寸适用于微型机器人平台。 展开更多
关键词 微型 二维 光流传感器 图像插值 微型飞行器 悬停
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