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基于MEMS传感器的基坑土体变形监测试验研究与应用
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作者 顾正浩 虞洪 +3 位作者 王风栋 吕鑫龙 邱俊 陈晓斌 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期165-168,共4页
基于MEMS传感器技术,提出了一种基坑开挖变形监测系统。介绍了系统工作的基本原理和位移变形监测的计算方法。通过自行设计的试验装置,对该系统的误差进行试验校核,试验模型试验的误差在3 mm以下。依托湖州某地区深基坑工程,将该系统应... 基于MEMS传感器技术,提出了一种基坑开挖变形监测系统。介绍了系统工作的基本原理和位移变形监测的计算方法。通过自行设计的试验装置,对该系统的误差进行试验校核,试验模型试验的误差在3 mm以下。依托湖州某地区深基坑工程,将该系统应用于该基坑开挖过程当中的土体变形监测,监测结果表明:测量精度可以满足基坑变形监测的需求。 展开更多
关键词 mems传感器 倾角传感器 基坑变形监测
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基于MEMS陀螺仪和加速度计的动态倾角传感器 被引量:21
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作者 张杰 《机械设计与制造》 北大核心 2012年第9期141-143,共3页
仿人形机器人各关节的姿态及重心位置是其步态控制研究的关键。为了获得这些姿态数据,设计了一种基于MEMS陀螺仪和加速度计的低成本动态倾角传感器,利用卡尔曼滤波算法将陀螺仪和加速度计输出的数据进行滤波融合,解决了加速度计因机器... 仿人形机器人各关节的姿态及重心位置是其步态控制研究的关键。为了获得这些姿态数据,设计了一种基于MEMS陀螺仪和加速度计的低成本动态倾角传感器,利用卡尔曼滤波算法将陀螺仪和加速度计输出的数据进行滤波融合,解决了加速度计因机器人的线性加速度而无法准确测量其动态倾角、陀螺仪因存在漂移等而长时间测量精度不高的问题。实际测试结果表明,所设计的传感器能够测量动态倾角并具有较高的精度,可以满足仿人形机器人姿态控制的需要。 展开更多
关键词 mems 陀螺 加速度计 动态倾角传感器 卡尔曼滤波
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基于MEMS加速度传感器的数字倾角仪设计 被引量:18
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作者 沙承贤 李杰 +2 位作者 翟成瑞 王博 胡丽丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第6期134-136,共3页
利用MEMS加速度传感器设计了倾角测试仪,并利用单片机进行了数据线性化、传感器温度和上电稳定特性等补偿,倾斜角可以通过LCD或上位机显示。实验表明:本系统倾角测量精度可达±0.2°,具有很好的工作稳定性和较高的性价比,使用... 利用MEMS加速度传感器设计了倾角测试仪,并利用单片机进行了数据线性化、传感器温度和上电稳定特性等补偿,倾斜角可以通过LCD或上位机显示。实验表明:本系统倾角测量精度可达±0.2°,具有很好的工作稳定性和较高的性价比,使用上也更加灵活。 展开更多
关键词 倾角 mems加速度传感器 温度补偿 上电稳定特性补偿
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一种基于磁传感器的MEMS陀螺标定方法 被引量:7
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作者 刘诗斌 陈露兰 +2 位作者 张韦 王永波 秋颂松 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1700-1703,共4页
根据微型航姿测量系统各传感器的特点,研究出了一种基于磁传感器输出的MEMS陀螺标定方法,并根据MEMS陀螺误差参数模型设计相应的补偿算法,分别对MEMS陀螺的零偏和标度因数误差进行了补偿。与传统标定方法相比,该方法实现简单,适用于现... 根据微型航姿测量系统各传感器的特点,研究出了一种基于磁传感器输出的MEMS陀螺标定方法,并根据MEMS陀螺误差参数模型设计相应的补偿算法,分别对MEMS陀螺的零偏和标度因数误差进行了补偿。与传统标定方法相比,该方法实现简单,适用于现场标定。实验结果表明,该标定方法能够有效地提高MEMS陀螺测量精度,补偿后陀螺在静态条件下2min内,俯仰角漂移小于0.035°,倾斜角漂移小于0.15°,航向角的漂移小于0.2°。当陀螺三轴均有角速率输入时,在角速度小于25°/s情况下误差都能保持在±2°以内。 展开更多
关键词 mems陀螺 误差补偿 误差模型 传感器 角速率基准
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基于MEMS加速度传感器的双轴倾角计及其应用 被引量:23
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作者 刘武发 蒋蓁 龚振邦 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第3期86-88,共3页
利用MEMS加速度传感器设计了双轴倾角计,并采用单片机进行了线性化和温度补偿,倾斜角以模拟量和数字量2种形式输出。该倾角计体积小、重量轻、精度高,能够很好地满足MAV姿态控制及其他应用的倾角测量。
关键词 mems加速度传感器 无人飞行器 倾角 线性化 姿态控制
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基于MEMS器件的高精度动态倾角传感器研制 被引量:5
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作者 张波 孙哲 +2 位作者 欧阳宁 闻小龙 田跃 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2020年第9期6-11,共6页
利用ICM20602 MEMS六轴传感器设计了一种基于自适应互补滤波的动态倾角传感器,建立误差模型对加速度计与陀螺仪输出进行校正,根据加速度的输出自适应选择互补系数以更好利用加速度计静态精度对陀螺仪漂移进行修正。基于STM32F103搭建传... 利用ICM20602 MEMS六轴传感器设计了一种基于自适应互补滤波的动态倾角传感器,建立误差模型对加速度计与陀螺仪输出进行校正,根据加速度的输出自适应选择互补系数以更好利用加速度计静态精度对陀螺仪漂移进行修正。基于STM32F103搭建传感器实机与未经校正、使用定参数互补滤波的传感器输出进行动静态对比实验,证明该传感器在校正输出并自适应滤波后能够进行较高精度的倾角测量。 展开更多
关键词 动态倾角 mems六轴传感器 自适应互补滤波 误差校正
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基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺振型检测技术 被引量:1
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作者 王剑秋 吴宇列 张勇猛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1305-1309,共5页
振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法。该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声... 振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法。该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声场进行高分辨率测量,获得精确的谐振子振动分布情况,建立了谐振子声波测试实验系统,进行了测试实验,并与激光测振仪的测量结果进行比对。实验结果表明,该测试系统具有较高的振型测量精度。这种测试方法成本低,操作简便,测量精度高,可以实现谐振子振型的高精度快速测量,为后续的谐振子修形及陀螺控制提供重要基础。 展开更多
关键词 圆柱壳体振动陀螺谐振子 振型测试 mems传感器 高精度快速测量
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MEMS惯性导航传感器 被引量:16
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作者 周红进 钟云海 易成涛 《舰船科学技术》 北大核心 2014年第1期115-121,共7页
对大多数导航应用而言,精度并不是最重要的因素,在满足精度的前提下,尽可能降低成本、缩小体积才最重要。MEMS(Micro Electro Mechanical System)惯性传感器在民用市场已得到广泛应用,在战术级的导航中也开始逐渐应用,这主要受益于利用... 对大多数导航应用而言,精度并不是最重要的因素,在满足精度的前提下,尽可能降低成本、缩小体积才最重要。MEMS(Micro Electro Mechanical System)惯性传感器在民用市场已得到广泛应用,在战术级的导航中也开始逐渐应用,这主要受益于利用科里奥利效应制造的各种类型的MEMS陀螺。目前还没有达到战术级应用的环形激光陀螺和光纤陀螺的精度水平,但MEMS惯性传感器深具潜力。本文介绍当前MEMS陀螺和加速度计制造技术的发展,重点讨论MEMS传感器的设计及性能,并展望MEMS惯性传感器的发展前景。 展开更多
关键词 惯性导航 传感器 激光陀螺 光纤陀螺 mems惯性传感器
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现代军用MEMS惯性传感器技术进展 被引量:8
9
作者 李红光 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第8期4-7,共4页
现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺(RLGs)、光纤陀螺(FOGs)以及半球共振陀螺(HRGs)。现在主要用于军事的还有微机电系统(MEMS)陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤(PCFs)的干涉光... 现代化军事需求小型惯性传感器。技术已成熟的惯性导航和制导系统包括机械陀螺、环形激光陀螺(RLGs)、光纤陀螺(FOGs)以及半球共振陀螺(HRGs)。现在主要用于军事的还有微机电系统(MEMS)陀螺仪和加速计。采用光子晶体光纤(PCFs)的干涉光纤陀螺(IFOGs),即PC—IFOGs。重点阐述MEMS/集成光(IO)波导惯性传感器技术进展。分析小型陀螺仪和加速计技术发展前景及在未来快速反应,精确打击中的作用。 展开更多
关键词 微电子机械系统 惯性传感器 mems陀螺 mems加速计 mems惯性测量仪 小型惯性测量仪 集成光波导陀螺
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一种基于MEMS传感器的全局渐进稳定的姿态估计算法 被引量:5
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作者 蒋维 章卫国 +2 位作者 史静平 吕永玺 陈华坤 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期550-557,共8页
针对微小型无人飞行器的控制对高精度、小体积、低功耗的姿态信息的需求,提出了一种实用的基于MEMS传感器的姿态解算算法,实现了在低加速度状态下对飞行器姿态的精准估计。该算法将MEMS陀螺仪、加速度计和磁力计的数据作为输入,采用一... 针对微小型无人飞行器的控制对高精度、小体积、低功耗的姿态信息的需求,提出了一种实用的基于MEMS传感器的姿态解算算法,实现了在低加速度状态下对飞行器姿态的精准估计。该算法将MEMS陀螺仪、加速度计和磁力计的数据作为输入,采用一种全局渐进稳定的状态观测器方法对3种传感器数据进行融合,进而得到欧拉角输出。首先,针对实际航姿参考系统(AHRS)设计的需求,改进了TRIAD算法,使用加速度计和磁力计的量测向量来估计姿态旋转矩阵。与传统方法相比,该方法避免了矩阵的求逆过程。其次,在获得了量测向量确定的姿态旋转矩阵的基础上,设计了无需观测陀螺仪零偏的状态观测器,并证明了姿态角的收敛性。最后,基于实际MEMS传感器采样数据的仿真结果表明,在存在陀螺仪噪声和零偏的情况下,文中设计的状态观测器输出依然具有较高的精度和较好的动态特性。 展开更多
关键词 mems传感器 状态观测器 状态估计 陀螺仪零偏
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双轴倾角传感器的设计与实现 被引量:6
11
作者 蒋庆仙 马小辉 +1 位作者 陈晓璧 王华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第12期86-88,92,共4页
光纤陀螺(FOG)寻北仪是利用FOG在相对地球静止时感测到的地球自转角速率在光轴上的分量特性而设计的寻北系统。固定陀螺的基座不水平时,对寻北精度会产生较大的影响。为了检测基座平面的姿态角,并对陀螺的输出值进行补偿,研制了高精度... 光纤陀螺(FOG)寻北仪是利用FOG在相对地球静止时感测到的地球自转角速率在光轴上的分量特性而设计的寻北系统。固定陀螺的基座不水平时,对寻北精度会产生较大的影响。为了检测基座平面的姿态角,并对陀螺的输出值进行补偿,研制了高精度的双轴倾角传感器。该倾角传感器采用双轴石英挠性加速度计作为检测元件,通过采样加速度计在相差180°的2个方向上的输出值,精确地解算出基座平面的姿态角,并消除了加速度计偏值的影响。系统简单,容易实现,且达到了较高的测角精度。 展开更多
关键词 光纤陀螺寻北仪 加速度计 倾角传感器 A/D转换
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MEMS陀螺器件与驱动电路的相位关系研究 被引量:3
12
作者 陈华 郭桂良 +2 位作者 阎跃鹏 来强涛 韩荆宇 《现代电子技术》 北大核心 2018年第6期100-103,108,共5页
为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计,针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间存在的"激励电压、静电力、质量块位移、检测电容变化、检测电流、检测电压"五次信号转换进行了详细研究,获得了确切的相位关系,建立传输函数模型... 为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计,针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间存在的"激励电压、静电力、质量块位移、检测电容变化、检测电流、检测电压"五次信号转换进行了详细研究,获得了确切的相位关系,建立传输函数模型。最终根据推得的总体相位关系,设计并实现了一款基于锁相技术的闭环驱动电路。测试结果表明,MEMS陀螺系统能在3s内可靠起振且无振铃,稳定振荡频率为10.33 kHz,稳定振荡幅度为2.05 V。该测试结果验证了此相位关系研究的必要性与正确性,此研究同样适用于其他静电驱动、电容检测式MEMS传感器。 展开更多
关键词 mems传感器 mems陀螺 驱动电路 接口电路 相位关系 锁相环
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基于正交误差对准的MEMS陀螺测控电路设计 被引量:1
13
作者 陈华 来强涛 +2 位作者 郭桂良 郭江飞 韩荆宇 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期109-116,共8页
传统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)陀螺的相干检测基于驱动位移和科氏位移的相位关系,依赖于陀螺的工作模式,解调载波相位抖动大,不易相位对准.为解决此问题,本文提出了一种基于正交误差对准的不依赖陀螺工作模式的相干解调系... 传统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)陀螺的相干检测基于驱动位移和科氏位移的相位关系,依赖于陀螺的工作模式,解调载波相位抖动大,不易相位对准.为解决此问题,本文提出了一种基于正交误差对准的不依赖陀螺工作模式的相干解调系统.解调载波取自驱动电路的PLL(Phase-Locked Loop)输出,相位抖动小,仅作载波使用,不代表驱动位移信息.检测通路插入移相器,使正交误差相位滞后解调载波90°,则科氏位移信号与解调载波同相,完成检测.为验证该方法,本文研究了陀螺器件与接口电路之间的信号传递特性并进行建模,设计了锁相环、C/V(Capacitance/Voltage)转换、移相器等核心电路,实现了一款完整的MEMS陀螺测控电路.测试结果表明:陀螺驱动正常,检测正确,刻度因数为1.415mV/(°.s),零偏不稳定度为108°/h.结果验证了该检测方法的有效性,并为后续进一步提升性能提供了基础.该检测方法也适用于其他振动式MEMS陀螺的测控系统. 展开更多
关键词 相干检测 正交误差 读出系统 陀螺 mems传感器
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改进的MEMS陀螺随机噪声自适应Kalman实时滤波方法 被引量:10
14
作者 傅军 韩洪祥 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期177-185,共9页
针对微机电系统陀螺易受环境影响和稳定性能较差,导致建立的随机漂移模型参数和随机噪声统计特性变化的问题,提出了一种改进的指数渐消记忆自适应Kalman实时滤波方法.通过分析实测数据确定随机漂移自回归滑动平均模型阶数,在此基础上利... 针对微机电系统陀螺易受环境影响和稳定性能较差,导致建立的随机漂移模型参数和随机噪声统计特性变化的问题,提出了一种改进的指数渐消记忆自适应Kalman实时滤波方法.通过分析实测数据确定随机漂移自回归滑动平均模型阶数,在此基础上利用递推最小二乘法对模型参数进行实时更新.根据陀螺噪声参数特点,提出了基于渐消记忆因子的Allan方差分析法和Sage-Husa自适应滤波算法同时对Q和R进行参数估计的实时滤波方法,避免了系统状态估计和量测噪声参数估计的相互耦合和制约.实验结果表明:相比标准Kalman滤波补偿方法及传统的固定Q阵只对R阵做自适应估计的滤波方法,本文方法能够更加有效地对MEMS陀螺随机漂移误差进行实时补偿,具有较好的适应性和稳定性. 展开更多
关键词 mems陀螺 自回归滑动平均模型 自适应滤波 随机漂移 传感器技术
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抑制加速度干扰式倾角传感器研制 被引量:2
15
作者 范茂彦 张丽芳 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第11期56-58,共3页
以重力摆为基准的摆式倾斜角传感器静态性能好、成本低,但受加速度的干扰,不能用于动态测量倾角;以自由陀螺保持自身对称轴在惯性参考系中的方位不变作基准的位置陀螺仪原理上适用于动态测量倾斜角,但是成本高,使用环境受限制。通过结... 以重力摆为基准的摆式倾斜角传感器静态性能好、成本低,但受加速度的干扰,不能用于动态测量倾角;以自由陀螺保持自身对称轴在惯性参考系中的方位不变作基准的位置陀螺仪原理上适用于动态测量倾斜角,但是成本高,使用环境受限制。通过结构设计、信号处理,检测力矩电机工作电流增量控制电磁阻尼器的阻尼力矩,抵消刚体转子产生进动力矩,使摆系统不受外力干扰,集摆式倾角传感器和位置陀螺仪的优点,设计了可抑制加速度干扰倾角传感器。 展开更多
关键词 干扰 信号处理 工作电流 陀螺 抵消 倾斜角 使用环境 倾角传感器 增量 静态性能
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基于数据融合的MEMS陀螺信号处理研究
16
作者 刘宇 张小林 +3 位作者 段耀宇 贺涛 胡少伟 曾燎燎 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期554-556,565,共4页
针对当前MEMS陀螺仪信号为非平稳、非线性、不同步和信号量大的特点,提出了一种基于数字信号处理器(DSP)信号高速实时处理平台的、并结合多传感器数据融合技术的MEMS陀螺信号处理方案。该方案设计了基于SCC1300MEMS陀螺和DSP的信号采集... 针对当前MEMS陀螺仪信号为非平稳、非线性、不同步和信号量大的特点,提出了一种基于数字信号处理器(DSP)信号高速实时处理平台的、并结合多传感器数据融合技术的MEMS陀螺信号处理方案。该方案设计了基于SCC1300MEMS陀螺和DSP的信号采集处理平台,并运用正交基神经网络数据融合算法对采集的陀螺数据进行融合处理。实验结果表明,该方案在保证对陀螺信号进行高速实时采集的基础上,能提高信号处理精度达37.45%。 展开更多
关键词 mems陀螺 数字信号处理器 传感器数据融合 神经网络
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基于地磁传感器与陀螺仪的姿态测量法 被引量:6
17
作者 闫爱天 陈雄 +1 位作者 周长省 邹晗霆 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2016年第2期143-146,共4页
姿态测量系统是火箭弹简易制导领域不可或缺的一部分。文中基于地磁传感器与MEMS陀螺仪的姿态测量系统,对传统单点姿态测量方法进行了研究与改进。以MEMS陀螺仪解算所得的偏航角作为三轴地磁传感器输入,推导了姿态角测量方法。针对姿态... 姿态测量系统是火箭弹简易制导领域不可或缺的一部分。文中基于地磁传感器与MEMS陀螺仪的姿态测量系统,对传统单点姿态测量方法进行了研究与改进。以MEMS陀螺仪解算所得的偏航角作为三轴地磁传感器输入,推导了姿态角测量方法。针对姿态测量方法,设计了三轴地磁传感器姿态测量模块,在三轴旋转平台上进行了半实物仿真实验。实验结果表明,改进后的方法可以满足火箭弹姿态解算,提高了姿态角解算精度。 展开更多
关键词 姿态测量 地磁传感器 mems陀螺 半实物仿真
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基于椭球拟合的MEMS倾角仪现场快速标定系统 被引量:3
18
作者 张海鹏 李杰 +1 位作者 张波 胡陈君 《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第2期94-98,共5页
针对由倾角仪核心模块MEMS加速度计的偏值和标度因数会随时间推移而产生变化,造成倾角仪倾角测量误差变大、准确度降低、对精密标定设备依赖性强的问题,设计一种基于STM32结合椭球拟合算法的倾角仪现场快速标定系统。该系统以STM32单片... 针对由倾角仪核心模块MEMS加速度计的偏值和标度因数会随时间推移而产生变化,造成倾角仪倾角测量误差变大、准确度降低、对精密标定设备依赖性强的问题,设计一种基于STM32结合椭球拟合算法的倾角仪现场快速标定系统。该系统以STM32单片机为核心处理单元,内嵌椭球拟合算法,修正MEMS加速度计的偏值和标度因数;配合自编程的上位机程序实现对倾角仪的现场快速标定,保证其测量准确度。试验结果表明:该倾角仪现场快速标定系统操作方便,标定后降低测量误差且使测量准确度提高一个量级,具有一定的工程应用价值。 展开更多
关键词 倾角 mems传感器 椭球拟合 现场快速标定 单片机
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高过载姿态测量中MEMS陀螺失效模式与研究进展 被引量:4
19
作者 青泽 牟东 +1 位作者 廉璞 李东杰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第3期394-403,408,共11页
高过载条件下姿态测量是一个公认的难题,其原因主要是角速度传感器难以经受高过载的冲击。基于微机电系统(MEMS)技术的陀螺作为解决高过载姿态测量问题的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性导航系统在高过载环境中的应用。首先,介... 高过载条件下姿态测量是一个公认的难题,其原因主要是角速度传感器难以经受高过载的冲击。基于微机电系统(MEMS)技术的陀螺作为解决高过载姿态测量问题的核心器件,其抗高过载能力直接制约着惯性导航系统在高过载环境中的应用。首先,介绍了弹药发射和侵彻两种典型高过载环境的特性,概括了在高过载环境中MEMS陀螺的响应类型;其次,总结了高过载条件下MEMS陀螺的失效模式,包括完全失效和功能性失效;然后,介绍了国内外在抗高过载MEMS陀螺方面的研究进展;最后,分别从器件设计和工程应用角度出发,提出了MEMS陀螺抗高过载的设计方法和应用思路。 展开更多
关键词 惯性传感器 高过载 姿态测量 微机电系统(mems)陀螺 失效模式
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基于MEMS加速度计的飞行器姿态识别技术研究 被引量:9
20
作者 王占平 唐小宏 +3 位作者 王亚非 高椿明 周鹰 杨立峰 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第2期224-226,共3页
研究了一种利用多只低灵敏度的微机电系统(MEMS)重力加速度传感器实现对飞行器姿态识别的方法。通过对MEMS加速度传感器的输出信号进行A/D采样,获得相应的数字信号,并将其送进单片机进行处理,实现对飞行器的仰角和倾角的高精度测量,最... 研究了一种利用多只低灵敏度的微机电系统(MEMS)重力加速度传感器实现对飞行器姿态识别的方法。通过对MEMS加速度传感器的输出信号进行A/D采样,获得相应的数字信号,并将其送进单片机进行处理,实现对飞行器的仰角和倾角的高精度测量,最终得到飞行器的姿态信息。该方法可实现-180°^+180°范围内的倾角值测量,即使飞行器在旋转时也能进行实时测量,可用于需要进行姿态控制的各类飞行器的实时姿态识别。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 飞行器 姿态 倾角 重力加速度
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