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MEMS变形反射镜特性测试系统研究
被引量：
3
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作者
陈家凤
陈海清
向东
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第5期675-679,共5页
为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实...
为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实信息的连续相位,从而得到了所需的特性参数。实验结果表明:该系统具有测量简便、自动化程度高及测量精度高等特点。
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关键词
光学测量
mems变形反射镜
频闪干涉测量系统
5步相移算法
相位解缠
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职称材料
题名
MEMS变形反射镜特性测试系统研究
被引量：
3
1
作者
陈家凤
陈海清
向东
机构
华中科技大学光电子科学与工程学院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第5期675-679,共5页
基金
航天支撑技术基金资助项目(041.3JW05)
文摘
为了实现对MEMS变形反射镜的静态形貌、动态离面变形及谐振频率的测量,提出了一种基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统。测试中采用频闪照明技术及5步相移技术实现了对干涉相位的测量,利用空间及时间相位解缠算法恢复了反映物体真实信息的连续相位,从而得到了所需的特性参数。实验结果表明:该系统具有测量简便、自动化程度高及测量精度高等特点。
关键词
光学测量
mems变形反射镜
频闪干涉测量系统
5步相移算法
相位解缠
Keywords
Optical measurement
mems
deformable mirrors
Stroboscopic interferometer system
Five-step phase-shifting algorithm
Phase unwrapping
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS变形反射镜特性测试系统研究
陈家凤
陈海清
向东
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
3
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