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面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析
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作者 蒋鹏 鞠莉娜 +3 位作者 王子 徐彤 李亚平 陈远金 《微纳电子技术》 2025年第3期92-98,共7页
装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出... 装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出发,重点介绍了MEMS惯性集成微系统跨尺度设计、三维异构集成工艺、集成检测与可靠性验证等关键技术,并对技术发展趋势进行了分析。 展开更多
关键词 智能装备 机电系统(mems) 惯性集成系统 多物理场 三维集成 缺陷检测
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基于MEMS技术的微型惯性导航系统的发展现状 被引量:92
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作者 李荣冰 刘建业 +1 位作者 曾庆化 华冰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第6期88-94,共7页
根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯... 根据美国 DARPA(the Defense Advanced Research Projects Agency)资助项目的概况,介绍了微电子机械系统(MEMS)惯性传感器领域的新进展,对 DARPA 的特别项目 MEMS-INS(Inertial Navigation System)的进展状况进行了说明。详细描述了惯性技术、导航技术领域内前沿研究机构研究 MEMS INS 的路线,总结了微型导航技术系统算法的研究现状。最后,对 MEMSINS 的发展进行展望,指出 MEMS INS 的发展方向。过去的发展趋势表明:微型惯性技术将向芯片级的超小型 MEMS IMU(Inertial Measurement Unit)和 MEMS INS 以及组合导航的发展方向。 展开更多
关键词 INS mems技术 DARPA 惯性技术 惯性导航系统 芯片 惯性传感器 导航技术 System)
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基于MEMS器件的低成本微惯性导航系统设计 被引量:5
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作者 邵婷婷 李建新 +1 位作者 张永波 胡士峰 《现代电子技术》 2010年第20期200-203,共4页
设计了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度计的低成本微惯性导航系统。采用"四元数"法进行姿态计算,通过比力变换、积分运算确定载体的速度、位置。分析样机运行结果可知,静态运行15 s,姿态误差最大为1.2°,速度误差最大为4.5 ... 设计了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度计的低成本微惯性导航系统。采用"四元数"法进行姿态计算,通过比力变换、积分运算确定载体的速度、位置。分析样机运行结果可知,静态运行15 s,姿态误差最大为1.2°,速度误差最大为4.5 m/s,位置误差最大为33 m。实验表明,该系统发散较快,但短期精度较高,为满足长时间导航,必须与其他导航如GPS组合,即可应用到普通导航领域,且能大大降低系统的成本和体积。 展开更多
关键词 惯性导航系统 预处理 捷联解算 mems陀螺
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基于体硅MEMS工艺的射频微系统冲击特性仿真研究 被引量:1
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作者 冯政森 王辂 +4 位作者 曾燕萍 杨兵 祁冬 王志辉 张睿 《电子技术应用》 2024年第2期65-70,共6页
高过载冲击试验成本高、周期长,同时失效检测手段较少,难以定位结构薄弱点。针对体硅工艺MEMS(Micro-electromechanical System)射频微系统,采用冲击响应谱与瞬态动力学方法,研究板级与试验条件下的高冲击载荷响应。仿真结果表明,该射... 高过载冲击试验成本高、周期长,同时失效检测手段较少,难以定位结构薄弱点。针对体硅工艺MEMS(Micro-electromechanical System)射频微系统,采用冲击响应谱与瞬态动力学方法,研究板级与试验条件下的高冲击载荷响应。仿真结果表明,该射频微系统能够承受高冲击过载,仿真结果可提前预判结构失效点,提高产品抗冲击可靠性。 展开更多
关键词 体硅mems 射频系统 冲击 响应谱 瞬态动力学 可靠性
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捷联式微惯性导航系统的标定方法 被引量:5
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作者 方靖 顾启泰 丁天怀 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2007年第5期29-32,共4页
设计了微惯性导航单元(MINU)结构,采用翻滚法和转台法,建立数学模型,分别标定加速度计和陀螺的零位偏差、标度因子及安装角误差。提出一种基于虚拟噪声的现场最优标定方法,运用卡尔曼滤波技术估计并补偿加速度计和陀螺零偏。实验室静态... 设计了微惯性导航单元(MINU)结构,采用翻滚法和转台法,建立数学模型,分别标定加速度计和陀螺的零位偏差、标度因子及安装角误差。提出一种基于虚拟噪声的现场最优标定方法,运用卡尔曼滤波技术估计并补偿加速度计和陀螺零偏。实验室静态实验和车载实验结果均证明了上述方法的正确性和可行性,并且快速、易于实现,能有效提高导航精度,适用于短时间、低中精度导航系统。 展开更多
关键词 惯性导航系统(MINS) 标定 最优估计
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惯性导航微系统三维集成研究进展 被引量:3
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作者 王楷 孔延梅 +6 位作者 蒋鹏 杜向斌 叶雨欣 鞠莉娜 曹志勇 刘瑞文 焦斌斌 《微电子学与计算机》 2023年第1期18-30,共13页
随着“摩尔定律”日趋放缓,微系统封装集成技术成为“超越摩尔”最有前景的技术之一.惯性微系统技术是在微机电系统(MEMS)基础上,将多种传感器通过异质异构集成技术,在硅基片上进行3D集成,开发出具有多种功能的芯片级的微小型电子系统,... 随着“摩尔定律”日趋放缓,微系统封装集成技术成为“超越摩尔”最有前景的技术之一.惯性微系统技术是在微机电系统(MEMS)基础上,将多种传感器通过异质异构集成技术,在硅基片上进行3D集成,开发出具有多种功能的芯片级的微小型电子系统,实现更高的集成度和更小的体积,并内置算法,实现芯片级导航、定位等功能.该系统通过自身传感器采集到的数据信息进行自主导航,不受外界环境影响,具有很强的抗干扰能力,呈现出小型化、智能化趋势.本文主要探讨了惯性微系统的组成部分以及MEMS惯性传感器的常见分类.通过对国内外研究现状的梳理,重点分析了以第三代集成技术为主的惯性微系统集成的特点和研究进展.文章最后探讨了惯性微系统未来的研究方向和发展趋势. 展开更多
关键词 mems 惯性器件 系统 异质 定位导航 三维集成
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基于MEMS器件的低成本捷联惯性卫星组合导航系统设计 被引量:2
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作者 冯晓彬 朱少华 王磊 《航空电子技术》 2018年第A01期51-56,共6页
[摘要]介绍了一种基于MEMS传感器的低成本惯性卫星组合导航系统的设计与实现方法,通过建立工程适用的MEMS惯性测量组件模型,对IMU输出进行补偿,经质性解算获得导航信息量,并与卫星信息一同进入卡尔曼滤波,修正后获得可用导航信息... [摘要]介绍了一种基于MEMS传感器的低成本惯性卫星组合导航系统的设计与实现方法,通过建立工程适用的MEMS惯性测量组件模型,对IMU输出进行补偿,经质性解算获得导航信息量,并与卫星信息一同进入卡尔曼滤波,修正后获得可用导航信息。对样机的挂飞测试结果表明,该低成本惯性卫星组合导航系统导航信息准确度满足在制导、控制领域的短时精度要求,具备一定的工程应用价值。 展开更多
关键词 低成本 机电系统(mems) 惯性导航系统(INS) 卫星导航 组合导航
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显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用 被引量:4
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作者 郭彤 胡晓东 +2 位作者 栗大超 胡春光 胡小唐 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期218-220,共3页
系统采用了显微干涉技术 ,利用Mirau显微干涉仪配合频闪照明系统实现了对MEMS器件动态特性的测量 ,测量过程采用了光学干涉的非接触方法 ,因此不会对器件产生损坏。系统采用了改进的相移算法 ,抑制了相移器误差以及探测器带来的非线性误... 系统采用了显微干涉技术 ,利用Mirau显微干涉仪配合频闪照明系统实现了对MEMS器件动态特性的测量 ,测量过程采用了光学干涉的非接触方法 ,因此不会对器件产生损坏。系统采用了改进的相移算法 ,抑制了相移器误差以及探测器带来的非线性误差 ,提高了测量精度。利用本系统测量了微结构上多点处的振幅 。 展开更多
关键词 机电系统 干涉技术 mems 动态测试系统 频闪照明
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基于MEMS技术的三维集成射频收发微系统 被引量:10
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作者 祁飞 杨拥军 +1 位作者 杨志 汪蔚 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第3期183-187,共5页
基于电学互连的贯穿硅通孔(TSV)和高精度圆片级键合等MEMS加工技术,提出了一种硅基射频收发微系统的三维集成结构设计方案,在硅基衬底上将MEMS滤波器、MMIC芯片和控制芯片在垂直方向上集成为单个系统级封装芯片,开发了一套可应用于制备... 基于电学互连的贯穿硅通孔(TSV)和高精度圆片级键合等MEMS加工技术,提出了一种硅基射频收发微系统的三维集成结构设计方案,在硅基衬底上将MEMS滤波器、MMIC芯片和控制芯片在垂直方向上集成为单个系统级封装芯片,开发了一套可应用于制备三维集成射频收发微系统的MEMS加工工艺流程。通过基于MEMS技术的三维集成工艺,成功制备了三维集成C波段射频收发微系统芯片样品,芯片样品尺寸为14 mm×11 mm×1.4 mm,测试结果表明,制作的三维集成C波段射频收发微系统样品技术指标符合设计预期,实现了在硅基衬底上有源器件和无源器件的三维集成,验证了所开发工艺的可行性。 展开更多
关键词 电子机械系统(mems)技术 三维集成 贯穿硅通孔(TSV) 射频收发 系统
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亚洲加速MEMS研发和微系统组装 被引量:2
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作者 李秀清 《电子与封装》 2003年第6期38-39,50,共3页
亚洲是全球微电子产品增长较快的地区。MEMs是业内人士公认的21世纪的新的技术增长点,而封装技术在微电子与MEMS制造中发挥着越来越重要的作用。本文论述了亚洲,尤其是中国和中国台湾在MEMS研究与微系统组装技术领域的发展现状与趋势。
关键词 mems 系统组装 亚洲 机械系统 TDS MCP
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MEMS与智能化微系统
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作者 欧毅 陈大鹏 《电子工业专用设备》 2005年第1期10-14,共5页
智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题。
关键词 mems CMOS 智能系统
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基于MEMS技术的组合导航系统在空地制导武器中的应用 被引量:5
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作者 王春陵 华克强 孙淑光 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第3期278-281,共4页
针对空地精确制导武器对低成本、高精度、高可靠性导航系统的需求,设计了基于MEMS技术的组合导航系统。该系统基于低成本的微惯性测量组合与GPS接收机,并针对空地制导武器的飞行特点建立了准确的数学模型;利用速度、位置综合模式,采用... 针对空地精确制导武器对低成本、高精度、高可靠性导航系统的需求,设计了基于MEMS技术的组合导航系统。该系统基于低成本的微惯性测量组合与GPS接收机,并针对空地制导武器的飞行特点建立了准确的数学模型;利用速度、位置综合模式,采用先进的Kalman滤波理论进行数据融合;最后对该组合导航系统进行了数学仿真试验和数据分析。结果表明,这种低成本、可靠性好、体积小的组合导航系统的导航精度不大于5m,即使在丢星长达30s,导航精度也不大于12m,完全能够满足空地精确制导武器的导航要求。 展开更多
关键词 空地制导武器 mems 组合导航系统 惯性测量组合
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MEMS微惯性组合静态误差建模与补偿 被引量:1
13
作者 李长森 郭海雷 +1 位作者 谷岩 肖龙 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第1期50-55,共6页
安装误差和温度是MEMS微惯性组合的主要误差源,这两种因素所引起的误差通常占系统总误差的90%以上。通过对微惯性组合的安装误差及温度因素的影响进行深入分析,构建了一种适用于低成本导航微惯性组合静态误差补偿模型。该模型是一种基... 安装误差和温度是MEMS微惯性组合的主要误差源,这两种因素所引起的误差通常占系统总误差的90%以上。通过对微惯性组合的安装误差及温度因素的影响进行深入分析,构建了一种适用于低成本导航微惯性组合静态误差补偿模型。该模型是一种基于线性模型的改进型模型,模型复杂度低,按实验标定方法获取模型参数后可实时计算惯组输出,用于对MEMS微惯性组合实时性要求高的环境中。并且,通过对模型深入分析,巧妙设计标定方法,大大简化了该模型的标定步骤,使模型参数的获取更为方便。为了论证模型正确性,进行了标定实验,实验结果表明模型是切实可靠的。 展开更多
关键词 机电系统(mems) 惯性组合 误差补偿 标定 静态误差模型
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基于MEMS工艺的微热加速度计和微热陀螺仪的制备
14
作者 吴嘉琦 赖丽燕 李以贵 《微纳电子技术》 CAS 2024年第7期110-119,共10页
微热加速度计和微热陀螺仪两者传感芯片结构相似,并且制备工艺完全兼容,在同一块绝缘体上硅(SOI)基板上运用同一工艺流程同时制备出了微热陀螺仪传感芯片和微热加速度计传感芯片。为了准确地创建微尺度的图案和结构,设计了四块光刻掩模... 微热加速度计和微热陀螺仪两者传感芯片结构相似,并且制备工艺完全兼容,在同一块绝缘体上硅(SOI)基板上运用同一工艺流程同时制备出了微热陀螺仪传感芯片和微热加速度计传感芯片。为了准确地创建微尺度的图案和结构,设计了四块光刻掩模版来制作该微热加速度计芯片和微热陀螺仪芯片,分别对应于接触孔开口、热敏电阻、互连布线和背面空腔。轻掺杂硅热敏电阻的可控电阻温度系数(TCR)大于传统金属丝,因此选择p型硅作为热敏电阻材料。TCR由硅片的掺杂浓度决定,使用了三种不同掺杂浓度的硅片进行对比实验,从而选定硅片的掺杂浓度为1×10^(17)cm^(-3),对应的TCR为3500×10^(-6)/℃。选择SOI作为衬底材料,显著增强了微热陀螺仪和微热加速度计的耐高温性,并且提高了其灵敏度。在电感耦合等离子体-反应离子刻蚀(ICP-RIE)和氢氟酸(HF)蒸气工艺过程中,通过光刻胶和聚酰亚胺层成功保护了非常薄和易碎的热敏电阻,在4英寸(1英寸=2.54 cm)SOI基板上一次最多可以成功制备出180个微热陀螺仪传感芯片和108个微热加速度计传感芯片,制备的微热加速度计传感芯片尺寸为2 mm×2 mm×0.4 mm,微热陀螺仪传感芯片尺寸为5.8 mm×5.8 mm×0.4 mm。分别对制备的微热加速度计和微热陀螺仪进行了测试,微热陀螺仪x轴灵敏度为0.107 mV/(°/s),y轴灵敏度为0.102 mV/(°/s),微热加速度计灵敏度为13 mV/g。通过一次工艺流程制备出两种热流体惯性传感器,极大地缩短了制备时间,降低了制备成本,成功实现了高精度的批量生产。 展开更多
关键词 电子机械系统(mems) 热加速度计 热陀螺仪 绝缘体上硅(SOI)基板 热对流
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采用锯齿肋壁强化硅基MEMS微通道相变换热
15
作者 李振 王楠 +3 位作者 周喜超 杨斌 彭勇 曲玉珊 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期39-46,共8页
为提升微通道相变换热器综合性能,包括同时实现降低沸腾起始过热度、提高传热系数和抑制沸腾传热不稳定性,提出了一种具有锯齿形肋壁的硅基微电子机械系统(MEMS)微通道结构,并对常规并联微通道与锯齿肋壁微通道开展了对比实验研究。结... 为提升微通道相变换热器综合性能,包括同时实现降低沸腾起始过热度、提高传热系数和抑制沸腾传热不稳定性,提出了一种具有锯齿形肋壁的硅基微电子机械系统(MEMS)微通道结构,并对常规并联微通道与锯齿肋壁微通道开展了对比实验研究。结果表明,锯齿肋壁的齿根处提供了众多有效核化穴,实现了2℃低过热度下的沸腾启动,较常规并联微通道的沸腾起始过热度降低了18℃。由于大量锯齿形核化穴的存在,提高了通道内的气泡核化密度,使得锯齿肋壁微通道中心线处的平均换热系数较常规并联微通道最大提高了约85.5%。同时,较多的气化核心使得过热液层的能量从多个气液相变界面进行潜热释放,气泡生长膨胀速度减缓,抑制了沸腾传热不稳定性。锯齿肋壁的变截面结构对通道内液体产生毛细吸附效应,使得通道内倾向于形成环状流高效薄液膜对流蒸发传热模式,这也是锯齿肋壁强化传热的主要机制之一。 展开更多
关键词 锯齿肋壁 流动沸腾 电子机械系统(mems)通道 强化传热 流动不稳定性
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基于MEMS技术的三维集成K波段四通道T/R微系统
16
作者 刘星 夏俊颖 +3 位作者 薛梅 李晓林 王嘉 赵宇 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第4期335-339,共5页
为满足有源相控阵雷达小型化需求,基于微电子机械系统(MEMS)多层3D封装技术研制了一种超小尺寸K波段四通道T/R微系统。该器件结合高精度晶圆、微凸点、重布线层(RDL)、硅通孔(TSV)等先进封装技术,将功能芯片和硅片进行纵向堆叠,实现了... 为满足有源相控阵雷达小型化需求,基于微电子机械系统(MEMS)多层3D封装技术研制了一种超小尺寸K波段四通道T/R微系统。该器件结合高精度晶圆、微凸点、重布线层(RDL)、硅通孔(TSV)等先进封装技术,将功能芯片和硅片进行纵向堆叠,实现了异质异构的三维集成,具有限幅、低噪声放大、功率放大、5 bit数控衰减、6 bit数控移相、串并转换等功能。器件尺寸仅为10.3 mm×10.3 mm×3.88 mm,质量为1.1 g,体积、质量均减小至传统砖式模块的1/10。实测噪声系数3.29 dB,接收增益19.22 dB,发射输出功率22 dBm,功率一致性优于±0.6 dB。实测结果与仿真结果吻合,为T/R前端的小型化研究提供了参考。 展开更多
关键词 电子机械系统(mems) 三维集成 T/R 系统 硅通孔(TSV)
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基于硅基MEMS工艺的Ka波段四通道短砖式三维集成T/R微系统 被引量:3
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作者 杨栋 赵宇 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第6期506-511,共6页
基于硅基微电子机械系统(MEMS)工艺设计了一种Ka波段四通道短砖式三维集成T/R微系统,实现四通道收发及功率合成功能。器件每个通道具备6 bit数控移相、5 bit数控衰减、电源调制等功能。该T/R微系统由两层硅基MEMS模块堆叠而成,每层硅基... 基于硅基微电子机械系统(MEMS)工艺设计了一种Ka波段四通道短砖式三维集成T/R微系统,实现四通道收发及功率合成功能。器件每个通道具备6 bit数控移相、5 bit数控衰减、电源调制等功能。该T/R微系统由两层硅基MEMS模块堆叠而成,每层硅基模块内部异构集成多个单片微波集成电路(MMIC),内部采用硅通孔(TSV)实现垂直互连,层间采用植球互连,器件尺寸为18 mm×19.5 mm×3 mm。经测试,在33~37 GHz频段内,器件单通道饱和发射功率大于30 dBm,接收增益约为35 dB,噪声系数小于4.6 dB。器件兼顾高性能和高集成度,可应用于雷达相控阵系统。 展开更多
关键词 相控阵雷达 硅基电子机械系统(mems)工艺 T/R系统 三维异构集成 硅通孔(TSV)
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基于硅基MEMS工艺的X频段三维集成射频微系统 被引量:5
18
作者 王驰 卢伊伶 +1 位作者 祝大龙 刘德喜 《遥测遥控》 2019年第3期47-51,共5页
基于硅基MEMS工艺的宽带射频收发微系统在实现武器装备小型化的过程中具有十分重要的意义。将GaAs多功能芯片、MEMS滤波器等多种工艺制成的射频器件集成到硅晶圆上,利用TSV及晶圆级键合工艺实现一个X频段的射频前端。射频前端包括收发... 基于硅基MEMS工艺的宽带射频收发微系统在实现武器装备小型化的过程中具有十分重要的意义。将GaAs多功能芯片、MEMS滤波器等多种工艺制成的射频器件集成到硅晶圆上,利用TSV及晶圆级键合工艺实现一个X频段的射频前端。射频前端包括收发两部分功能,利用它可以实现零中频变频功能及数控衰减功能。其三维结构尺寸为25mm×18mm×1mm,仅为分立器件搭建的射频前端的1/8。测试结果表明,接收部分在通带内增益大于35dB,噪声系数小于6dB,1dB压缩点大于0dBm;发射部分在通带内增益大于9dB。与分立器件搭建的X频段射频前端相比,基于硅基MEMS工艺的射频前端在输出信号IQ一致性上有很大程度的提高,且样品各性能指标符合设计预期,验证了设计的正确性和可行性。 展开更多
关键词 射频系统 mems工艺 型化
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2015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨2015中国传感器与微系统(MEMS)技术工程师年会
19
《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第3期527-,共1页
微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域,其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能,可优质高产低耗,大大地提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一... 微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域,其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能,可优质高产低耗,大大地提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一,它将对现代电子技术产生十分重要的影响。该技术无论在电子产品,还是在系统装备等很多方面都发挥极其重要作用,并得到电子工程师的高度重视,为此,中国电子学会拟于2015年7月24-26日在北京举办"2015全国传感器与微系统(MEMS) 展开更多
关键词 系统技术 mems 中国电子学会 技术工程师 细加工技术 智能化功能 电子领域 机械 电子产品
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基于足部微惯性/地磁测量组件的个人导航方法 被引量:22
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作者 钱伟行 朱欣华 苏岩 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期567-572,共6页
为降低个人导航定位对卫星导航系统(GNSS)的依赖性,研究了一种基于足部安装微惯性/地磁测量组件的个人导航定位方法。该方法通过微惯性测量组件信息进行捷联惯导解算获得人体足部的姿态、速度与位置信息,利用磁传感器确定运动的航向信息... 为降低个人导航定位对卫星导航系统(GNSS)的依赖性,研究了一种基于足部安装微惯性/地磁测量组件的个人导航定位方法。该方法通过微惯性测量组件信息进行捷联惯导解算获得人体足部的姿态、速度与位置信息,利用磁传感器确定运动的航向信息,并采用基于步态相位检测的零速修正方法,实时修正MEMS惯性导航系统的导航信息误差以及惯性传感器的随机误差,从而减缓惯性导航系统的定位误差随时间的积累。导航定位实验结果表明,直线与矩形行进路线的导航定位误差在行进约9 min时分别保持在2 m与6 m左右,分别占行进距离的1.1%与2.5%。该实验结果证明所提出的方法可有效提高个人导航系统的定位精度,在GNSS信号衰减或失效的环境中可实现较长时间的个人导航定位。 展开更多
关键词 个人导航 惯性导航系统 磁航向 步态相位检测 零速修正
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