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运用研磨和化学机械抛光技术制备高品质的石英薄膜 被引量:2
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作者 曾毅波 刘畅 +2 位作者 陈观生 赵祖光 郭航 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期1-6,共6页
石英薄膜的质量是决定各种石英基底的微纳器件品质高低的关键所在。阐述如何运用研磨和化学机械抛光CMP(Chemical&Mechanical Polishing)技术获得高品质石英薄膜的方法。由于石英属于高硬度材料,选用金刚石研磨液和球墨铸铁研磨盘... 石英薄膜的质量是决定各种石英基底的微纳器件品质高低的关键所在。阐述如何运用研磨和化学机械抛光CMP(Chemical&Mechanical Polishing)技术获得高品质石英薄膜的方法。由于石英属于高硬度材料,选用金刚石研磨液和球墨铸铁研磨盘对石英衬底进行研磨,以获得较高的研磨速率和较好的研磨后的表面粗糙度。在石英CMP中,采用特殊的"两步抛"工艺,对衬底进行抛光。第一步粗抛抛光液采用金刚石颗粒直径为0.3μm的研磨液与SiO2颗粒直径为50 nm的抛光液相混合,第二步精抛只采用SiO2的抛光液。实验结果表明,采用上述技术,可以获得高品质的石英薄膜,厚度为(25.1±3.2)μm,表面粗糙度约为0.89 nm(RMS)。 展开更多
关键词 微机电系统MEMS(microelectromechanical systems) 石英薄膜 研磨 CMP
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Robust fault detection filter and its application in MEMS-based INS/GPS 被引量:2
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作者 Jing Shi Lingjuan Miao Maolin Ni 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2011年第1期113-119,共7页
Since any disturbance and fault may lead to significant performance degradation in practical dynamical systems,it is essential for a system to be robust to disturbances but sensitive to faults.For this purpose,this pa... Since any disturbance and fault may lead to significant performance degradation in practical dynamical systems,it is essential for a system to be robust to disturbances but sensitive to faults.For this purpose,this paper proposes a robust fault-detection filter for linear discrete time-varying systems.The algorithm uses H∞ estimator to minimize the worst possible amplification from disturbances to estimate errors,and H_ index to maximize the minimum effect of faults on the residual output of the filter.This approach is applied to the MEMS-based INS/GPS.And simulation results show that the new algorithm can reduce the effect of unknown disturbances and has a high sensitivity to faults. 展开更多
关键词 integrated navigation inertial navigation system(INS) micro electro mechanical system(MEMS) fault detection robustness.
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基于MEMS加速度计的强振动记录黑匣子的设计 被引量:2
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作者 李道忠 吴雄伟 +1 位作者 陈志高 杨建 《大地测量与地球动力学》 CSCD 北大核心 2010年第B11期126-128,共3页
设计基于MEMS加速度传感器的一种强震记录黑匣子,采用SOC系列C8051F005型单片机对MEMS加速度传感器的输出信号进行A/D转换,记录该设备安装点位所经受的强振加速度值,并通过LCD16032显示一分钟内的振动加速度峰值。该系统具有体积小、安... 设计基于MEMS加速度传感器的一种强震记录黑匣子,采用SOC系列C8051F005型单片机对MEMS加速度传感器的输出信号进行A/D转换,记录该设备安装点位所经受的强振加速度值,并通过LCD16032显示一分钟内的振动加速度峰值。该系统具有体积小、安装与操作方便、免维护等特性。 展开更多
关键词 MEMS(microelectromechanical systems) 强振动 数据采集 SD(Secure Digital)卡
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