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题名薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析
被引量：2
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作者
汤亮
郝震宏
乔东海
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机构
中国科学院声学研究所微机电实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期1911-1916,1919,共7页
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基金
国家自然科学基金资助课题(90607012)
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文摘
主要利用Mason等效电路模型对加入介质声损耗的薄膜体声波谐振器输入阻抗公式进行了推导,并利用该结果对薄膜体声波谐振器的谐振特性进行了模拟分析,分别就不同压电层材料和厚度以及不同电极材料和厚度对薄膜体声波谐振器谐振特性的影响进行了详细分析.结果表明,薄膜体声波谐振器谐振频率主要由压电材料和厚度决定但电极的影响也是很大的.在制作高频FBAR器件(5GHz以上)时,采用氮化铝作压电材料比用氧化锌作压电材料更合适.
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关键词
薄膜体声波谐振器(FBAR)
mason等效电路模型
微波振荡器
双工器
射频微机电系统
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Keywords
film bulk acoustic resonator （FBAR）
mason equivalent circuit model
microwave oscillator
duplexer
RF-MEMS
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分类号
TN015
[电子电信—物理电子学]
TN454
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于ADS的声表面波单端对谐振器建模
被引量：2
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作者
朱琳
李锵
刘开华
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机构
天津大学电子信息工程学院
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第2期169-172,共4页
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文摘
声表面波(SAW)滤波器的设计需对单端对谐振器建模。该文提出了一种新的基于ADS线性矩阵模型的声表面波单端对谐振器模型,并给出了主要参数的推导过程。借助新模型成功设计了一个中心频率为1GHz、带宽为30MHz的声表面波带通滤波器,其插入损耗小于4dB,带外抑制大于30dB。设计过程表明,采用新模型设计声表面波滤波器可做到操作性强、简单、快捷。
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关键词
声表面波滤波器(SAWF)
单端对谐振器
mason等效电路
ADS
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Keywords
SAW filter
one-port resonator
mason equivalent circuit
ADS
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分类号
TN722
[电子电信—电路与系统]
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