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快响应薄膜式高压锰铜传感器 被引量:2
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作者 杜晓松 杨邦朝 王卉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期98-100,共3页
本文采用磁控溅射技术制作了新型的薄膜式锰铜超高压力传感器 ,获得了 32 ns的快速响应 ,同时 。
关键词 锰铜传感器 薄膜 响应时间 压力测试 冲击加载测试
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薄膜式锰铜传感器——一种新型的超高压力传感器 被引量:8
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作者 杜晓松 杨邦朝 王卉 《仪表技术与传感器》 EI CSCD 北大核心 2000年第1期4-7,共4页
文中综述了动态高压锰铜传感器最近十多年来的研究现状,着重介绍了一类新型的锰铜传感器———薄膜式锰铜传感器的研发进展。该类传感器的研制旨在提高传感器高压测试极限和缩短响应时间。目前已进行了直到80GPa以下的初步标定。
关键词 锰铜传感器 压力传感器 超高压力测量
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