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题名基于双环境力的MEMS执行器的设计与研究
被引量：1
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作者
王兴
刘凤丽
郝永平
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机构
沈阳理工大学
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出处
《工具技术》
2014年第1期24-27,共4页
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基金
辽宁省自然科学基金(2013020046)
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文摘
设计了一种应用于双环境力下MEMS执行器。根据其结构特点对MEMS执行器进行静力学及运动学分析,应用能量法的卡氏第二定理分别推导出MEMS执行器中的折叠梁X、Y方向弹性系数的计算公式。在ANSYS/LS-DYNA中对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到执行器可动部件的运动曲线和整体的应力云图。计算结果表明,该执行器在引信的后坐环境和离心环境下均能可靠执行动作,具有结构紧凑、抗过载能力强的特点。
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关键词
不境力
mems执行器
引信
弹性系数
动力学仿真
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Keywords
dual environment forces
mems actuator
fuse
elasticity coefficient
dynamic simulation
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分类号
TP215
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名引信MEMS执行器的设计与分析
被引量：2
- 2
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作者
邓炬锋
史春景
郝永平
刘双杰
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机构
沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2016年第9期197-200,共4页
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基金
国家863项目(2015AA042701)
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文摘
基于发射过程引信保险机构的工作原理,设计一种应用于双环境力下的MEMS执行器,建立了该执行器中后坐机构和钟表机构的动力学模型,研究了影响后坐机构和钟表机构工作的因素。应用ADAMS软件下对MEMS执行器进行动力学仿真分析,得到后坐滑块和齿轮的运动曲线。计算结果表明,后坐机构能够在后坐环境下可靠执行动作并运动到位,钟表机构能够在在离心环境下达到设计要求的延时时间并能够可靠运动到位。同时,该执行器在勤务处理时是安全可靠的。
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关键词
引信
mems执行器
环境力
动力学模型
分析
可靠
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Keywords
Fuze
mems Actuator
Environment Forces
Dynamic Analysis
Analysis
Reliable
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
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题名MEMS执行机构在微小力传感器量值溯源中的应用
被引量：6
- 3
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作者
徐立
郑培亮
李闯
黄振宇
李倩
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机构
广东省现代几何与力学计量重点实验室
广东省计量科学研究院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第11期148-150,153,共4页
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基金
国家质检总局科技计划资助项目(2013QK259)
广东省公益研究与能力建设专项资金项目(2014A040401044)
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文摘
对一种基于微电子机械系统(MEMS)执行器结构的非接触式三维微小力装置测量原理、装置结构、标定方法、力学特性及使用方法等进行分析。结果表明:该装置可产生空间任意方向微小力,实现空间非竖直方向微小力传感器量值溯源;利用该装置对微小力传感器进行量值溯源时,能大幅减小极板间距离测量与控制不确定度对输出微小力影响,装置无需配备复杂昂贵的位移控制与测量辅助装置便可达较高精度。对简化微小力传感器量值溯源装置结构具有较大实际意义。
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关键词
微电子机械系统(mems)执行器
微小力
传感器
量值溯源
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Keywords
micro-electro-mechanical system（mems） actuator
micro-force
sensor
traceability
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分类号
TH71
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名基于兰姆波谐振MEMS阵列的无喷嘴微液滴喷射研究
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作者
张鸿翔
宁远
刘伯华
张孟伦
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第9期1301-1306,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(61176106)
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文摘
基于微机电(MEMS)兰姆波谐振器(LWR),设计了一种可在1μL液体中聚焦声波的压电声波执行器件,实现了皮升级液滴的生成和无喷嘴喷射。该压电声波执行器由8个谐振频率为247.6 MHz的LWR组成,通过物理场有限元仿真计算,设计了可在中心50μm区域内实现声波聚焦的器件结构。在实验中,通过制作的声波聚焦器件,观察到在1μL液体表面生成并喷射出皮升级小液滴现象。通过对输入功率的控制,可以实现单液滴喷射、多液滴连续喷射、以及局部沸腾多向喷射。液滴喷射系统利用声波聚焦产生的声流体效应实现无喷嘴的液滴喷射,在多个工程领域尤其是微流控方向有广阔的应用前景,如多向液滴喷射、细胞位置操控等。
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关键词
mems执行器
液滴喷射
声波聚焦
压电谐振器
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Keywords
mems actuator
droplet ejection
acoustic focusing
piezoelectric resonator
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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