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可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计被引量：2: 1; 作者裴丽娜邹永刚 +3 位作者石琳琳王小龙范杰王海珠《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第4期229-235,共7页; 针对GaAs基和InP基材料的波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)中微机电系统(MEMS)应力集中引起结构损坏的问题开展研究。设计了蝴蝶结状MEMS悬臂结构,在保证最大位移不变的情况下,降低了悬臂固定端所受的米塞斯应力,提高了器件的可靠... 展开更多; 关键词 mems 米塞斯应力蝴蝶结可调谐vcsel; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于亚波长光栅的VCSEL偏振控制研究被引量：6: 2; 作者江孝伟关宝璐《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期729-734,共6页; 为了确定亚波长光栅在微电机械系统(MEMS)波长可调谐VCSEL不同位置(上DBR上表面、上DBR下表面以及内腔)中实现TE和TM偏振控制的光栅参数范围以及光栅在哪个位置时实现偏振控制最稳定,通过MATLAB建立MEMS波长可调VCSEL的模型,然后计算光... 展开更多; 关键词 mems波长可调谐vcsel 偏振稳定亚波长光栅 MATLAB建模; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器被引量：1: 3; 作者许高斌花翔 +2 位作者王亚洲马渊明陈兴《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期500-505,共6页; 设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理。加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备分布式布拉格反射镜(DBR)构成F-P光学微腔。设计... 展开更多; 关键词 Fabry-Perot腔加速度传感器波长调谐 mems 反射镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

TWDM-PON可调光接收机波长调谐系统设计: 4; 作者刘继红魏乐 +2 位作者张佳程菲成湘《光通信技术》北大核心 2017年第6期34-36,共3页; 针对基于MEMS可调光滤波器的可调光接收机,设计了一种监测光探测器输出电信号幅度变化、反馈控制光滤波器调谐对准目标信道波长的调谐系统,介绍了波长调谐算法的执行流程,并进行了实验测试。; 关键词时分波分堆叠无源光网络可调光接收机波长调谐 mems可调光滤波器; 在线阅读下载PDF 职称材料

利用VCSEL激光二极管在1.58μm波段对CO_2气体温度的测量被引量：5: 5; 作者李宁严建华 +2 位作者王飞池涌岑可法《燃烧科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期458-462,共5页; 利用1．58μm处的VCSEL激光二极管对CO2气体的两条特征谱线进行扫描以实现气体温度的测量．介绍了利用可调谐激光光谱结合波长调制方法进行温度测量的基本原理，并讨论了相关的影响因素．在常压下的加热石英管中进行了实验，在温度为20... 展开更多; 关键词 vcsel激光二极管可调谐激光吸收光谱技术温度测量波长调制; 在线阅读下载PDF 职称材料

宽范围、偏振稳定的850nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器特性被引量：4: 6; 作者王小龙邹永刚 +2 位作者郝永芹马晓辉刘国军《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期1287-1293,共7页; 设计了一种具有内腔耦合层的850 nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)结构,从而获得了更宽的波长调谐范围以及稳定的偏振模式输出。通过分析在不同液晶层厚度下,两种偏振模式的共振波长以及对应的阈值增益的变化关系,研究了液晶厚度... 展开更多; 关键词偏振稳定液晶垂直腔面发射激光器(vcsel) 波长调谐; 在线阅读下载PDF 职称材料

一维增透亚波长光栅的研究被引量：7: 7; 作者江孝伟武华《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期177-181,共5页; 将具有高透射性的亚波长光栅置于微机械波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)的内腔当中可以提高波长的调谐范围,为了使波长调谐范围达到最优则必须优化高透射性的亚波长光栅使其透射率达到最大。利用严格耦合波法分析了亚波长光栅的占... 展开更多; 关键词亚波长光栅透射率可调谐vcsel; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计被引量：2: 1; 作者裴丽娜邹永刚石琳琳王小龙范杰王海珠; 机构长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第4期229-235,共7页; 基金吉林省科技发展计划项目(20180519018JH); 文摘针对GaAs基和InP基材料的波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)中微机电系统(MEMS)应力集中引起结构损坏的问题开展研究。设计了蝴蝶结状MEMS悬臂结构,在保证最大位移不变的情况下,降低了悬臂固定端所受的米塞斯应力,提高了器件的可靠性。采用COMSOL软件对蝴蝶结状悬臂结构的各项参数对力学特性的影响进行了优化与分析。结果表明:优化后的蝴蝶结状MEMS悬臂结构固定端的最大米塞斯应力相比于等截面状悬臂结构最大降低了64%,对于GaAs基材料的蝴蝶结状MEMS波长可调谐VCSEL自由光谱范围可达45 nm。; 关键词 mems 米塞斯应力蝴蝶结可调谐vcsel; Keywords mems von Mises stress bowknot tunable vcsel; 分类号 TN248.4 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于亚波长光栅的VCSEL偏振控制研究被引量：6: 2; 作者江孝伟关宝璐; 机构衢州职业技术学院信息工程学院北京工业大学电子信息与控制工程学院; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期729-734,共6页; 基金国家自然科学基金(61650404) 衢州市科技计划项目(2015Y021) 衢州职业技术学院项目(QZYY1612)资助~~; 文摘为了确定亚波长光栅在微电机械系统(MEMS)波长可调谐VCSEL不同位置(上DBR上表面、上DBR下表面以及内腔)中实现TE和TM偏振控制的光栅参数范围以及光栅在哪个位置时实现偏振控制最稳定,通过MATLAB建立MEMS波长可调VCSEL的模型,然后计算光栅在3种位置时上反射镜(包括空气隙和光栅)随光栅参数变化的反射率,以此来确定它们实现TE/TM稳定偏振的光栅参数范围(即高反射范围内的参数)。将各自的高反射所对应反射率减去相同光栅参数范围内TM/TE低反射对应的反射率,通过反射率差值确定光栅在哪种位置时MEMS波长可调谐VCSEL实现偏振是最稳定的。最后得出的结论是光栅在上DBR下表面几乎无法控制TM偏振,而将光栅放置于内腔中,无论是在TE偏振控制上还是TM偏振上都是最稳定的。在实现TE偏振稳定的参数范围内,TE的阈值增益比TM最小少10 cm^(-1);而在实现TM偏振稳定时,在TE偏振稳定的参数范围内,TE的阈值增益比TM最小少5 cm^(-1)。; 关键词 mems波长可调谐vcsel 偏振稳定亚波长光栅 MATLAB建模; Keywords mems wavelength tunable VCSEI, polarization stable sub-wavelength grating M ATLAB build mode; 分类号 TN248.4 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器被引量：1: 3; 作者许高斌花翔王亚洲马渊明陈兴; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期500-505,共6页; 基金装备预研/教育部联合基金(6141A02022422) 安徽省重点研发计划(1804a09020018) +1 种基金国家重点研发计划资助(2020YFB2008900)。; 文摘设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理。加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备分布式布拉格反射镜(DBR)构成F-P光学微腔。设计了新型折叠支撑梁和维持器件可靠性的限位块结构。研究给出质量块位移引起腔长变化,导致透射波长偏移的关系,结合S型支撑梁挠曲度与系统加速度的关系,得到加速度与透射波长的函数,其线性度大于99.99%。通过有限元仿真软件对结构参数进行设计与优化,由仿真结果得出设计的加速度传感器工作频率为510 Hz,测量范围为±5 g,得到加速度-波长灵敏度为54.8 nm/g,最高分辨率可达1 mg设计可应用于自主导航、重力测量与资源勘探等。; 关键词 Fabry-Perot腔加速度传感器波长调谐 mems 反射镜; Keywords Fabry-Perot cavity Acceleration sensor Wavelength tuning mems Reflector; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名TWDM-PON可调光接收机波长调谐系统设计: 4; 作者刘继红魏乐张佳程菲成湘; 机构西安邮电大学电子工程学院; 出处《光通信技术》北大核心 2017年第6期34-36,共3页; 基金国家863计划(课题编号:2013AA014504)资助; 文摘针对基于MEMS可调光滤波器的可调光接收机,设计了一种监测光探测器输出电信号幅度变化、反馈控制光滤波器调谐对准目标信道波长的调谐系统,介绍了波长调谐算法的执行流程,并进行了实验测试。; 关键词时分波分堆叠无源光网络可调光接收机波长调谐 mems可调光滤波器; Keywords time and wavelength division multiplexed passive optical network tunable optical receiver wavelength tuning mems tunable optical filter; 分类号 TN915.63 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用VCSEL激光二极管在1.58μm波段对CO_2气体温度的测量被引量：5: 5; 作者李宁严建华王飞池涌岑可法; 机构浙江大学能源清洁利用国家重点实验室; 出处《燃烧科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期458-462,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60534030) 长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT0434); 文摘利用1．58μm处的VCSEL激光二极管对CO2气体的两条特征谱线进行扫描以实现气体温度的测量．介绍了利用可调谐激光光谱结合波长调制方法进行温度测量的基本原理，并讨论了相关的影响因素．在常压下的加热石英管中进行了实验，在温度为20～300℃时，计算值与热电偶信号的温差在35℃以内．通过对测量误差的分析，为实现单激光器同时测量气体温度与浓度提供参考．; 关键词 vcsel激光二极管可调谐激光吸收光谱技术温度测量波长调制; Keywords vcsel（vertical cavity surface emitting laser） diode laser tunable diode laser absorption spectroscopy temperature measurement wavelength modulation; 分类号 TK314 [动力工程及工程热物理—热能工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名宽范围、偏振稳定的850nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器特性被引量：4: 6; 作者王小龙邹永刚郝永芹马晓辉刘国军; 机构长春理工大学; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第10期1287-1293,共7页; 基金吉林省科技发展计划(20180519018JH,20190302052GX) 吉林省教育厅“十三五”科学技术项目(JJKH20190543KJ) +1 种基金国家自然科学基金(11474038) 装备预研基金重点项目(61404140103)资助; 文摘设计了一种具有内腔耦合层的850 nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)结构,从而获得了更宽的波长调谐范围以及稳定的偏振模式输出。通过分析在不同液晶层厚度下,两种偏振模式的共振波长以及对应的阈值增益的变化关系,研究了液晶厚度影响可调谐VCSEL偏振模式和波长调谐的机理。此外,通过优化半导体腔和液晶腔之间的耦合层结构,使得基于液晶的可调谐VCSEL结构在实现稳定偏振模式输出的基础上具有更宽的波长调谐范围。结果表明,耦合层结构的加入可以有效地增大液晶可调谐VCSEL的调谐范围,最大达到41.1 nm。同时,在连续的波长调谐过程中,由于o光偏振模式始终处于受抑制状态,因此液晶可调谐VCSEL可实现稳定的单偏振模式输出。; 关键词偏振稳定液晶垂直腔面发射激光器(vcsel) 波长调谐; Keywords polarization stability liquid crystal vertical-cavity surface-emitting laser(vcsel) wavelength tuning; 分类号 TN248 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一维增透亚波长光栅的研究被引量：7: 7; 作者江孝伟武华; 机构衢州职业技术学院信息工程学院赣南师范大学物理与电子信息学院; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期177-181,共5页; 基金江西省教育厅科技计划(GJJ150998) 衢州职业技术学院(QZYY1612)资助项目~~; 文摘将具有高透射性的亚波长光栅置于微机械波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)的内腔当中可以提高波长的调谐范围,为了使波长调谐范围达到最优则必须优化高透射性的亚波长光栅使其透射率达到最大。利用严格耦合波法分析了亚波长光栅的占空比、周期、厚度和入射角对其透射率的影响并找出最优的光栅参数。通过计算分析可得,对于TE和TM偏振存在最佳的占空比使其透射率达到99.5%。在文中条件下,它们对应的占空比分别为0.23和0.80。而光栅厚度对于TE和TM偏振透射率的影响是周期性的,在一个周期内存在一个最佳值使其透射率达到最高。在文中条件下,TE偏振的厚度周期是150 nm,TM偏振的厚度周期是300 nm。当光栅参数不变时,无论是TE还是TM偏振光,它们的透射率只有在垂直入射光栅时(入射角为0°)才能达到最大。而通过等效介质原理可以得出,周期对透射率没有影响。最后计算了透射率在光栅厚度和占空比同时变化时的变化趋势,并从中得出最优的光栅参数。; 关键词亚波长光栅透射率可调谐vcsel; Keywords sub-wavelength transmittance tunable vcsel; 分类号 TN248.4 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计	裴丽娜邹永刚石琳琳王小龙范杰王海珠	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于亚波长光栅的VCSEL偏振控制研究	江孝伟关宝璐	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	6	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器	许高斌花翔王亚洲马渊明陈兴	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	TWDM-PON可调光接收机波长调谐系统设计	刘继红魏乐张佳程菲成湘	《光通信技术》北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	利用VCSEL激光二极管在1.58μm波段对CO_2气体温度的测量	李宁严建华王飞池涌岑可法	《燃烧科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	宽范围、偏振稳定的850nm液晶可调谐垂直腔面发射激光器特性	王小龙邹永刚郝永芹马晓辉刘国军	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2020	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	一维增透亚波长光栅的研究	江孝伟武华	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	7	在线阅读下载PDF 职称材料