基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术 被引量：2

1

作者 邹令敏 郝晓剑 周汉昌 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第9期19-21,共3页

为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围，实现高温测量，根据MEMS热电堆传感器的原理，设计完成了A2TPMB34型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置，通过试验得到标定结果；同时，提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方... 为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围，实现高温测量，根据MEMS热电堆传感器的原理，设计完成了A2TPMB34型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置，通过试验得到标定结果；同时，提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方案和实现手段，并对其关键部分一红外衰减片性能进行了分析和讨论。 展开更多

关键词 瞬态高温 mems热电堆传感器 静态与动态标定 高温测试系统 红外衰减片

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MEMS热电堆传感器的红外探测系统 被引量：7

2

作者 王司东 徐德辉 +2 位作者 熊斌 王岳鹏 刘华巍 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第2期107-109,113,共4页

为了实现远距离红外目标的运动和静止状态的识别,设计了基于热电堆红外传感器的红外探测系统,系统包括梯析(GRIN)透镜、微系统(MEMS)热电堆传感器、信号调理电路、数据采集电路和识别算法。探测结果表明:在相同光路系统的情况下,探测系... 为了实现远距离红外目标的运动和静止状态的识别,设计了基于热电堆红外传感器的红外探测系统,系统包括梯析(GRIN)透镜、微系统(MEMS)热电堆传感器、信号调理电路、数据采集电路和识别算法。探测结果表明:在相同光路系统的情况下,探测系统实现了比热释电系统更远的探测距离,实现了动态目标和静态目标的识别,并基于探测目标温度、辐射面积的区别,实现了人、车辆和其他红外目标的分类识别,可为红外目标的探测识别提供一种新的解决方案。 展开更多

关键词 热电堆传感器 红外探测 静态识别 分类识别

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MEMS红外热电堆传感器芯片结构优化研究

3

作者 钱松松 林振衡 +2 位作者 谢海鹤 胡兆坤 聂泳忠 《激光与红外》 北大核心 2025年第5期724-730,共7页

针对传统四端梁结构的MEMS红外热电堆传感器芯片表面浪费大,导致器件占空比低、性能较低,提出了一种改进型四端梁结构。该结构通过将吸收层与热电偶层分层布置和将热电偶条沿芯片正方形边长垂直排布,优化芯片机构设计,从而有效地增大热... 针对传统四端梁结构的MEMS红外热电堆传感器芯片表面浪费大,导致器件占空比低、性能较低,提出了一种改进型四端梁结构。该结构通过将吸收层与热电偶层分层布置和将热电偶条沿芯片正方形边长垂直排布,优化芯片机构设计,从而有效地增大热电堆的吸收区面积,提高器件占空比。通过应用COMSOL软件仿真分析比较了两种结构的温度分布和电压分布情况。对流片后的样品开展测试,测试结果表明:新型四端梁结构芯片的响应率、探测率等关键性能参数较传统四端梁结构均有较大提升,该结论与仿真结论相吻合。 展开更多

关键词 热电堆红外传感器 四端梁结构 COMSOL仿真 结构优化

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基于超材料吸波结构的MEMS热电堆红外温度传感器设计

4

作者 谢宇浩 吕丝旭 张志强 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第7期1109-1113,共5页

提出了一种基于超材料吸波结构的MEMS热电堆红外温度传感器,避免了使用特殊的滤光片进行封装,从而降低了传感器的体积。在设计上,采用超材料吸波结构将待测目标辐射的红外光选择性吸收,并将光能转化为热。通过利用时域有限差分方法研究... 提出了一种基于超材料吸波结构的MEMS热电堆红外温度传感器,避免了使用特殊的滤光片进行封装,从而降低了传感器的体积。在设计上,采用超材料吸波结构将待测目标辐射的红外光选择性吸收,并将光能转化为热。通过利用时域有限差分方法研究了超材料吸波结构的结构参数与红外吸收光谱和吸收率之间的关系,并优化出用于检测人体红外辐射的超材料吸波结构尺寸。结果表明,当红外光波长范围为9.5μm~10.5μm时,该传感器的红外吸收率优于0.38,其中在波长为9.989μm处出现红外吸收峰,其最大吸收值为0.997。由超材料吸波结构产生的热量传递到其下方的热电堆,通过多物理场仿真可得热电堆的热端和冷端的温差为0.046 K,进而转化为输出电压,从而验证了整体设计的有效性。 展开更多

关键词 红外温度传感器 超材料吸波结构 热电堆 mems

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基于热电堆的塔式差示热流传感器研制

5

作者 鲁中元 王晓东 +3 位作者 许金鑫 丁炯 杜晓辉 刘帅 《传感技术学报》 北大核心 2025年第1期68-74,共7页

为解决国内外现有的塔式热流型差示扫描量热仪热流检测灵敏度与动态特性无法兼顾的问题,基于热电堆原理,设计了一款热流检测灵敏度与动态特性皆优的新型塔式差示热流传感器,结合热电等效模型分析了其动态特性的优越性,使用高精度丝网印... 为解决国内外现有的塔式热流型差示扫描量热仪热流检测灵敏度与动态特性无法兼顾的问题,基于热电堆原理,设计了一款热流检测灵敏度与动态特性皆优的新型塔式差示热流传感器,结合热电等效模型分析了其动态特性的优越性,使用高精度丝网印刷和粘接技术完成了传感器的制备,搭建了相应的差示扫描量热测试系统,进行了多组铟样品实验。实验结果表明,所研制的塔式热流传感器铟响应比平均值超过40 mW/℃,明显高于现有的塔式热流传感器,说明其动态特性更加优越。对于塔式热流型差示扫描量热仪热流检测灵敏度、分辨率指标的提升具有积极意义。 展开更多

关键词 热流传感器 热电堆 丝网印刷 动态特性 灵敏度

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一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计 被引量：10

6

作者 黄从朝 黄庆安 廖小平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1938-1944,1950,共8页

提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比,新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上,对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型,进而导出了灵敏... 提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比,新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上,对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型,进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理,以给定的时间常数和噪声大小为约束条件,求得灵敏度达最大时热偶长度和串联数目的最佳值. 展开更多

关键词 新型mems微波功率传感器 热电堆 理论模型 优化

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原子层热电堆热流传感器研制及其性能测试 被引量：8

7

作者 杨凯 朱涛 +4 位作者 王雄 陶伯万 朱新新 王辉 杨庆涛 《实验流体力学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期86-91,共6页

针对高超声速风洞试验中对高频热流脉动的测试需求,研制了一种基于横向热电效应的原子层热电堆(Atomic Layer Thermopile,ALTP)热流传感器。利用弧光灯热流传感器标定系统对其进行静态标定,获得ALTP热流传感器的灵敏度系数约为8.24μV/(... 针对高超声速风洞试验中对高频热流脉动的测试需求,研制了一种基于横向热电效应的原子层热电堆(Atomic Layer Thermopile,ALTP)热流传感器。利用弧光灯热流传感器标定系统对其进行静态标定,获得ALTP热流传感器的灵敏度系数约为8.24μV/(kW·m^-2),优于国外同尺寸敏感元件的ALTP热流传感器6.90μV/(kW·m^-2)的灵敏度系数;利用激波风洞试验,并通过与薄膜热电阻热流传感器对比,初步获得ALTP热流传感器的响应时间上限,响应时间小于0.20μs。 展开更多

关键词 原子层热电堆 热流传感器 标定 灵敏度系数 响应时间 激波风洞 横向塞贝克效应

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MEMS热电堆芯片固晶工艺参数的优化 被引量：5

8

作者 陈立国 姜勇涛 +2 位作者 倪灯塔 王敏锐 孙立宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期137-145,共9页

MEMS热电堆传感器能够实现对温度的精确测量,固晶工艺是其中关键一环,但目前尚缺乏有效方法精确优化MEMS热电堆固晶工艺参数。本文介绍了热电堆传感器的工作原理,提出了对固晶工艺参数(固晶厚度和爬胶高度)的要求。以固晶工艺要求为导向... MEMS热电堆传感器能够实现对温度的精确测量,固晶工艺是其中关键一环,但目前尚缺乏有效方法精确优化MEMS热电堆固晶工艺参数。本文介绍了热电堆传感器的工作原理,提出了对固晶工艺参数(固晶厚度和爬胶高度)的要求。以固晶工艺要求为导向,初步探究了压力参数对固晶工艺的影响并进行了压力参数的优化。在优化的压力参数下,实验探究了点胶高度和贴片高度对固晶工艺的影响,并缩小了两参数的选择范围。在此基础上,通过有限元ANSYS软件,分析在相同温度下,不同固晶厚度的银浆与芯片接触处的热应力分布,找出最佳的固晶厚度参数,并精确优化了点胶高度和贴片高度。最后,通过实验验证的方式,对此参数下的MEMS热电堆固晶强度给出了检测结果。结果表明:压力参数为0.3MPa、点胶高度为140μm、贴片高度为460μm时,固晶推力均值为43.14N。其固晶质量最好,能够满足固晶强度要求,有助于提高MEMS热电堆芯片封装的可靠性与成品率。 展开更多

关键词 mems热电堆芯片 温度检测 压力参数 点胶高度 贴片高度

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一种新型环状热电堆传感器 被引量：1

9

作者 张恒 高明 +3 位作者 李杰 王志勇 刘欲文 汪存信 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2003年第5期1-2,10,共3页

设计了一种可以方便地增加热电偶数目和灵活调节时间常数的新型环状热电堆传感器。该热电堆由16个结构单元串联组成,每个结构单元由两个铝合金圆环组成,含有50对镍铬-康铜热电偶,整个热电堆一共由800对镍铬-康铜热电偶串联而成,通过增... 设计了一种可以方便地增加热电偶数目和灵活调节时间常数的新型环状热电堆传感器。该热电堆由16个结构单元串联组成,每个结构单元由两个铝合金圆环组成,含有50对镍铬-康铜热电偶,整个热电堆一共由800对镍铬-康铜热电偶串联而成,通过增加结构单元的数目可以方便地增加热电偶的数目从而提高测温精度。当采用铜丝替换部分热电偶时就可以灵活地调节时间常数,适应各种应用的要求。设计的结果表明该热电堆传感器可检测的最小温差为1.6×10^(-6)～2.1×10^(-6)K,被替换的热电偶的数目在0～50对时其时间常数可在30.3～188.8s内变化。 展开更多

关键词 环状热电堆传感器 热电偶 时间常数 热导式热量计 温差测量

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基于热电堆结构的微型热传导真空传感器 被引量：2

10

作者 马斌 梁平治 +1 位作者 陈世军 程正喜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期218-223,共6页

本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器。该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片,配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,即可完成全部制造程序。器件敏感部分为124μm×100μm的多层复合薄膜... 本文描述了一种与CMOS工艺完全兼容的热电堆微型热传导真空传感器。该传感器可在商业化的标准CMOS生产流水线上进行流片,配合后续的无掩模体硅各向异性腐蚀工艺,即可完成全部制造程序。器件敏感部分为124μm×100μm的多层复合薄膜架空结构,其上制作了n型多晶硅加热器、20对由p型多晶硅条和铝条构成的热电堆。利用加热器对复合薄膜加热,在不同的真空状态下,薄膜呈现不同温度,温度值由热电堆转换为温差电动势输出。本文在以下方面进行详细描述:1.器件的结构设计和制造工艺;2.器件的稳态和瞬态有限元分析;3.测试结果与理论分析的对照。结果表明,在加热器1.5V恒压驱动条件下,器件的气压敏感范围为0.1Pa^105Pa(空气),此时热电堆输出电压范围为26mV^50mV,最大响应时间预计为1.4ms。 展开更多

关键词 热传导真空传感器 热电堆 塞贝克效应 微机电系统 四甲基氢氧化铵 有限元分析

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间接加热式MEMS微波功率传感器的模拟与设计

11

作者 廖小平 范小燕 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第3期2-3,27,共3页

在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器的结构和工艺的基础上,对其基本单元:共面波导(CPW)、终端电阻和热电堆之间进行了匹配性设计,用软件HFSS进行了模拟,模拟结果包括共面波导与接触垫间的阻抗匹配的分析以及热电偶的数目和热电堆... 在提出间接加热终端式MEMS微波功率传感器的结构和工艺的基础上,对其基本单元:共面波导(CPW)、终端电阻和热电堆之间进行了匹配性设计,用软件HFSS进行了模拟,模拟结果包括共面波导与接触垫间的阻抗匹配的分析以及热电偶的数目和热电堆的接近对CPW性能影响的分析。根据这些模拟结果,传感器中接触垫与共面波导之间的渐进区长度设计为150μm,热电偶的对数设计为50对,热电堆与CPW之间的距离设计为50μm,并选择了GaAs和Au作为热电偶的两臂,TaN作终端电阻。 展开更多

关键词 共面波导 终端电阻 热电堆 mems 传感器

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MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究 被引量：12

12

作者 邵靖 段力 +9 位作者 王强 郑芳芳 谢开成 王云生 陶闻钟 高均超 胡铭楷 张丛春 汪红 丁桂甫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1352-1358,共7页

航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传... 航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温测量试验和一系列细致的高温温度表征测量研究。该微制造工艺攻克了两项技术难关:曲表面的光刻技术和高温绝缘层的制作技术。涡轮叶片表面原位集成的微传感器不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40 g的振动和100 g的冲力。研究还表明,在高温测量环境下,高温测量精度和高温环境下的温度场(高温温度的空间分布与升温时间迟豫)密切相关。由于高温环境温度场的差异,可以产生高达10%的测量本征误差。 展开更多

关键词 传感器 高温测量 mems 微制造工艺 软光刻技术 铂金热电阻

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基于热电堆的新型高温薄膜热流传感器的研制 被引量：6

13

作者 郭林琪 张梅菊 +4 位作者 金毅 王禹森 胡国胜 杨伸勇 张丛春 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1167-1173,共7页

精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优... 精确的热流测量对航空发动机设计至关重要,实时监测和获取发动机涡轮叶片表面精确的热流分布可以为航空发动机热端部件设计提供依据,也可以进行状态监测和故障诊断。薄膜热流传感器具有体积小、响应速度快、对工作环境的流动干扰小等优点。然而,目前能够应用于高温高热流环境中测量的薄膜热流传感器在灵敏度方面仍然存在较大的局限性。设计和制造了基于铂铑热电堆的新型高温薄膜热流传感器。该传感器由Pt/Pt-13Rh薄膜热电堆、底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层、顶层Al_(2)O_(3)保护层组成,底层SiO_(2)/Al_(2)O_(3)热阻层位于Al_(2)O_(3)陶瓷基底和热电堆之间。传感器分别在0~110 kW/m^(2)的热流和1 000℃的温度下进行了测试。测试结果显示,传感器的输出与施加的热流表现出良好的线性关系,灵敏度为8.04×10^(-6)V/(kW/m^(2)),实验数据与仿真结果相近。具有Al_(2)O_(3)保护层的传感器在1 000℃中保温3 h后电阻、灵敏度及响应特性基本上不受影响。设计的新型高温薄膜热流传感器具有较高的灵敏度和可靠性,将为高温环境中的热流测量提供一种新方法。 展开更多

关键词 薄膜热流传感器 Pt/Pt-13Rh热电堆 塞贝克效应 高温高热流

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薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究 被引量：3

14

作者 刘云东 王高 +1 位作者 张丛春 黄漫国 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第11期35-38,43,共5页

为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为... 为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为热流源,通过电压控制模块调制激光器输出频率,系统响应时间可达微秒(μs)级,可以产生50 MW/m^(2)的热流信号。通过Z-t变换求得传感器脉冲响应的时间常数τ,获得频率响应理论值723 Hz;通过快速傅里叶变换(FFT)求得无量纲频率响应曲线,测得频率响应约为510 Hz,完成薄膜热电堆热流传感器动态频率响应测试,并分析传感器动态性能和综合评价测试平台。 展开更多

关键词 频率调制 辐射热流测试系统 薄膜热电堆热流传感器 频率响应

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p+Si/Au热电堆式气体流量传感器一维模型及其应用 被引量：2

15

作者 王珊珊 王家畴 李昕欣 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期161-166,共6页

为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参... 为了优化热电堆式气体流量传感器的结构参数使其灵敏度达到最佳,建立了一个一维数学模型,此模型能够快速反映当器件关键尺寸变化时传感器输出电压的变化,有限元仿真软件结果证实了此一维模型的有效性。并利用此模型对一系列器件关键参数进行仿真分析,结合工艺参数得到了一个最优化的器件尺寸。根据这一尺寸制造了一个p+Si/Au热电堆式气体流量传感器以进一步验证一维模型。测试得到的传感器归一化灵敏度为481 [mV/(m/s)]/W。此参数比之前的工作高出数倍。此外,测试所得的输出电压曲线与一维模型仿真的曲线一致性也较好,进一步证明了这一一维模型的正确性。 展开更多

关键词 热电堆式气体流量传感器 1-D数学模型 单面硅微机械加工 p+Si/Au 热电堆

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MEMS微波功率传感器的研究与进展 被引量：3

16

作者 范小燕 廖小平 黄庆安 《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第2期63-70,共8页

介绍MEMS微波功率传感器的研究与发展,包括自加热式、间接加热式、插入式和电容式微波功率传感器。文中以共面波导(CPW)、负载电阻和热堆作为微波功率传感器的基本单元,对这些基本单元分别作了分析,并给出了这些基本单元和总体结构的性... 介绍MEMS微波功率传感器的研究与发展,包括自加热式、间接加热式、插入式和电容式微波功率传感器。文中以共面波导(CPW)、负载电阻和热堆作为微波功率传感器的基本单元,对这些基本单元分别作了分析,并给出了这些基本单元和总体结构的性能指标,同时介绍了Si和GaAs衬底上制备微波功率传感器的主要工艺。 展开更多

关键词 功率传感器 mems 微波 GAAS衬底 研究与发展 共面波导 负载电阻 性能指标 总体结构 电容式 插入式 单元 热式 热堆 Si

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热流测量传感器用热电偶堆的制作与标定 被引量：2

17

作者 李夏青 李国富 《耐火材料》 CAS 北大核心 1999年第2期99-100,112,共3页

在简要分析热流测量传感器工作原理的基础上，提出了平板法耐火材料导热系数测定仪用的热流传感器测温热电偶堆的制作方法，详细介绍了热电偶堆的标定，并对标定数据进行了线性拟合。结果表明，温差与毫伏值具有良好的线性关系，测温精... 在简要分析热流测量传感器工作原理的基础上，提出了平板法耐火材料导热系数测定仪用的热流传感器测温热电偶堆的制作方法，详细介绍了热电偶堆的标定，并对标定数据进行了线性拟合。结果表明，温差与毫伏值具有良好的线性关系，测温精度高，在热流传感器上使用。 展开更多

关键词 热流测量 传感器 热电偶堆 耐火材料 导热系数

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热电堆式光电传感器暂态模型 被引量：2

18

作者 陈殿盛 朱翠英 《传感技术学报》 CAS CSCD 1993年第3期19-23,共5页

本文描述了热电堆式光电传感器的暂态模型,并对常用的二种模型进行了解算.所获数学表达式可为该类传感器的优化设计提供理论依据.

关键词 光电传感器 暂态模型 热电堆式

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热电堆传感器及其应用 被引量：3

19

作者 郑国良 《传感器技术》 CSCD 1992年第2期27-30,共4页

从热电偶测温的方法出发,闸述了热电堆传感器的原理。介绍了它在电测与非电测领域中的应用。

关键词 热电转换器 热电堆 传感器 热电偶

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薄膜热电堆(Cu/Cu55Ni45)热流传感器的制备工艺及性能研究

20

作者 冯楠茗 代波 +1 位作者 王勇 李伟 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第8期1523-1531,共9页

本文首先通过磁控溅射技术在单晶Si和Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上分别依次沉积厚度为600 nm的Cu和Cu55Ni45薄膜,然后使用微加工技术在10 mm×10 mm的衬底区域内制备了200对串联的热电偶组成薄膜热电堆结构,最后采用反应溅射联合硬掩膜沉... 本文首先通过磁控溅射技术在单晶Si和Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上分别依次沉积厚度为600 nm的Cu和Cu55Ni45薄膜,然后使用微加工技术在10 mm×10 mm的衬底区域内制备了200对串联的热电偶组成薄膜热电堆结构,最后采用反应溅射联合硬掩膜沉积了不同厚度的氧化铝热阻层,使串联的热电偶分别产生冷端和热端。根据Seebeck效应,在热流的作用下薄膜热电堆冷热两端的温差使传感器输出热电信号,实现对热流密度的测量。通过对薄膜热电堆的表征与标定,结果表明:沉积在Si衬底与Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上的Cu/Cu55Ni45热电堆中,Cu膜粗糙度分别为20和60 nm,Cu55Ni45膜粗糙度分别为15和20 nm,电阻分别为38.2Ω和2.83 kΩ,灵敏度分别为0.06945和0.02697 mV/(kW·m^(-2))。具有不同表面粗糙度的单晶Si衬底与Al_(2)O_(3)陶瓷衬底会影响在其表面沉积的Cu/Cu55Ni45热电堆表面粗糙度,进而导致薄膜热电堆产生电阻大小差异,此外,Cu/Cu55Ni45热流传感器的输出热电势与热流密度呈现良好的线性关系。 展开更多

关键词 薄膜热电堆 磁控溅射 微加工 SEEBECK效应 热流传感器 灵敏度

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