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MOCVD系统生长过程的优化精确控制
1
作者
王浩
范广涵
廖长俊
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2004年第2期67-71,共5页
通过对TurboDiscMOCVD设备系统以及部件工作原理的研究,提出了多种对典型器件生产工艺的调整方案,如压力流量的调整,质量流量计(MFC)工作曲线的完善,主动进气补偿等等,实现了MOCVD生长系统生长过程的自动精确控制.并对设备提出了改进意见.
关键词
mocvd
系统
生长
过程
精确
控制
金属有机化合物气相淀积
生产工艺
质量
流量计
半导体
在线阅读
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职称材料
一个实用的生产用Ⅲ-V族化合物半导体材料Turbo-DiscMOCVD生长模型(英文)
被引量：
1
2
作者
王浩
廖常俊
+9 位作者
范广涵
刘颂豪
郑树文
李述体
郭志友
孙慧卿
陈贵楚
陈炼辉
吴文光
李华兵
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期549-552,共4页
在MOCVD质量控制生长模式下 ,通过分析Ⅲ -V族化合物半导体材料在衬底表面的反应过程 ,建立了一个实用的生长模型。此模型是基于分子动力学、化学反应热力学理论分析之上的。针对Turbo -Disc反应体系 ,分析了Turbo -Disc的传热以及质量...
在MOCVD质量控制生长模式下 ,通过分析Ⅲ -V族化合物半导体材料在衬底表面的反应过程 ,建立了一个实用的生长模型。此模型是基于分子动力学、化学反应热力学理论分析之上的。针对Turbo -Disc反应体系 ,分析了Turbo -Disc的传热以及质量传送模式后 ,建立了Turbo -Disc的生长模型。在此模型中建立了输入反应室的参数 (IPs)和边界层的生长参数的关系。在对组分匹配的GaInP/GaAs三组分生长体系进行分析时 ,发现此模型是非常有效的 ,理论计算的结果与实验得到的结果非常吻合。应用此模型在实际生产中可以迅速地得到匹配的多组分外延层。
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关键词
mocvd质量控制生长模式
半导体材料
生长
模型
Turbo-Disc
生长
动力学
GAINP
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职称材料
题名
MOCVD系统生长过程的优化精确控制
1
作者
王浩
范广涵
廖长俊
机构
华南师范大学信息光电子学院
出处
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2004年第2期67-71,共5页
文摘
通过对TurboDiscMOCVD设备系统以及部件工作原理的研究,提出了多种对典型器件生产工艺的调整方案,如压力流量的调整,质量流量计(MFC)工作曲线的完善,主动进气补偿等等,实现了MOCVD生长系统生长过程的自动精确控制.并对设备提出了改进意见.
关键词
mocvd
系统
生长
过程
精确
控制
金属有机化合物气相淀积
生产工艺
质量
流量计
半导体
Keywords
mocvd
mass flow controller,the Least Squares,precise control
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一个实用的生产用Ⅲ-V族化合物半导体材料Turbo-DiscMOCVD生长模型(英文)
被引量：
1
2
作者
王浩
廖常俊
范广涵
刘颂豪
郑树文
李述体
郭志友
孙慧卿
陈贵楚
陈炼辉
吴文光
李华兵
机构
华南师范大学信息光电子学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期549-552,共4页
文摘
在MOCVD质量控制生长模式下 ,通过分析Ⅲ -V族化合物半导体材料在衬底表面的反应过程 ,建立了一个实用的生长模型。此模型是基于分子动力学、化学反应热力学理论分析之上的。针对Turbo -Disc反应体系 ,分析了Turbo -Disc的传热以及质量传送模式后 ,建立了Turbo -Disc的生长模型。在此模型中建立了输入反应室的参数 (IPs)和边界层的生长参数的关系。在对组分匹配的GaInP/GaAs三组分生长体系进行分析时 ,发现此模型是非常有效的 ,理论计算的结果与实验得到的结果非常吻合。应用此模型在实际生产中可以迅速地得到匹配的多组分外延层。
关键词
mocvd质量控制生长模式
半导体材料
生长
模型
Turbo-Disc
生长
动力学
GAINP
Keywords
mocvd
Turbo-Disc
growth kinetics
GaInP
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
MOCVD系统生长过程的优化精确控制
王浩
范广涵
廖长俊
《华南师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2004
0
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职称材料
2
一个实用的生产用Ⅲ-V族化合物半导体材料Turbo-DiscMOCVD生长模型(英文)
王浩
廖常俊
范广涵
刘颂豪
郑树文
李述体
郭志友
孙慧卿
陈贵楚
陈炼辉
吴文光
李华兵
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
已选择
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引证文献
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