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倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用被引量：2: 1; 作者邓国庆赵南京 +1 位作者朱志强张玉亮《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期18-20,共3页; 本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析。; 关键词准分子激光器脉冲压缩放电电路激励电路开关高重复率电源电激紧凑型反转; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新颖钛宝石激光器电源电路被引量：2: 2; 作者赵南京邓国庆张玉亮《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期569-571,共3页; 介绍了一种灯抽运钛宝石激光器电源充放电电路。利用脉冲能量进行变压器升压式充电 ,用磁脉冲压缩开关替代了传统灯抽运钛宝石激光器电源中的放电开关闸流管 ,并对整个电路的工作过程进行了分析。; 关键词脉冲变压器式充电磁脉冲压缩开关闸流管钛宝石激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁脉冲开关在准分子激光器中的应用被引量：4: 3; 作者余吟山方晓东 +4 位作者汪建业张志平李会高月风李广寅《量子电子学》 CSCD 1995年第4期372-376,共5页; 本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结果。实验表明，磁脉冲庄缩开关有效地压缩电流脉冲宽度，对激励电路中的闸流管起到保护作用。; 关键词磁脉冲压缩开关闸流管准分子激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

准分子激光器中磁脉冲压缩技术的研究被引量：2: 4; 作者周卫东余吟山《量子电子学报》 CAS CSCD 1997年第2期157-161,共5页; 本文从实用准分子激光放电要求出发，研究了适用于准分子激光器的磁脉冲压缩器，分析了其工作过程，并对其设计构思、设计参数进行了分析和计算。; 关键词磁脉冲压缩器设计准分子激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

ROGOWSKI线圈在磁脉冲压缩准分子激光器中的应用被引量：1: 5; 作者张玉亮耿辉方晓东《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期16-17,共2页; 介绍了磁脉冲压缩器在准分子激光器中的基本工作原理、磁性材料的计算公式和磁脉冲压缩器的参数结构设计,给出了使用了磁脉冲压缩器的准分子激光器的放电过程,并且使用自制的ROGOWSKI线圈测量了不同放电电压时的实际放电过程中的闸流管... 展开更多; 关键词 ROGOWSKI线圈磁脉冲压缩准分子激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁脉冲压缩开关在钛宝石激光器中的应用分析: 6; 作者赵南京邓国庆张玉亮《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期39-42,共4页; 首次提出了将磁脉冲压缩开关应用于钛宝石激光器中,由磁脉冲压缩开关和闸流管组合作为放电开关。给出了一种新型的灯泵钛宝石激光器电源放电电路,并对磁脉冲压缩开关应用的原理及在激光器激励电路中的工作过程进行了分析。; 关键词激光技术磁脉冲压缩开关闸流管钛宝石激光器; 在线阅读下载PDF 职称材料

全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用被引量：4: 7; 作者游利兵程超方晓东《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期110-118,共9页; 简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EUV光源中的应用。大... 展开更多; 关键词全固态高压脉冲电源半导体光刻准分子激光磁开关闸流管; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用被引量：2: 1; 作者邓国庆赵南京朱志强张玉亮; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期18-20,共3页; 文摘本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析。; 关键词准分子激光器脉冲压缩放电电路激励电路开关高重复率电源电激紧凑型反转; Keywords magnetic pulse compressor(mpc) LC inversion excimer laser; 分类号 TN248 [电子电信—物理电子学] TN957 [电子电信—信号与信息处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新颖钛宝石激光器电源电路被引量：2: 2; 作者赵南京邓国庆张玉亮; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期569-571,共3页; 文摘介绍了一种灯抽运钛宝石激光器电源充放电电路。利用脉冲能量进行变压器升压式充电 ,用磁脉冲压缩开关替代了传统灯抽运钛宝石激光器电源中的放电开关闸流管 ,并对整个电路的工作过程进行了分析。; 关键词脉冲变压器式充电磁脉冲压缩开关闸流管钛宝石激光器; Keywords resonant transformer of charge magnetic pulse compressor (mpc) thyratron Ti∶sapphire laser; 分类号 TN248.1 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁脉冲开关在准分子激光器中的应用被引量：4: 3; 作者余吟山方晓东汪建业张志平李会高月风李广寅; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《量子电子学》 CSCD 1995年第4期372-376,共5页; 文摘本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结果。实验表明，磁脉冲庄缩开关有效地压缩电流脉冲宽度，对激励电路中的闸流管起到保护作用。; 关键词磁脉冲压缩开关闸流管准分子激光器; Keywords magnetic pulse compressor(mpc), thyratron,excimer laser; 分类号 TN248 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名准分子激光器中磁脉冲压缩技术的研究被引量：2: 4; 作者周卫东余吟山; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 1997年第2期157-161,共5页; 文摘本文从实用准分子激光放电要求出发，研究了适用于准分子激光器的磁脉冲压缩器，分析了其工作过程，并对其设计构思、设计参数进行了分析和计算。; 关键词磁脉冲压缩器设计准分子激光器; Keywords magnetic pulse compressor, excimer laser; 分类号 TN248.22 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ROGOWSKI线圈在磁脉冲压缩准分子激光器中的应用被引量：1: 5; 作者张玉亮耿辉方晓东; 机构中科院安徽光学精密机械研究所; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期16-17,共2页; 文摘介绍了磁脉冲压缩器在准分子激光器中的基本工作原理、磁性材料的计算公式和磁脉冲压缩器的参数结构设计,给出了使用了磁脉冲压缩器的准分子激光器的放电过程,并且使用自制的ROGOWSKI线圈测量了不同放电电压时的实际放电过程中的闸流管的脉冲电流波形,还测量了不同放电回路电感Lo时的通过闸流管的脉冲电流波形和激光输出能量。在此次实验中,通过分析所得到的放电波形,磁脉冲压缩器的作用得到了证实,测量结果与原理有着很好的一致性。本实验为放电回路的优化设计提供了有效的依据。; 关键词 ROGOWSKI线圈磁脉冲压缩准分子激光器; Keywords ROGOWSKI coil magnetic pulsed compressor（mpc） excimer laser; 分类号 TN248.2 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁脉冲压缩开关在钛宝石激光器中的应用分析: 6; 作者赵南京邓国庆张玉亮; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所; 出处《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期39-42,共4页; 文摘首次提出了将磁脉冲压缩开关应用于钛宝石激光器中,由磁脉冲压缩开关和闸流管组合作为放电开关。给出了一种新型的灯泵钛宝石激光器电源放电电路,并对磁脉冲压缩开关应用的原理及在激光器激励电路中的工作过程进行了分析。; 关键词激光技术磁脉冲压缩开关闸流管钛宝石激光器; Keywords laser techniques magnetic pulse compressor (mpc) thyratron Ti:sapphire laser; 分类号 O431.2 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用被引量：4: 7; 作者游利兵程超方晓东; 机构中国科学院安徽光学精密机械研究所光子器件与材料安徽省重点实验室中国科学技术大学科学岛分院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期110-118,共9页; 基金国家科技重大专项(2013ZX02202004); 文摘简要回顾了半导体光刻的发展历程以及准分子激光作为光源在半导体光刻中的需求。简述了高压脉冲电源的基本原理及应用,介绍了全固态高压脉冲电源的结构和特点。着重阐述了全固态高压脉冲电源在光刻用准分子激光器和EUV光源中的应用。大功率半导体开关结合多级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源有效替代传统基于闸流管的高压脉冲电源,实现了光刻光源高重复频率下的长寿命运行。介绍了中国科学院安徽光学精密机械研究所近十年来,在准分子激光器的全固态高压脉冲电源研究上的相关进展。最后,对未来半导体光刻光源对全固态脉冲电源的需求进行了展望。; 关键词全固态高压脉冲电源半导体光刻准分子激光磁开关闸流管; Keywords all-solid-state high-voltage pulse power supply semiconductor lithography excimer laser magnetic switch thyratron; 分类号 TN86 [电子电信—信息与通信工程] TN248 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用	邓国庆赵南京朱志强张玉亮	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2004	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	一种新颖钛宝石激光器电源电路	赵南京邓国庆张玉亮	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2004	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	磁脉冲开关在准分子激光器中的应用	余吟山方晓东汪建业张志平李会高月风李广寅	《量子电子学》 CSCD	1995	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	准分子激光器中磁脉冲压缩技术的研究	周卫东余吟山	《量子电子学报》 CAS CSCD	1997	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	ROGOWSKI线圈在磁脉冲压缩准分子激光器中的应用	张玉亮耿辉方晓东	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	磁脉冲压缩开关在钛宝石激光器中的应用分析	赵南京邓国庆张玉亮	《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心	2005	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用	游利兵程超方晓东	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料