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MEMS气体传感器发展现状与对策
1
作者
苏铮
邢志鹏
+2 位作者
钟一红
许梦雪
孙旭辉
《传感技术学报》
北大核心
2025年第9期1533-1539,共7页
新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现...
新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能化”的发展路线。从MEMS气体传感器的种类、气敏材料、传感机理及应用等方面描述了其研究现状,并聚焦MEMS气体传感器现存的问题,提出了未来的发展方向及相应对策。
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关键词
mems气体传感器
微热板
传感器
微结构原理
策略
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职称材料
基于动态分类器集成的MEMS气体传感器阵列的气体定性识别方法
被引量：
2
2
作者
刘航
唐祯安
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期1649-1654,共6页
气体识别研究中,传感器的性能漂移问题始终是最具挑战的问题之一。为了减少漂移对气体识别的影响,利用动态分类器集成技术,针对基于MEMS技术的气体传感器阵列,提出了气体识别方法。主要关注对气体样本在任意浓度下的定性分析。该方法基...
气体识别研究中,传感器的性能漂移问题始终是最具挑战的问题之一。为了减少漂移对气体识别的影响,利用动态分类器集成技术,针对基于MEMS技术的气体传感器阵列,提出了气体识别方法。主要关注对气体样本在任意浓度下的定性分析。该方法基于支持向量机(SVM)分类器,首先利用在不同时间段采集的数据分别训练SVM分类器,再利用各分类器对不同时期数据的最优权值,估计拟合函数的参数;然后利用拟合函数,根据数据的采集时刻,预测各分类器的权值;最终利用预测的权值,对所有分类器的识别结果进行集成,得到最终识别结果。利用累积三年的测量数据,对该方法与已有类似方法的性能进行了比较。结果显示,该方法可以在较长时间内具有更高的准确率,而且,该方法可以通过选择更合理的拟合函数,提高识别性能。
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关键词
mems气体传感器
传感器
阵列
漂移补偿
分类器集成
动态加权
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职称材料
题名
MEMS气体传感器发展现状与对策
1
作者
苏铮
邢志鹏
钟一红
许梦雪
孙旭辉
机构
工业和信息化部产业发展促进中心
清华大学新型陶瓷材料全国重点实验室
苏州大学功能纳米与软物质研究院
中国人民解放军陆军防化学院化学防护系
出处
《传感技术学报》
北大核心
2025年第9期1533-1539,共7页
基金
苏州市科技发展计划项目(SYC2022141)。
文摘
新型MEMS气体传感器具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、集成度高等优点而被广泛应用。随着物联网、微机电系统技术与人工智能的快速发展,利用MEMS气敏传感阵列与人工智能算法构建的人工嗅觉技术在更多的领域中发挥重要作用,实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能化”的发展路线。从MEMS气体传感器的种类、气敏材料、传感机理及应用等方面描述了其研究现状,并聚焦MEMS气体传感器现存的问题,提出了未来的发展方向及相应对策。
关键词
mems气体传感器
微热板
传感器
微结构原理
策略
Keywords
mems
gas sensor
microheater
sensor microstructure mechanism
strategy
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于动态分类器集成的MEMS气体传感器阵列的气体定性识别方法
被引量：
2
2
作者
刘航
唐祯安
机构
大连理工大学电子科学与技术学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第12期1649-1654,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61131004)
中央高校基本科研业务费专项资金项目(DUT11RC(3)74)
文摘
气体识别研究中,传感器的性能漂移问题始终是最具挑战的问题之一。为了减少漂移对气体识别的影响,利用动态分类器集成技术,针对基于MEMS技术的气体传感器阵列,提出了气体识别方法。主要关注对气体样本在任意浓度下的定性分析。该方法基于支持向量机(SVM)分类器,首先利用在不同时间段采集的数据分别训练SVM分类器,再利用各分类器对不同时期数据的最优权值,估计拟合函数的参数;然后利用拟合函数,根据数据的采集时刻,预测各分类器的权值;最终利用预测的权值,对所有分类器的识别结果进行集成,得到最终识别结果。利用累积三年的测量数据,对该方法与已有类似方法的性能进行了比较。结果显示,该方法可以在较长时间内具有更高的准确率,而且,该方法可以通过选择更合理的拟合函数,提高识别性能。
关键词
mems气体传感器
传感器
阵列
漂移补偿
分类器集成
动态加权
Keywords
mems
gas sensor
sensor array
drift compensation
classifier ensemble
dynamic weights
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS气体传感器发展现状与对策
苏铮
邢志鹏
钟一红
许梦雪
孙旭辉
《传感技术学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于动态分类器集成的MEMS气体传感器阵列的气体定性识别方法
刘航
唐祯安
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
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