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金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工被引量：6: 1; 作者刘柱方蒋利民 +4 位作者汤儆刘品宽孙立宁田中群田昭武《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期227-230,共4页; 运用约束刻蚀剂层技术 (CELT)在金属铜 (Cu)表面实现了三维微图形加工 ,取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。采用规整的三维齿状结构为模板 ,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。采... 展开更多; 关键词约束刻蚀剂层技术(CELT) 金属铜三维微加工化学刻蚀; 在线阅读下载PDF 职称材料

金属的电化学微区刻蚀方法被引量：3: 2; 作者蒋利民田中群 +3 位作者刘柱方毛秉伟黄海苟孙建军《电化学》 CAS CSCD 2002年第2期139-147,共9页; 本文概述了现行的金属微区刻蚀方法并详细地介绍几种电化学刻蚀方法 ,比较了掩膜法、扫描电化学显微镜法、约束刻蚀剂层法、电化学扫描遂道显微镜法和超短电位脉冲法各自的特点 .从加工精度 (能否进行微米和纳米级加工 )、加工效率 (工... 展开更多; 关键词金属电化学刻蚀约束刻蚀剂层技术微加工; 在线阅读下载PDF 职称材料

镍表面三维微图形的复制加工被引量：2: 3; 作者刘柱方蒋利民 +5 位作者汤儆张力田中群田昭武刘品宽孙立宁《电化学》 CAS CSCD 2004年第3期249-253,共5页; 　运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属镍(Ni)表面实现三维微图形加工,以规整的三维齿状微结构作模板,获得可有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系,在Ni表面得到了与齿状结构互补的三维微结构并应用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)... 展开更多; 关键词镍三维微图形复制加工约束刻蚀剂层技术化学刻蚀捕捉体系微系统技术; 在线阅读下载PDF 职称材料