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用于MEMS微镜激光跟瞄的扩角镜头研究
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作者 张鹏程 汪洋 +7 位作者 李安娜 黄昊 张程 张家昌 张永贵 王栎皓 刘艺晨 武震宇 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第1期120-130,共11页
MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视... MEMS微镜是小型化激光跟瞄系统的关键组件。系统通过控制MEMS微镜使激光偏转,并由光电探测器收集信号,可以实现对目标的稳定跟踪和瞄准。然而MEMS准静态微镜的扫描视场角较小,这限制了对目标的大视场跟踪能力。为了解决MEMS微镜扫描视场较小的问题,基于伽利略扩角光路,针对小型化、后扫描光路、易加工等需求,设计了一款小型化跟瞄扩角镜头。首先,采用光束发散角和高斯拟合误差等指标,结合光束质量分析仪,对比了激光在扩角前后的光束质量,分析了扩角镜头对光束质量的影响;其次,基于搭建的扩角镜头表征装置,对比理论计算与仿真模型,分析了扩角结果;最后,结合MEMS准静态微镜和扩角镜头,对比了扩角前后的激光扫描图案。实验结果表明:设计的扩角镜头具有约2.88倍的扩角放大率,扩角线性度小于0.7%,且扩角前后激光光束质量无明显变化,扩角后发散全角控制在2 mrad以内。该项研究成果有助于推动小型化MEMS微镜激光跟踪瞄准系统的性能提升。 展开更多
关键词 压电微镜 微机电系统技术 激光跟踪瞄准 扩角镜头 伽利略光路
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引信微光机电系统安全系统研究现状与发展趋势 被引量:1
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作者 张笑 谢晋 +2 位作者 熊壮 张德 代俊 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第1期1-11,共11页
随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MO... 随着引信微小型化和智能化不断发展,电磁兼容性要求不断提升,对其安全系统提出了更高的要求。基于微光机电系统(MOEMS)技术的器件具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和可批量生产等特点,在引信安全系统中有较好的应用前景。对引信MOEMS安全系统的国内外研究现状开展分析,介绍了引信MOEMS安全系统的基本原理,分析了MOEMS安全系统驱动方式、加工与封装工艺、激光起爆技术与安全系统性能测试方法的现状与发展规律,归纳了当前引信MOEMS安全系统研制过程中亟待解决的问题,为推动MOEMS安全系统在火炮引信中的应用提供重要的借鉴。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信安全系统 安全与解除隔离装置 激光起爆
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长波红外差分干涉仪光栅低温安装结构设计与优化
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作者 吴阳 冯玉涛 +2 位作者 韩斌 武俊强 孙剑 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期171-183,共13页
长波红外差分干涉仪在低温工况下会因光学元件受到非均匀应力作用产生干涉条纹的畸变,从而降低干涉仪系统性能。本文为解决低温工况干涉条纹弯曲畸变问题,基于长波红外差分干涉仪光机系统进行了干涉条纹畸变影响因素分析,结合光-机-热... 长波红外差分干涉仪在低温工况下会因光学元件受到非均匀应力作用产生干涉条纹的畸变,从而降低干涉仪系统性能。本文为解决低温工况干涉条纹弯曲畸变问题,基于长波红外差分干涉仪光机系统进行了干涉条纹畸变影响因素分析,结合光-机-热耦合分析方法,对干涉仪系统低温工作状态进行仿真。随后设计了针对影响条纹畸变的关键元件——光栅元件的低温微应力动态稳定支撑安装结构,结构优化后的光栅表面面形均方根(Root Mean Square,RMS)值为3.89×10^(-2) nm,面形峰谷值(Peak to Valley,PV)值为2.21×10^(-1) nm,分别较优化前初始系统的分析结果减小了5个数量级,系统仿真干涉条纹畸变小于1个探测器像元。全系统低温验证试验表明,优化结构可有效抑制干涉条纹畸变,畸变量小于2个探测器像元,试验与仿真计算结果一致性较好,验证了优化分析方法的有效性。该优化方案对提升反射式光学系统结构低温稳定性,提高系统工作能力有较大意义和价值。 展开更多
关键词 微应力装夹 干涉条纹畸变 低温光机结构优化 光-机-热耦合 面形拟合
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微光机电引信芯片光纤抗高过载设计方法
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作者 张笑 谢晋 +2 位作者 曹骏 代俊 张德 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2024年第6期29-36,45,共9页
针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对... 针对微光机电系统(MOEMS)芯片在中大口径榴弹炮引信中的应用需求,提出一种MOEMS封装方法。通过在光纤槽部分设计光纤定位结构,实现光纤的被动对准,光纤对准后在芯片外部使用环氧胶对光纤进行轴向的可靠固定。采用ANSYS Workbench软件对光纤定位结构进行有限元仿真分析,通过力锤试验与高速离心试验完成光纤光路的抗高过载能力测试。仿真与试验结果表明,封装后的光纤光路在勤务处理意外跌落环境与正常发射环境中均能实现光能的稳定传输,对于推动MOEMS技术在中大口径榴弹炮引信中的应用具有一定意义。 展开更多
关键词 微光机电系统 引信 光纤 高过载 封装
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MOEMS陀螺的谐振腔设计 被引量:7
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作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 贺斌 王广龙 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1373-1376,共4页
微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLA... 微光机电(MOEMS)陀螺代表着微型光学陀螺的重要发展方向,而MOEMS谐振腔的设计是谐振式MOEMS陀螺的核心技术.提出了一种新颖的基于微纳米加工技术的MOEMS空间谐振腔结构,介绍了其工作原理和系统构成.建立了谐振腔的数学模型,并利用MATLAB软件对其重要参数进行了仿真计算及分析.为提高谐振腔清晰度及系统测量精度,优化了谐振腔输入输出镜的技术指标,并在此基础上完成了谐振腔的微加工工艺设计.结果表明:所设计的谐振腔清晰度可以达到346,陀螺极限灵敏度为0.25(°)/h,同时可以有效克服克尔效应、背向散射、偏振等光路噪声的影响. 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 陀螺 谐振腔 微镜 微纳米加工
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微型MOEMS阿达玛变换近红外光谱仪 被引量:11
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作者 张智海 莫祥霞 +1 位作者 郭媛君 王伟 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1975-1979,共5页
提出一种运用微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS)闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MO... 提出一种运用微光机电系统(micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS)闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MOEMS闪耀光栅编程,动态生成了63阶阿达玛模版。实验得到的光谱波形与岛津光谱仪测量结果吻合。检测波长范围为900-1 500 nm,分辨率为19 nm,单次扫描时间2.4s,信噪比为44.67∶1,光路尺寸为70 mm×130 mm,总体重量〈1 kg,符合实时、便携的要求。 展开更多
关键词 近红外光谱仪 阿达玛变换 微光机电系统 闪耀光栅
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混合集成微型光纤光谱仪的实验测定 被引量:5
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作者 陈刚 温志渝 +2 位作者 温中泉 蒋子平 黄尚廉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1232-1237,共6页
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm... 文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。 展开更多
关键词 反射式混合集成微型光纤光谱仪 结构 实验测试 微型光机电系统 光电阵列探测器
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微型光电机械系统技术在光通信中的应用及展望 被引量:7
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作者 潘武 钟先信 党明瑞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第2期1-7,共7页
通信是微型光电机械系统技术的一个非常重要的应用领域。本文从光交换技术、光连接技术、光开关、光调制器、滤波器、微光学组装技术、微型激光器等多个方面介绍了微型光电机械系统技术在光通信中的应用情况,并对微光机电系统技术的发... 通信是微型光电机械系统技术的一个非常重要的应用领域。本文从光交换技术、光连接技术、光开关、光调制器、滤波器、微光学组装技术、微型激光器等多个方面介绍了微型光电机械系统技术在光通信中的应用情况,并对微光机电系统技术的发展作了展望。 展开更多
关键词 微型光电机系统 光通信 MOEMS 通信
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基于MEMS的数字式太阳敏感器光学系统设计 被引量:8
9
作者 魏新国 江洁 +2 位作者 温志明 张广军 樊巧云 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1361-1366,共6页
为数字式太阳敏感器设计了一种光学系统。从标量的菲涅尔-基尔霍夫衍射理论出发,建立了圆孔结构数字式太阳敏感器的光学系统成像模型,在计算机上实现光学系统的数值仿真,并根据数值仿真的结果进行了光学系统参数的设计。该光学系统参数... 为数字式太阳敏感器设计了一种光学系统。从标量的菲涅尔-基尔霍夫衍射理论出发,建立了圆孔结构数字式太阳敏感器的光学系统成像模型,在计算机上实现光学系统的数值仿真,并根据数值仿真的结果进行了光学系统参数的设计。该光学系统参数为:距离4 mm,圆孔半径50μm,孔间距700μm。针对所设计的光学系统,利用太阳模拟器完成了地面实验。实验结果表明,光学系统设计合理,能满足微小卫星对敏感器小型化、高精度的要求。 展开更多
关键词 数字式太阳敏感器 光学系统 衍射 MEMS
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微型光纤磁传感器的设计与制作 被引量:13
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作者 龙亮 钟少龙 +1 位作者 徐静 吴亚明 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2294-2302,共9页
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和... 提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。 展开更多
关键词 光纤传感器 磁传感器 微机电系统 光纤检测 磁性薄膜
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微光学机电系统的发展和应用 被引量:4
11
作者 傅丹鹰 殷纯永 乌崇德 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第4期7-14,共8页
论述了微光学机电系统(MOEMS)的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理,对其发展和应用前景进行讨论。
关键词 微光学机电系统 微机械 MEMS MOEMS 结构工艺
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新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制 被引量:5
12
作者 贾书海 李以贵 +4 位作者 杨春生 赵小林 丁桂甫 张琛 蔡炳初 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1004-1006,共3页
设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采... 设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。 展开更多
关键词 微机电系统 微电磁驱动器 微细加工 光开关
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基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术 被引量:4
13
作者 金翠云 靳世久 +2 位作者 栗大超 冯亚林 郝一龙 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期248-252,共5页
为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结... 为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求. 展开更多
关键词 微机电系统 机器微视觉 动态测试 模糊图像 光学检测 亚像素
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基于Fabry-Perot干涉仪的闭环微光机电加速度计 被引量:3
14
作者 冯丽爽 刘惠兰 +1 位作者 林恒 张春熹 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期691-694,共4页
设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量... 设计了一种闭环反馈差动式双FP腔的微光机电(MOEMS)加速度计,介绍了其工作原理及系统构成.利用惯性敏感单元将对载体加速度的测量转变为对载体位移的测量,利用光纤自聚焦透镜的端面与质量块组成的FP腔测量载体位移.为了提高系统的测量灵敏度和抑制温度等环境因素的影响,设计了一种差动式双FP腔测量机构.为提高微加速度计的输出线性度和动态测量范围,提出了采用静电力平衡技术构成闭环加速度计.建立了其数学模型,对所设计的加速度计重要参数指标———灵敏度、敏感头受载、固有频率等一一进行了详细计算和分析.在此基础上完成了设计背景要求下加速度计参数的优化设计,结果表明:该系统精度可以达到5×10-6g以上. 展开更多
关键词 微光机电系统 加速度计 法布里-珀罗干涉仪 闭环
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微机电系统光学组件的系统级建模 被引量:3
15
作者 李晓莹 李慧敏 +2 位作者 常洪龙 何洋 焦文龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1069-1075,共7页
为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束... 为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真。首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论。接着,以微平面镜为例,介绍了光学组件系统级建模方法的流程。最后,采用Verilog-A硬件描述语言建立了包含多个典型光学组件的系统级光学库。使用该库的光学组件在MEMS集成设计工具MEMS Garden中搭建微扫描系统进行了仿真与测试。与商业软件CoventorWare的分析结果相比,提出的建模方法解决了扫描盲区问题,且非差分电压分析的误差小于3%。结果显示,本文提出的建模方法精确有效,对MEMS的系统级设计有参考价值。 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 光学组件 建模 Verilog-A硬件描述语言
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光传送网中光开关器件的进展 被引量:4
16
作者 谢世钟 陈明华 王国忠 《中兴通讯技术》 2002年第4期13-17,共5页
随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开... 随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。 展开更多
关键词 光传送网 光开关器件 光联网 光微电机械开关 多功能集成 波分复用
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一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作 被引量:6
17
作者 冯飞 焦继伟 +1 位作者 熊斌 王跃林 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期125-130,共6页
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双... 提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双材料体系的理论分析 ,得出了可动微镜的最大热 机械灵敏度、机械 光灵敏度及其温度响应分别为 6 .4 7× 10 -9m/K、1.5 3× 10 8m-1、2 .0 5× 10 -4.对系统噪声分析表明 :在目前的设计中 ,系统的噪声等效温差 (NETD)为 5 .1K ,而其极限值有望达到 5 8mK .采用体硅MEMS工艺 ,制作出了 5 0× 5 0的Fabry Perot微腔列阵 .实验表明 ,在红外辐射作用下 ,可动微镜有明显的位移 。 展开更多
关键词 徽电子机械技术 法布里-泊罗微腔红外探测器列阵 噪声等效温差 光读出热成像 机械-光灵敏度 热-机械灵敏度
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可调光衰减器的光衰减量线性补偿 被引量:5
18
作者 曹钟慧 晏辉鸣 吴兴坤 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期826-829,共4页
设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器 与传统可调光衰减器相比 ,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节 ,并且可通过器件结构的优化设计 ,对光衰减量的非线性进行补偿 ,最终得到线性衰减 器件性能测试表明 ,插入损耗... 设计制成一种数字化电磁驱动微机械MOEMS可调光衰减器 与传统可调光衰减器相比 ,该器件不仅可实现光衰减量数字化电控调节 ,并且可通过器件结构的优化设计 ,对光衰减量的非线性进行补偿 ,最终得到线性衰减 器件性能测试表明 ,插入损耗IL <0 .3dB ,偏振相关损耗PDL <0 .1dB ,波长相关损耗WDL <0 .2dB ,衰减范围 0~ 4 0dB ,回波损耗RL >5 展开更多
关键词 微光机电系统(MOEMS) 可变光衰减器 电磁驱动 微位移驱动器
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外露式星载光机电设备热设计的间接验证 被引量:2
19
作者 刘绍然 刘百麟 +1 位作者 罗志涛 杨清波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期1741-1748,共8页
星载光机电设备兼有光学系统和运动机构的特点,前者温度指标要求高,后者构型复杂并且相对星体其他部分运动,这给热设计的验证带来困难。文章以光机电设备激光通信终端为例,提出了热设计的间接验证方法,即通过地面试验数据修正热分析模... 星载光机电设备兼有光学系统和运动机构的特点,前者温度指标要求高,后者构型复杂并且相对星体其他部分运动,这给热设计的验证带来困难。文章以光机电设备激光通信终端为例,提出了热设计的间接验证方法,即通过地面试验数据修正热分析模型、再由热分析模型预示在轨温度,进而验证热设计。设计了热平衡试验,并根据试验结果修正了模型,修正后的试验模型计算结果与试验结果基本一致,81%的测温点偏差小于5℃,模型较好地反映了真实的热物理状态,其预示的在轨温度可用于验证热设计。对比了轨道计算温度与飞行温度,81%的测温点偏差小于4℃,证明了间接验证方法的正确和有效,满足星载激光通信终端的应用要求。所述的验证方法显著降低了热试验的难度,对多姿态与高温度指标的光机电设备具有借鉴意义。 展开更多
关键词 光机电设备 激光通信 热平衡试验 热模型修正
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高灵敏硅凹槽膜片型光纤F-P局部放电超声传感器 被引量:13
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作者 张丽娜 黄怿 +3 位作者 汪良杰 李群 郝宝欣 王廷云 《电力工程技术》 北大核心 2023年第5期2-9,共8页
文中设计并制备了一种硅凹槽膜片型光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)超声传感器,用于电力设备局部放电检测。采用有限元软件优化设计传感膜片的凹槽参数,与传统圆形膜片相比,硅凹槽膜片的静态灵敏度提升4.09倍且谐振频率基本不变。通... 文中设计并制备了一种硅凹槽膜片型光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)超声传感器,用于电力设备局部放电检测。采用有限元软件优化设计传感膜片的凹槽参数,与传统圆形膜片相比,硅凹槽膜片的静态灵敏度提升4.09倍且谐振频率基本不变。通过耦合效率修正传统双光束干涉模型,研究F-P腔长对传感器干涉光谱对比度的影响,以提升传感器的声压灵敏度。利用微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)制备硅凹槽膜片,其凹槽直径为829.44μm,厚度为2.09μm,F-P腔长为163.600μm。在谐振频率61.5 kHz处,传感器声压灵敏度可达357.78 mV/Pa,并结合气体绝缘开关(gas insulated switchgear,GIS)局部放电缺陷模型对传感器性能进行验证。实验结果表明,文中所制备的光纤F-P超声传感器具有声压灵敏度高、实时性好、超声信号检测能力强等优点。 展开更多
关键词 光纤传感器 法布里-珀罗(F-P) 凹槽膜片 微机电系统(MEMS) 局部放电 超声检测
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