一种MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法 被引量：2

1

作者 任静波 周怡 +2 位作者 朱欣华 周同 苏岩 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第4期516-521,共6页

针对MEMS多环谐振陀螺品质因数的快捷有效测定问题,提出了一种应用于MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法。基于对MEMS多环谐振陀螺的动力学模型分析,得到陀螺驱动模态振动位移稳态解的幅值与陀螺的品质因数相关性。为了把陀螺的品... 针对MEMS多环谐振陀螺品质因数的快捷有效测定问题,提出了一种应用于MEMS多环谐振陀螺的品质因数在线测试方法。基于对MEMS多环谐振陀螺的动力学模型分析,得到陀螺驱动模态振动位移稳态解的幅值与陀螺的品质因数相关性。为了把陀螺的品质因数从振动位移稳态解的幅值中提取出来,采用锁相环(PLL)实现对陀螺驱动模态谐振频率的实时跟踪,采用自动增益控制(AGC)实现对MEMS多环谐振陀螺振动位移的闭环稳幅驱动。通过提取锁相环输出的谐振频率和振动位移稳态解的幅值解算出陀螺的品质因数。该方法与传统的品质因数测试方法不同之处在于不需要通过数据采集、离线处理等步骤就可以在线自动获取陀螺的品质因数,大大提高了品质因数测试的工作效率。实验结果表明,在陀螺上电后0.6 s左右即可获得相对准确的品质因数结果。 展开更多

关键词 mems多环谐振陀螺 品质因数 闭环驱动 振动位移稳态解 在线测试

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基于刚度轴偏角预估机制的MEMS多环谐振陀螺全闭环控制方法 被引量：3

2

作者 周同 余卓林 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第1期46-54,共9页

针对微机电系统多环谐振陀螺正交闭环回路存在控制误差问题,提出一种基于刚度轴偏角预估机制的多环陀螺全闭环控制方法。该方法通过对微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估,实现正交闭环回路参数自动优化调整。同时,提出了基于刚度轴... 针对微机电系统多环谐振陀螺正交闭环回路存在控制误差问题,提出一种基于刚度轴偏角预估机制的多环陀螺全闭环控制方法。该方法通过对微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估,实现正交闭环回路参数自动优化调整。同时,提出了基于刚度轴偏角预估机制的全数字化闭环控制方法,实现微机电系统多环谐振陀螺的驱动、检测、正交、模态匹配环路的全闭环控制。该方法可提升正交闭环回路信噪比,增强陀螺正交漂移的抑制能力,降低陀螺零偏输出,改善陀螺的零偏不稳定性。实验结果表明,采用本文提出的基于刚度轴偏角预估机制的全闭环控制方法后,微机电系统多环谐振陀螺的零偏输出由0.201°/s降低为0.0213°/s,零偏不稳定性由39.42°/h降低为1.237°/h,分别降低了9.44倍和31.86倍,验证了该方法对提升微机电系统多环谐振陀螺仪性能的有效性。 展开更多

关键词 微机电系统多环谐振陀螺 刚度轴偏角预估 全闭环控制

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MEMS环形谐振陀螺的结构设计与振动特性分析 被引量：7

3

作者 寇志伟 刘俊 +2 位作者 曹慧亮 石云波 张英杰 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第2期275-280,共6页

针对环形谐振陀螺谐振结构特性参数相同、检测灵敏度高、温度与抗干扰特性好等特点,提出了一种新颖的S形挠曲支撑梁的电容式环形谐振陀螺。其环形谐振子的刚度系数、固有频率等振动特性参数是陀螺结构优化、模态控制、驱动与检测电路设... 针对环形谐振陀螺谐振结构特性参数相同、检测灵敏度高、温度与抗干扰特性好等特点,提出了一种新颖的S形挠曲支撑梁的电容式环形谐振陀螺。其环形谐振子的刚度系数、固有频率等振动特性参数是陀螺结构优化、模态控制、驱动与检测电路设计的主要理论参数。为了得到该陀螺精确的谐振子特性参数,基于角度敏感原理、谐振结构的材料力学性能与机械振动特性,推导了谐振结构的等效刚度系数与固有频率的理论模型,并且分别进行了有限元仿真分析与样机频率特性测试。结果表明该理论模型计算的固有频率与有限元分析的误差为7.0820%,与样机实际测试的误差为3.9035%,证明了理论模型的正确性,为该陀螺的进一步研究提供了理论依据。 展开更多

关键词 mems 环形谐振陀螺 结构设计 振动特性 固有频率

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双U型单环谐振陀螺热弹性阻尼分析

4

作者 王馨宇 魏雯强 +1 位作者 蔡麒 曹慧亮 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第10期1018-1024,共7页

对于MEMS环形谐振陀螺而言,品质因数是一个关键的技术指标,在真空条件下热弹性阻尼是影响品质因数的主要因素。因此,针对带有拓扑梳齿的双U型环形陀螺,首先分析了其结构形式和工作原理。其次研究了热弹性阻尼机理,对双U型环形陀螺热弹... 对于MEMS环形谐振陀螺而言,品质因数是一个关键的技术指标,在真空条件下热弹性阻尼是影响品质因数的主要因素。因此,针对带有拓扑梳齿的双U型环形陀螺,首先分析了其结构形式和工作原理。其次研究了热弹性阻尼机理,对双U型环形陀螺热弹性阻尼进行了理论研究。同时借助有限元方法对热弹性阻尼进行了仿真分析,探索了结构参数对环形陀螺品质因数的影响。对不同结构参数的陀螺进行实验测试。仿真分析与实验测试结果表明,增加单环内径,减小单环环宽,减小中央圆盘的半径和减小支撑梁梁宽方式都可以降低陀螺热弹性阻尼,从而提高陀螺的品质因数。合理调整陀螺结构参数可以使陀螺品质因数在一定参数条件下达到十万量级。所提分析方法对降低热弹性阻尼,提高陀螺品质因数具有指导意义。 展开更多

关键词 mems 环形谐振陀螺 双U型梁 热弹性阻尼 有限元分析

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一种硅MEMS陀螺谐振频率与Q值的快速测量方法 被引量：5

5

作者 卜峰 徐大诚 赵鹤鸣 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第1期133-140,共8页

为了解决平板电极硅微机电系统(MEMS)陀螺谐振频率和Q值的快速测定问题,提出一种基于阶跃激励余振分析的振动特性参数测量方法。首先,利用平板电容电极的吸合效应,提出一种直流阶跃激励方法,使陀螺振子产生较大初始位移的余振信号。然后... 为了解决平板电极硅微机电系统(MEMS)陀螺谐振频率和Q值的快速测定问题,提出一种基于阶跃激励余振分析的振动特性参数测量方法。首先,利用平板电容电极的吸合效应,提出一种直流阶跃激励方法,使陀螺振子产生较大初始位移的余振信号。然后,结合FFT和Morlet复小波变换对余振信号进行高分辨率频谱分析,获得谐振频率。接着,对余振信号进行Hilbert变换以提取包络线,通过最小二乘指数拟合获得阻尼系数,从而得到Q值。仿真测试表明,该方法能够精确地获得特性参数,相对误差达到了10-5量级。在角振动陀螺上的实验表明,该方法与扫频法获得的结果基本一致,且有效缩短了测试时间。 展开更多

关键词 硅mems陀螺 谐振频率 Q值 阶跃激励 Morlet复小波变换 HILBERT变换

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MEMS多环陀螺热弹性阻尼温度特性分析 被引量：6

6

作者 林晨 苏岩 +2 位作者 杨明明 李毅轩 朱欣华 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期793-798,共6页

多环谐振陀螺热弹性阻尼的稳定性对陀螺的全温性能有重要影响。为了使阻尼的温度补偿有据可依,展开了多环谐振陀螺热弹性阻尼与温度关系的研究,利用理论计算与仿真相结合的方式建立了两者的数学模型。首先建立了常温下的多环谐振陀螺的... 多环谐振陀螺热弹性阻尼的稳定性对陀螺的全温性能有重要影响。为了使阻尼的温度补偿有据可依,展开了多环谐振陀螺热弹性阻尼与温度关系的研究,利用理论计算与仿真相结合的方式建立了两者的数学模型。首先建立了常温下的多环谐振陀螺的热弹性阻尼数学模型,从中分析出结构形式、工作模态振型及材料参数决定了热弹性阻尼的大小,而其中只有结构层的材料参数对温度较为敏感。因此建立了材料参数的温变数学模型,并利用该模型与理论和仿真相结合的热能量法建立了高效的多环谐振陀螺热弹性阻尼温变模型。接着利用该模型与幂函数拟合出了热弹性阻尼与温度之间的表达式。最后通过实验验证了模型与表达式的准确性,将误差量化后,模型参数误差最大值小于1.7%。 展开更多

关键词 多环谐振陀螺 热弹性阻尼 温度特性 热能量法 曲线拟合

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嵌套环式MEMS陀螺刚度轴偏角误差和电极未对准误差辨识 被引量：2

7

作者 宋国雄 何汉辉 +5 位作者 高凯 李青松 许一 路阔 吴学忠 肖定邦 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第10期1419-1424,共6页

作为一种工作在简并模态的陀螺,嵌套环式MEMS陀螺因其更强的抗冲击特性、对外界振动更低的敏感性以及更灵活的电极配置等优势被作为一个重要的微机电陀螺发展方向。然而,在加工过程中产生的谐振结构不对称误差会导致陀螺模态不匹配,严... 作为一种工作在简并模态的陀螺,嵌套环式MEMS陀螺因其更强的抗冲击特性、对外界振动更低的敏感性以及更灵活的电极配置等优势被作为一个重要的微机电陀螺发展方向。然而,在加工过程中产生的谐振结构不对称误差会导致陀螺模态不匹配,严重限制陀螺的性能。面对批量化生产的谐振器,需要用一种便于实施的结构误差辨识方法挑选高品质的谐振器加工高性能陀螺。本文分析了刚度轴偏角误差和电极未对准误差对陀螺的影响。然后,提出了基于静电修调理论的误差辨识方法。最后,用三支嵌套环陀螺完成了辨识实验,证实了方法的可行性,辨识过程中得到的修调电压还可直接用于静电修调。 展开更多

关键词 嵌套环式mems陀螺 结构误差辨识 刚度轴偏角误差 电极未对准误差

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MEMS陀螺仪驱动谐振频率的温度补偿方法 被引量：6

8

作者 刘玉县 汤丽 +1 位作者 陈婷 何春华 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期52-54,58,共4页

微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40～60℃范... 微机电系统(MEMS)陀螺的模态谐振频率和品质因子具有较强的温度敏感性,使得MEMS陀螺的输出零偏随温度漂移。为了解决零偏随温度漂移问题,提出了一种基于MEMS微机械陀螺的驱动谐振频率做温度基准的零偏温度补偿方法。温度在-40～60℃范围内变化,经多次循环测量陀螺零偏,获得零偏与温度之间的变化关系,并在此基础上,对零偏进行建模分析。利用谐振频率与温度的线性关系,以驱动谐振频率为温度参考,对陀螺零偏进行实时温度补偿。实验结果表明:上电零偏稳定性由补偿前的143. 81°/h变为补偿后的26. 51°/h,降低了5. 42倍;温度在-40～60℃范围内变化,补偿前后的零偏稳定性分别为1368. 05°/h和62. 86°/h,降低了22倍。 展开更多

关键词 微机电系统(mems)陀螺 驱动谐振频率 零偏 实时温度补偿

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MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现 被引量：8

9

作者 孙殿竣 张卫平 +3 位作者 唐健 邢亚亮 欧彬 刘朝阳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2017年第6期141-144,149,共5页

MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高... MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工作原理以及检测方法。针对MEMS微半球谐振陀螺高工作频率,高品质因数等特点,提供了一种数字式力反馈模式下的MEMS微半球谐振陀螺数字式闭环控制检测方案以及其FPGA平台硬件实现,完成目前MEMS微半球谐振陀螺的控制与检测工作。 展开更多

关键词 mems微半球谐振陀螺 力反馈 闭环控制 FPGA

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谐振腔光纤陀螺光纤谐振环特性研究 被引量：11

10

作者 姚琼 宋章启 +1 位作者 谢元平 胡永明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期676-680,共5页

对有限光源线宽情况下反射式光纤谐振环的响应特性进行了研究,得到了光纤谐振环各谐振特性参量的表示式.分析了特性参量与光源线宽和耦合器特性的关系,结合对方波调制谐振腔光纤陀螺极限灵敏度的分析,给出了设计高灵敏度谐振腔光纤陀螺... 对有限光源线宽情况下反射式光纤谐振环的响应特性进行了研究,得到了光纤谐振环各谐振特性参量的表示式.分析了特性参量与光源线宽和耦合器特性的关系,结合对方波调制谐振腔光纤陀螺极限灵敏度的分析,给出了设计高灵敏度谐振腔光纤陀螺光纤谐振环的要求和原则.进行了谐振腔光纤陀螺用光纤谐振环的实验研究,制作了适用于谐振腔光纤陀螺的高精细度和高谐振深度光纤谐振环. 展开更多

关键词 谐振腔光纤陀螺 光纤谐振环 谐振特性

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MEMS陀螺仪芯片级温控系统的设计 被引量：5

11

作者 曹慧亮 杨波 +2 位作者 徐露 李宏生 王寿荣 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期55-59,共5页

为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Z... 为了提高MEMS陀螺仪的温度性能,基于东南大学自主设计的TC10号温控陀螺表头,设计了一种芯片级温控系统.首先,研究了微加热丝和微热敏电阻的材料、结构以及表头的加工工艺,分析了温控系统的工作原理.然后,建立了表头内部的温度模型,利用Ziegler-Nichols经验参数法,确定了PID参数并进行系统仿真,验证了控制系统的快速性和稳定性.最后,结合模型和仿真参数设计了温控电路,并通过温度实验得到了微热敏电阻的温度特性曲线.结果显示:温控系统可将表头内温度控制在设定温度点附近;表头腔内温度和驱动模态谐振频率在-20～60℃范围内的变化量分别由温控前的78.453℃和3.76 Hz下降到温控后的4.949℃和0.48 Hz,由此验证了芯片级温控技术的可行性. 展开更多

关键词 芯片级温控 mems陀螺仪 温度模型 谐振频率

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定长光纤环形谐振腔不同匝数对光纤陀螺信号输出参数的影响

12

作者 安盼龙 郑永秋 +4 位作者 李小枫 赵瑞娟 刘耀英 薛晨阳 闫树斌 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第24期244-247,共4页

谐振式光纤陀螺由于其在小型化、集成化和高精度等方面比干涉型光纤陀螺占有优势,引起了国内外研究机构的广泛关注,而光纤环形谐振腔作为光纤陀螺的核心敏感部件对陀螺信号的输出至关重要。本文分析对比了半长1.10 m,定长2.2 m,保偏耦... 谐振式光纤陀螺由于其在小型化、集成化和高精度等方面比干涉型光纤陀螺占有优势,引起了国内外研究机构的广泛关注,而光纤环形谐振腔作为光纤陀螺的核心敏感部件对陀螺信号的输出至关重要。本文分析对比了半长1.10 m,定长2.2 m,保偏耦合器偏振消光比为20 dB,分光比为50∶50的光纤环腔在相同室温条件下,不同匝数谐振谱线的谐振深度ρ、半高全宽(FWHM)以及光纤陀螺的输出信号包括动态范围、频率带宽、标度因数、系统极限灵敏度的各项陀螺关键指标,为定长保偏光纤环腔作为光学陀螺的核心部件提供相关指导。 展开更多

关键词 谐振式 光纤环腔 匝数 陀螺信号

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基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺振型检测技术 被引量：1

13

作者 王剑秋 吴宇列 张勇猛 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1305-1309,共5页

振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法。该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声... 振动陀螺谐振子振型一般采用激光进行非接触式测量,这种方法存在设备成本高、操作复杂、效率低等问题,因此,提出了一种基于MEMS声传感器的圆柱壳体振动陀螺谐振子振型测试方法。该方法利用体积小,指向性高的MEMS声传感器对谐振子振动声场进行高分辨率测量,获得精确的谐振子振动分布情况,建立了谐振子声波测试实验系统,进行了测试实验,并与激光测振仪的测量结果进行比对。实验结果表明,该测试系统具有较高的振型测量精度。这种测试方法成本低,操作简便,测量精度高,可以实现谐振子振型的高精度快速测量,为后续的谐振子修形及陀螺控制提供重要基础。 展开更多

关键词 圆柱壳体振动陀螺谐振子 振型测试 mems声传感器 高精度快速测量

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双环谐振型光纤陀螺的特性分析

14

作者 祝曙光 徐安士 +2 位作者 李正斌 吴德明 王大鹏 《北京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期367-371,共5页

提出了一种完全不同于传统单谐振环结构的双谐振环光纤陀螺结构。对照传统单谐振环结构分析了该结构方案所具有的显著特点和重要价值 ,同时通过详尽的公式推导和计算 。

关键词 谐振型光纤陀螺 双谐振环 谐振条件 谐振输出特性

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结构谐振对闭环光纤陀螺振动性能的影响 被引量：14

15

作者 刘淑荣 吴衍记 徐磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S1期256-259,共4页

振动性能是体现光纤陀螺环境适应性的一项重要指标。结构谐振是引起光纤陀螺振动误差的主要因素之一。在描述了光纤传感环圈骨架谐振对陀螺振动性能影响的试验现象的基础上,通过环圈骨架的有限元分析,以及光纤陀螺振动误差模型的推导,... 振动性能是体现光纤陀螺环境适应性的一项重要指标。结构谐振是引起光纤陀螺振动误差的主要因素之一。在描述了光纤传感环圈骨架谐振对陀螺振动性能影响的试验现象的基础上,通过环圈骨架的有限元分析,以及光纤陀螺振动误差模型的推导,得出了环圈骨架谐振频率与陀螺振动输出零位漂移最大点的频率相吻合的结论。针对环圈骨架的薄弱环节进行改进设计及实验验证,结果表明消除结构谐振后的陀螺在0～2000Hz之间振动,输出不再发生明显漂移,振动过程中陀螺的零偏变化不超过0.2(o)/h。 展开更多

关键词 光纤陀螺 振动 误差 环圈骨架 谐振

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电容式MEMS陀螺电极间隙标定方法研究

16

作者 刘高 侯占强 +2 位作者 邝云斌 肖定邦 吴学忠 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第4期499-503,共5页

该文以蝶翼式陀螺为研究对象,研究了电容式微机电系统(MEMS)陀螺电极间隙标定的方法。提出了一种基于谐振测量的电学标定方法,设计了基于调制解调技术的高精度微弱电容检测电路,并可以通过开关控制实现蝶翼式陀螺不同接口电容电极间隙... 该文以蝶翼式陀螺为研究对象,研究了电容式微机电系统(MEMS)陀螺电极间隙标定的方法。提出了一种基于谐振测量的电学标定方法,设计了基于调制解调技术的高精度微弱电容检测电路,并可以通过开关控制实现蝶翼式陀螺不同接口电容电极间隙的测量与标定。基于陀螺工作原理建立了电极间隙理论分析模型,推导了电容间隙与输出电压之间的关系,搭建了电极间隙测量与标定平台,测量了多个陀螺不同电极的间隙,并与采用电容-电压(CV)分析仪、台阶仪的测试结果进行了对比。与CV分析仪测试方法相比,该方法可有效地避免寄生电容的影响,在寄生电容未知的情况下可准确测量出有效电极间隙,同时具有更高的分辨率。与台阶仪测试方法相比,该方法可以准确反映实际电极位置的间隙大小。被测陀螺的电极间隙理论设计值为2μm,采用该文提出的方法测试值分布范围为1.92~2.2μm,采用CV分析仪测试结果为2.004μm(寄生电容已知),采用台阶仪平均测试值为2.11μm。 展开更多

关键词 电容式 微机电系统(mems)陀螺 谐振测量 电极间隙 标定方法

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多环谐振微陀螺结构参数对性能的影响分析 被引量：5

17

作者 谷留涛 张卫平 冯军 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期368-373,共6页

多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关... 多环谐振微陀螺是一种全对称平面结构的MEMS陀螺仪,具有体积小、功耗低、可批量制造、抗冲击性强等优点,是目前最具发展前景的MEMS陀螺仪之一。围绕多环谐振微陀螺的结构及其优化设计展开研究,深入分析了多环谐振微陀螺的结构机理和关键性能参数,搭建了一套通用的有限元计算平台,仿真分析了结构参数对其关键性能的影响。仿真结果表明,谐振环宽度和谐振子半径是影响多环谐振微陀螺性能的主要参数,通过减小环宽度和增加谐振子半径可以有效地提高陀螺性能;多环谐振微陀螺热弹性阻尼可以用Zener热弹性阻尼理论近似;多环谐振微陀螺角度增益大小不受结构参数的约束,约为0.4。其仿真分析结果可以为设计高品质多环谐振微机械陀螺提供一定的参考。 展开更多

关键词 微机电系统 多环谐振微机械陀螺 有限元仿真 优化设计

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机载多框架陀螺稳定平台速度稳定环设计 被引量：50

18

作者 毕永利 刘洵 +1 位作者 葛文奇 李洁 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期16-18,共3页

针对多框架陀螺稳定平台中谐振频率较低和摇摆台摇摆换向时跟踪误差曲线上出现尖峰问 题,提出了一种串联平方滞后超前校正环节和非线性加速度补偿措施,设计了平台速度稳定环。在摇摆台按幅值为o5,周期为6s的正弦规律运动条件下,稳定精度... 针对多框架陀螺稳定平台中谐振频率较低和摇摆台摇摆换向时跟踪误差曲线上出现尖峰问 题,提出了一种串联平方滞后超前校正环节和非线性加速度补偿措施,设计了平台速度稳定环。在摇摆台按幅值为o5,周期为6s的正弦规律运动条件下,稳定精度为8.3,满足指标要求,表明该速度稳定环在实际中是很有效的。 展开更多

关键词 陀螺稳定平台 速度稳定环 谐振频率 加速度补偿

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一种谐振式硅微机械陀螺的设计和加工 被引量：4

19

作者 王莹莹 樊尚春 +1 位作者 郭占社 蔡晨光 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2007年第4期497-500,共4页

基于谐振式检测方式的高灵敏度、大动态范围、易于与数字电路接口等优点,提出了一种谐振式微机械陀螺的新型结构,研究了其工作原理,得到了双端音叉谐振器(DETF)振动Mathieu方程的稳态输出,并基于此稳态输出的贝塞尔曲线簇分解信号的幅... 基于谐振式检测方式的高灵敏度、大动态范围、易于与数字电路接口等优点,提出了一种谐振式微机械陀螺的新型结构,研究了其工作原理,得到了双端音叉谐振器(DETF)振动Mathieu方程的稳态输出,并基于此稳态输出的贝塞尔曲线簇分解信号的幅相频率特性曲线进行了特性分析和Matlab仿真研究,从而提出了一种利用DETF输出信号xr中ωr0或ωr0+ωp频率分量来解算科氏力的方法,实现对输入角速度?的检测,并采用SOG工艺加工此新型结构得到样件。研究表明,此新型谐振式硅微机械陀螺结构具有准数字输出,并能有效提高其输出信号的信噪比。 展开更多

关键词 谐振 陀螺 mems 频率特性

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谐振式光纤陀螺偏振波动噪声的温度特性 被引量：2

20

作者 张婷 郑华 +3 位作者 杜建功 安盼龙 闫树斌 薛晨阳 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1815-1821,共7页

光纤环形谐振腔环境温度变化带来的偏振波动噪声是影响谐振式光纤陀螺检测精度的主要光学噪声源之一,通过控制谐振腔温度,可以使偏振波动噪声得到有效抑制。为了抑制偏振波动噪声,减小R-FOG精度受FRR温度变化的影响,从理论上分析了谐振... 光纤环形谐振腔环境温度变化带来的偏振波动噪声是影响谐振式光纤陀螺检测精度的主要光学噪声源之一,通过控制谐振腔温度,可以使偏振波动噪声得到有效抑制。为了抑制偏振波动噪声,减小R-FOG精度受FRR温度变化的影响,从理论上分析了谐振腔温度变化对谐振曲线、解调曲线的影响;针对不同温度下光纤环的谐振特性、解调曲线特性、陀螺零偏及零偏稳定性开展了实验,并对实验结果进行了分析。结果表明,谐振腔的工作温度为27.00℃时,两本征偏振态相距最远,总谐振曲线关于谐振频率点对称,谐振频率点检测误差可以忽略;陀螺零偏稳定性近似等于谐振腔温度为25.50℃时的1/100,在150 s的采样时间内达到0.07°/s,陀螺检测精度得到很大提高。 展开更多

关键词 谐振式光纤陀螺 偏振波动噪声 温度控制 零偏稳定性 光纤环

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