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氙气离子推力器束流等离子体特征参数的Langmuir单探针诊断被引量：8: 1; 作者张尊汤海滨《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1602-1608,共7页; 离子推力器和航天器的成功整合,需要对羽流-航天器之间可能的相互作用进行全面的评估。为了给二者的整合提供实验依据,设计使用了Langmuir单探针测试系统,对氙气离子推力器束流等离子体参数的空间分布进行了诊断研究。实验中使用栅极表... 展开更多; 关键词离子推力器束流等离子体 langmuir单探针悬浮电位空间电位电子温度离子浓度; 在线阅读下载PDF 职称材料

溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断被引量：1: 2; 作者李洪涛蒋百灵 +3 位作者杨波曹政郭维华焦栋茂《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期476-480,共5页; 为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流辉光放电等离子体进行了诊断,分析了直流辉光放电等离子体参量（离子密度、离子流通量、等离子体电势、电... 展开更多; 关键词磁控溅射 langmuir探针等离子体离子密度电子密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于数据采集系统的等离子体Langmuir探针诊断实验被引量：1: 3; 作者李阿红鄢扬 +2 位作者王彬高昕艳谢文楷《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1301-1305,共5页; 采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合,实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果。本数据采集系统是一个虚拟仪器系统,包括数据采集、分析测试和结果显示三部分,用来采集Langmuir探针的电流电压信号,并加以分析... 展开更多; 关键词 langmuir探针等离子体电子温度离子密度数据采集系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子回旋共振离子源等离子体的密度测量被引量：1: 4; 作者袁宇飞蒙林 +2 位作者周长庚胡永宏张钦龙《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2095-2098,共4页; 诊断电子回旋共振离子源等离子体的传统方法是采用传统的单探针无发射时测量伏安曲线,并根据曲线的拐点由理论公式计算出的等离子体密度。本文设计并研制了等离子体密度的测量装置。采用单根朗缪尔探针(该探针可以用来发射电子)测量等... 展开更多; 关键词电子回旋共振离子源等离子体密度朗缪尔探针等离子体电势离子束流; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究被引量：1: 5; 作者高璇辛煜 +1 位作者黄晓江宁兆元《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期504-508,共5页; 等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随... 展开更多; 关键词微感应耦合等离子体朗谬尔探针发射光谱离子密度电子温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响: 6; 作者张志辉宁兆元《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期565-569,共5页; 电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56... 展开更多; 关键词电感耦合等离子体容性耦合等离子体郎缪尔探针离子密度电子温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氙气离子推力器束流等离子体特征参数的Langmuir单探针诊断被引量：8: 1; 作者张尊汤海滨; 机构北京航空航天大学; 出处《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1602-1608,共7页; 基金国家自然科学基金(51276006) 预研基金项目(9140A20050312HK0102)~~; 文摘离子推力器和航天器的成功整合,需要对羽流-航天器之间可能的相互作用进行全面的评估。为了给二者的整合提供实验依据,设计使用了Langmuir单探针测试系统,对氙气离子推力器束流等离子体参数的空间分布进行了诊断研究。实验中使用栅极表面向外凸出的双栅极Kaufman型离子推力器,真空舱的背景压强为3mPa。与传统静态等离子体不同的是:离子推力器束流等离子体具有很大的定向速度,致使探针电流大幅增加,所以传统静态等离子体条件下的I-V(电流-电位)曲线的解释需要重新考虑并进行适当修正。为了尽量减少定向流对离子饱和电流的影响,实验中选择将Langmuir探针与推力器轴线平行放置。实验结果表明:离子推力器的束流等离子体的悬浮电位、空间电位、离子浓度的变化趋势相似,不同径向位置处的各参数都随着轴向距离的增加而减小。分布图中存在一些参数值较低的特殊点,是因为这些测点并没有位于等离子体束流区域内。通过这些特殊点的轴向和径向坐标,可估计出推力器的束流发散角(16.014°)、栅极半径(在71.3～111.3mm范围之内)、束流形状。; 关键词离子推力器束流等离子体 langmuir单探针悬浮电位空间电位电子温度离子浓度; Keywords ion thruster beam plasma single langmuir probe floating potential spacial potential electron temperature ion density; 分类号 V439 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断被引量：1: 2; 作者李洪涛蒋百灵杨波曹政郭维华焦栋茂; 机构西安理工大学材料学院广西大学材料学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期476-480,共5页; 基金陕西省重点学科建设专项资金西安理工大学优博基金(101-210905)资助项目; 文摘为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流辉光放电等离子体进行了诊断,分析了直流辉光放电等离子体参量（离子密度、离子流通量、等离子体电势、电子密度、电子温度）的变化规律,并以此为依据探讨了其对Si靶溅射过程和溅射Si粒子输运过程的影响。结果表明：不同靶电流下,距靶面3 cm处等离子体参量中离子密度、离子流通量和电子密度均随靶电流的增大而增大;靶电流为0.5A时,在靶基距从4 cm增大至21 cm过程中,离子密度和离子流通量先增大后减小,均在9 cm处出现峰值;靶基距恒为12 cm时,随氢气流量的增大,离子密度和离子流通量均增大（除氢气流量为45 ml/min（标准状态）时有所下降）。上述各参数下电子温度的变化波动性较大,但电子能量均在15 eV,即高能电子所占比例极小。; 关键词磁控溅射 langmuir探针等离子体离子密度电子密度; Keywords magnetron sputtering； langmuir probe； plasma； ion density； electron density；; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于数据采集系统的等离子体Langmuir探针诊断实验被引量：1: 3; 作者李阿红鄢扬王彬高昕艳谢文楷; 机构电子科技大学物理电子学院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1301-1305,共5页; 基金国家自然科学基金项目(60401006 60671031); 文摘采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合,实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果。本数据采集系统是一个虚拟仪器系统,包括数据采集、分析测试和结果显示三部分,用来采集Langmuir探针的电流电压信号,并加以分析处理。整个测试过程非常快,可以在ms级的时间内完成,相对于手动测试,基于数据采集系统的Langmuir探针诊断实验得到的数据更为精确,电压测试范围更大,并能去除因为等离子体电位漂移而产生的曲线失真。根据所得的伏安曲线,讨论了等离子体的电子温度,离子密度等参数的计算方法。进一步研究发现电子温度随真空室气压增大而变小,离子密度随气压增大而变大。; 关键词 langmuir探针等离子体电子温度离子密度数据采集系统; Keywords langmuir probe plasma electron temperature ion density Data acquisition system; 分类号 O536 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子回旋共振离子源等离子体的密度测量被引量：1: 4; 作者袁宇飞蒙林周长庚胡永宏张钦龙; 机构电子科技大学物理电子学院中国工程物理研究院核物理与化学研究所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2095-2098,共4页; 基金国家863计划项目资助课题; 文摘诊断电子回旋共振离子源等离子体的传统方法是采用传统的单探针无发射时测量伏安曲线,并根据曲线的拐点由理论公式计算出的等离子体密度。本文设计并研制了等离子体密度的测量装置。采用单根朗缪尔探针(该探针可以用来发射电子)测量等离子体的伏安特性。在探针有发射和无发射两种状态下测量得到两条伏安曲线,根据这两条曲线的"分叉点"得到等离子体电位,然后根据该电位直接由计算机计算出电子温度、电子密度。采用该新方法,测量得到的等离子体参量空间电位约为17 V,悬浮电位约为-5 V,电子温度约为4.4 eV,离子密度为1.10×1011cm-3,与传统方法计算出的等离子体1.12×1011cm-3相比,两者相差仅1.8%,但新方法效率和精度更高。; 关键词电子回旋共振离子源等离子体密度朗缪尔探针等离子体电势离子束流; Keywords electron cyclotron resonance ion source plasma density langmuir probe plasma potential ion current; 分类号 O536 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究被引量：1: 5; 作者高璇辛煜黄晓江宁兆元; 机构苏州大学物理科学与技术学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期504-508,共5页; 基金国家自然科学基金项目资助(No.10775103); 文摘等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降。利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升。; 关键词微感应耦合等离子体朗谬尔探针发射光谱离子密度电子温度; Keywords Miniaturizde inductively coupled plasma, langmuir probe, Optical emission spectroscopy, ion density, electron temperature; 分类号 O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响: 6; 作者张志辉宁兆元; 机构苏州大学物理科技学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期565-569,共5页; 基金国家自然科学基金项目(11075114); 文摘电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56 MHz)耦合等离子体;3电感(13.56 MHz)耦合增强的双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体。通过研究电感耦合放电对容性耦合放电的影响,以及电感耦合功率、混合气体比例等宏观参量对等离子体特性的影响,获得材料处理的最佳条件。实验发现当气压是5Pa时:1双频容性耦合等离子体密度是1010 cm-3左右,极板边缘处等离子体密度较低,中心处较高。随着氩气比例增加,等离子体密度提高,电子温度降低。2电感耦合等离子体放电,随着氩气比例增加,等离子体密度增大。当氩气比例增加到70%,等离子体密度发生数量级改变,高于双频容性耦合等离子体。3电感耦合增强的双频容性耦合等离子体密度较高,当氩气比例是80%,容性电感耦合功率200 W时,组合放电等离子体密度最高,均匀性较好,电子温度升高,径向差别不大。通过实验得出,当氩气比例为80%,容性高低频功率分别为150和50 W,电感耦合功率是200 W时,双频(60,13.56 MHz)与电感(13.56 MHz)组合放电可以获得高密度均匀的等离子体。; 关键词电感耦合等离子体容性耦合等离子体郎缪尔探针离子密度电子温度; Keywords ICP Capacitively coupled plasma langmuir probe ion density electronic temperature; 分类号 O536 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	氙气离子推力器束流等离子体特征参数的Langmuir单探针诊断	张尊汤海滨	《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断	李洪涛蒋百灵杨波曹政郭维华焦栋茂	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于数据采集系统的等离子体Langmuir探针诊断实验	李阿红鄢扬王彬高昕艳谢文楷	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	电子回旋共振离子源等离子体的密度测量	袁宇飞蒙林周长庚胡永宏张钦龙	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究	高璇辛煜黄晓江宁兆元	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响	张志辉宁兆元	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料