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题名用短相干光源测量平行平板玻璃的光学均匀性
被引量：3
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作者
王军
陈磊
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机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2515-2519,共5页
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基金
江苏省"六大人才高峰"项目(06-E-030)资助
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文摘
为了解决传统干涉绝对测量法不能测量前后表面平行度很好的光学玻璃和晶体均匀性问题,提出了在以短相干光为光源的泰曼-格林干涉仪上,通过调整参考光路的光程,使被测样品的前后表面分别处在零光程差位置,这样从样品两面反射回来的光就不会同时满足和参考光相干涉的条件,从而解决了前后面的反射光干涉混叠问题.用虚光栅移相莫尔条纹法处理采集到的干涉图,得到位相数据,代入绝对测量法的计算公式,得出待测样品的折射率分布.对厚度为13mm、口径为75mm的光学平板玻璃进行测量.结果表明,光学均匀性检测准确度可达到2.6×10-6,被测样品折射率偏差的峰谷值为Δnpv=6.06×10-6,均方根值为Δnrms=8.96×10-7.
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关键词
光学精密测量
光学均匀性
短相干光
虚光栅移相莫尔条纹法
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Keywords
Measurement and metrology
homogeneity
Low coherence light
Virtual grating phase- shifting moire fringe method
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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题名高质量莫尔条纹信号的提取
被引量：13
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作者
邓文和
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机构
中国科学院光电技术研究所
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1990年第3期8-19,28,共13页
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文摘
本文分析了影响光栅信号质量的主要因素,指出了获得高质量光栅信号的途径,提出了一般设计方法及各参数的选择。文中给出的实验测试结果成功地用于JC-1型精密测角仪中。
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关键词
测角仪
莫尔条纹
信号提取
光栅
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Keywords
moire fringes,System design,Circular gratings, metrology gratings, Goniometers, error analysis
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分类号
TH741.2
[机械工程—光学工程]
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题名检测计量光栅均匀性误差的探讨
被引量：2
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作者
杨进堂
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机构
中国科学院长春光学精密机械研究所
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出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996年第2期109-113,共5页
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文摘
叙述了统一计量光栅均匀性误差的检测方法．采用莫尔条纹对比度系数，将均匀性误差百分比表示转换成位移值表示．最后对影响均匀性误差的因素作了讨论．
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关键词
计量光栅
均匀性误差
莫尔条纹
对比度
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Keywords
metrology gratings,homogeneity error,contrast of moire fringe
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分类号
TH741.6
[机械工程—光学工程]
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