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齿厚偏差对谐波减速器动态特性影响规律与试验研究
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作者 徐向阳 周泊宇 +2 位作者 杜雪松 魏沛堂 张瀚 《振动与冲击》 北大核心 2025年第17期60-70,共11页
为了深入探究齿厚偏差对谐波减速器动态性能的具体影响。该研究采用跨棒距测量法以准确测定谐波齿轮齿厚,反映齿轮齿侧间隙的变化情况。基于此,设计了齿厚偏差振动试验,并将试验分为若干组。通过对各分组进行扭转振动测试,对比了不同齿... 为了深入探究齿厚偏差对谐波减速器动态性能的具体影响。该研究采用跨棒距测量法以准确测定谐波齿轮齿厚,反映齿轮齿侧间隙的变化情况。基于此,设计了齿厚偏差振动试验,并将试验分为若干组。通过对各分组进行扭转振动测试,对比了不同齿厚偏差及转速下谐波减速器的动态响应,并进一步分析了谐波减速器的扫频特性及其信号频率成分。研究结果表明:在谐波减速器振动加速度频谱中,其偶数倍频的出现较为显著。低速时,振动主要由系统共振激发;额定工况下,最大振动频率接近柔刚轮啮合频率2倍,且振动有效值随齿厚偏差的增加而增大;高转速下,齿厚偏差显著影响二倍频和四倍频。频率阶次分析显示,二倍频在中转速区较为突出,转速超过3800 r/min时,四倍频逐渐成为主要频率的趋势。通过优化柔刚轮配合可以有效控制其工作转速区间和振动。 展开更多
关键词 谐波减速器 齿厚偏差 振动测试 动态特性
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基于虚拟仪器的高载条件下MEMS动态测试系统 被引量:19
2
作者 孙屹博 王晓东 +2 位作者 佘东生 王涛 王立鼎 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期29-34,共6页
利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统,实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制。设计了高速离心转盘提供高载环境,选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置,应用高速导电滑环传输数据。测试中的高频响应信号按DMA方式... 利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统,实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制。设计了高速离心转盘提供高载环境,选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置,应用高速导电滑环传输数据。测试中的高频响应信号按DMA方式采集,此过程占用系统DMA资源,与监测相互冲突。提出上位机通过TCP/IP协议控制下位机进行高速采集的方法,解决了冲突问题。本文对系统的总体设计、软件技术、系统功能等方面做出详细阐述。 展开更多
关键词 mems 动态测试 高载 虚拟仪器
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MEMS中微结构动态测试技术进展 被引量:18
3
作者 王涛 王晓东 +1 位作者 王立鼎 刘冲 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期83-88,共6页
MEMS功能主要通过微结构部件的微小位移和变形实现,故其动态性能测试至关重要,但MEMS结构由于其尺寸小,传统的动态测试方法已经难以达到要求,而光学测试技术是非接触测量,且具有定位准确、测试精度高、响应快的特点,使其在MEMS结构动态... MEMS功能主要通过微结构部件的微小位移和变形实现,故其动态性能测试至关重要,但MEMS结构由于其尺寸小,传统的动态测试方法已经难以达到要求,而光学测试技术是非接触测量,且具有定位准确、测试精度高、响应快的特点,使其在MEMS结构动态测试中发挥着越来越重要的作用。介绍并分析了频闪显微干涉、计算机微视觉、激光多普勒测振、电子散斑干涉和光纤测试等MEMS动态测试技术,讨论了其应用场合和测试范围。 展开更多
关键词 mems 动态测试 微结构 光学测试
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低温环境下MEMS动态测试系统 被引量:6
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作者 张习文 王晓东 +1 位作者 佘东生 王立鼎 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期2518-2523,共6页
研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统。对低温环境的产生及其关键问题、低温环境下的激励方法、信号检测方法,及高速数据采集方法进行了初步研究。采用半导体冷阱产生低温环境,为防止低温下结霜对测试精度造成影响,测试在真空环境中... 研制了低温环境下MEMS动态特性测试系统。对低温环境的产生及其关键问题、低温环境下的激励方法、信号检测方法,及高速数据采集方法进行了初步研究。采用半导体冷阱产生低温环境,为防止低温下结霜对测试精度造成影响,测试在真空环境中进行。研制了基于压电陶瓷的底座激励装置,用于低温环境下对微器件激励。采用2种方法用于低温环境下微器件振动响应信号的检测,一种是采用内置敏感元件的方法,被测微器件受到激励后自身输出信号,经高速数据采集单元采集进入计算机;另一种是采用激光多普勒测振仪在低温环境外部进行检测。以LabVIEW为平台开发了测试系统控制软件,实现了微器件激励、数据采集、存储自动化。对系统的总体设计、硬件组成、系统功能、实验研究等方面作出了详细阐述。 展开更多
关键词 mems 动态测试 低温 LABVIEW
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MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现 被引量:3
5
作者 金翠云 李一博 +1 位作者 靳世久 王立坤 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期380-382,共3页
在 MEMS动态测试过程中 ,由于 MEMS器件的运动频率都比较高 ,如何获得高速运动的 MEMS器件的清晰图像 ,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的 MEMS动态测试系统 ,设计了一套频闪驱动电路 ,用于采集高速运动的 MEMS器... 在 MEMS动态测试过程中 ,由于 MEMS器件的运动频率都比较高 ,如何获得高速运动的 MEMS器件的清晰图像 ,是MEMS动态特征提取与分析的前提。本文基于机器微视觉的 MEMS动态测试系统 ,设计了一套频闪驱动电路 ,用于采集高速运动的 MEMS器件的清晰图像。从而为后续 MEMS器件动态特征的提取和分析做充分的准备。 展开更多
关键词 mems 动态测试 频闪 清晰图像
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MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析 被引量:14
6
作者 潘龙丽 石云波 +2 位作者 周智君 尚晓亮 刘俊 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1392-1394,共3页
利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射... 利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射法优于FFT算法,其算法简单有效,能直接辨识出系统模型参数和模型阶次。 展开更多
关键词 mems(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法
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MEMS红外光源光谱特性及温度特性测试研究 被引量:3
7
作者 张鹏 丑修建 +2 位作者 刘立 王二伟 张辉 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第3期288-291,共4页
MEMS红外光源是基于微机电系统(MEMS)制造工艺的红外光源器件,为明确MEMS红外光源的辐射光谱分布特性和温度特性,采用SR5000光谱辐射计对MEMS红外光源进行辐射光谱分布特性测试,所得数据表明所选光源的红外光谱分布主要在3~5μm之间,中... MEMS红外光源是基于微机电系统(MEMS)制造工艺的红外光源器件,为明确MEMS红外光源的辐射光谱分布特性和温度特性,采用SR5000光谱辐射计对MEMS红外光源进行辐射光谱分布特性测试,所得数据表明所选光源的红外光谱分布主要在3~5μm之间,中心波长位于3.6μm,该波段红外光具有接近90%的大气透过率;采用红外测温仪和热敏电阻对光源辐射体温度进行测试,结果显示所选MEMS红外光源温度特性优良,适用范围广泛。 展开更多
关键词 mems红外光源 辐射光谱 光谱测试 温度特性
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基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统 被引量:1
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作者 郑丽娜 薛晨阳 +2 位作者 张文栋 张斌珍 桑胜波 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第S2期306-309,共4页
微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此... 微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此测试系统对硅微谐振器支撑梁根部的单点进行了动态应力测试,测试结果与理论分析相吻合。实验表明,此测试系统具有高精度、非接触式、无损伤等特点,能很好地满足MEMS动态应力测试的需求。 展开更多
关键词 动态应力 mems 拉曼光谱仪 高频调制 测试系统
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基于耦合流动的卷扬液压回路动态特性研究
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作者 高名乾 贺建强 +2 位作者 李固 冀宏 郭敏杰 《液压与气动》 北大核心 2025年第3期81-89,共9页
汽车起重机卷扬升降作业时,其液压控制回路的微动特性与整机的平稳性以及安全性密切相关。以卷扬液压系统为研究对象,通过系统仿真、系统与元件实时联合仿真以及试验测试并行的研究方法,分析了其微动特性。结果表明:原始主阀杆因阀口面... 汽车起重机卷扬升降作业时,其液压控制回路的微动特性与整机的平稳性以及安全性密切相关。以卷扬液压系统为研究对象,通过系统仿真、系统与元件实时联合仿真以及试验测试并行的研究方法,分析了其微动特性。结果表明:原始主阀杆因阀口面积梯度突变而产生节流拐点现象,通过优化主控阀节流阀口与回油阀口结构,有效改善了主控阀的节流特性;原有大通径三口阀因弹簧预紧力过大、刚度相对较小时呈现“速关、速开”响应状态,通过按比例缩放三口阀通径、减小调压弹簧预紧力以及合理匹配其刚度参数和优化其阀口面积曲线,有效改善了卷扬系统回路压力超调的问题。 展开更多
关键词 卷扬液压回路 动态特性 实时联合仿真 性能改善 试验测试
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一种MEMS微结构谐振频率的测试技术 被引量:6
10
作者 王晓东 王涛 +3 位作者 李楠 刘梦伟 崔岩 王立鼎 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1538-1541,共4页
MEMS技术的发展离不开相应的测试技术与装置,建立了一种简单的MEMS微结构动态特性的测试装置,以压电陶瓷为核心的基座激励装置实现对微结构的冲击,以微器件自身的输出作为被测信号.结合MEMS工艺中批量制作的特点在同一测试装置的同一次... MEMS技术的发展离不开相应的测试技术与装置,建立了一种简单的MEMS微结构动态特性的测试装置,以压电陶瓷为核心的基座激励装置实现对微结构的冲击,以微器件自身的输出作为被测信号.结合MEMS工艺中批量制作的特点在同一测试装置的同一次测试中安装两种不同尺寸的被测微压电悬臂梁试件,采集两个梁的冲击响应信号及它们的联合输出信号,通过FFT频谱分析,比较三种情况下的频谱分析结果并提取出梁的固有频率,采用对比测试的方法获得压电微悬臂梁的谐振频率.试验结果与理论分析一致,该方法具有测试装置简单、实用性强等特点. 展开更多
关键词 mems测试技术 mems动态特性 mems微结构
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MEMS微电容式传感器的传感特性研究 被引量:14
11
作者 王庆敏 杨要恩 +1 位作者 苏木标 刘玉红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第10期1396-1400,共5页
针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟... 针对传统的传感器无法进行长期健康监测的不足,研发出一套新型的基于MEMS的硅微电容式传感器。对所研制的MEMS传感器的静态传感特性和动态特性进行了理论分析和对比实验研究。结果表明:MEMS硅微电容式传感器在反复加卸载实验中,线性拟和度均在0.999%F.S以上,灵敏度系数为6.9840με/kN,其重复性误差为1.43%F.S;其动态传感特性与传统的加速度计吻合的很好。 展开更多
关键词 mems传感器 静态传感特性 动态传感特性 线性度 灵敏度
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火焰温度场测试中的传感器动态特性补偿 被引量:11
12
作者 赵学敏 王文廉 +1 位作者 李岩峰 杨文杰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第5期735-741,共7页
在进行爆温测试时,爆炸伴随的高温火焰具有变化快、温度高、测试环境恶劣等特点。针对这种特定的测温场合,运用火焰温度源法研究了热电偶传感器在火焰温度场中的动态响应特性。为了减小热电偶的动态测量误差,通过粒子群优化算法(PSO)建... 在进行爆温测试时,爆炸伴随的高温火焰具有变化快、温度高、测试环境恶劣等特点。针对这种特定的测温场合,运用火焰温度源法研究了热电偶传感器在火焰温度场中的动态响应特性。为了减小热电偶的动态测量误差,通过粒子群优化算法(PSO)建立了测试系统的动态补偿滤波器模型。实验表明,这种研究方法有效地改善了热电偶的动态测量误差,对通过爆温测试进行弹丸热毁伤评价有一定的参考价值。 展开更多
关键词 爆温测试 动态响应特性 火焰温度源法 PSO算法 动态测量误差
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大功率三电平逆变器开关动态特性在线测试方法研究 被引量:12
13
作者 何湘宁 杨兵建 +2 位作者 吴岩松 吴建德 邓焰 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第24期23-29,6,共7页
大功率逆变器的动态特性在线测试是电力电子逆变器的一个重要研究方向。多电平系统由于元器件多,结构复杂,其开关动态在线测试极为困难,但此工作对于设计、研制高性能逆变器系统,实现状态监测、故障预防,提高逆变器工作的可靠性有着重... 大功率逆变器的动态特性在线测试是电力电子逆变器的一个重要研究方向。多电平系统由于元器件多,结构复杂,其开关动态在线测试极为困难,但此工作对于设计、研制高性能逆变器系统,实现状态监测、故障预防,提高逆变器工作的可靠性有着重要的意义。该文研究大功率三电平逆变器开关器件的动态特性在线测试方法,提出多电平逆变器功率开关状态可测性的概念。所提的方法很好地解决了在线测试的几个关键问题,包括:海量数据的传输处理、全状态参数同步检测控制、功率器件开关过程的高速数据采样、系统状态参数的直接和间接的提取和推算等。在750kVA三电平变频调速系统上成功实现了各种负载工况下的实时在线测量。该文所讨论的开关特性在线测试方法和系统可有效扩展到三电平以上的多电平实时在线测试技术中。 展开更多
关键词 三电平逆变器:开关动态特性 在线测试 状态的可测性
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基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术(英文) 被引量:3
14
作者 金翠云 栗大超 +2 位作者 靳世久 冯亚林 郝一龙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期771-774,796,共5页
随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要... 随着微电子机械系统(MEMS)研究的深入和产业化的需求,检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统,在此系统之上,提出模糊图像合成技术对MEMS器件的平面微运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率等重要参数进行了测试,给出了测量结果,并对测试结果进行了分析和讨论。 展开更多
关键词 mems 动态测试 机器微视觉 模糊图像 微谐振器 谐振频率
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基于VXI总线的电液伺服阀动态特性测试系统 被引量:7
15
作者 李文宏 裘丽华 王占林 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期1267-1270,共4页
以性能先进的VXI总线仪器为主要测试设备组成电液伺服阀动态特性测试系统 ,建立测试系统的动力学模型 ,分析影响电液伺服阀动态特性测试精度的几个因素 ,提出了提高测试精度的方法 .并采用自适应寻优正弦信号测试方法测试电液伺服阀的... 以性能先进的VXI总线仪器为主要测试设备组成电液伺服阀动态特性测试系统 ,建立测试系统的动力学模型 ,分析影响电液伺服阀动态特性测试精度的几个因素 ,提出了提高测试精度的方法 .并采用自适应寻优正弦信号测试方法测试电液伺服阀的动态特性 ,提高了测试精度 ,简化了测试手段 . 展开更多
关键词 VXI总线 特性测试系统 电液伺服阀 动态特性 虚拟仪器 测试手段 飞行器 飞行控制系统
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电磁机构三维动态特性测试及数据处理与分析 被引量:12
16
作者 刘向军 许雄 兰太寿 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期2208-2215,共8页
为寻求电器电磁机构动态过程的规律,提出一种单相机三维测试新方法,将单台高速摄像机和光学成像系统相结合,对电磁机构进行了三维动态特性测试,通过图像处理得到电磁机构三维动态特性曲线。对三维动态特性测试数据样本函数的最佳估计值... 为寻求电器电磁机构动态过程的规律,提出一种单相机三维测试新方法,将单台高速摄像机和光学成像系统相结合,对电磁机构进行了三维动态特性测试,通过图像处理得到电磁机构三维动态特性曲线。对三维动态特性测试数据样本函数的最佳估计值和不确定度等重要特征量进行分析,研究了测试引起的不确定度与测试次数的关系,根据不确定度的变化趋势确定了样本容量。利用数理统计的方法对多组三维动态特性测试数据进行了处理,分析了电磁机构的三维动态特性。研究结果表明利用三维动态特性测试和数据处理方法,能够有效地分析电磁机构三维运动过程和机构运动分散性,为电器产品的优化设计和工艺改进提供依据。 展开更多
关键词 电磁机构 三维测试 数理统计 动态特性 测量不确定度
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蜂窝纸板动态缓冲特性曲线测试分析 被引量:22
17
作者 郭彦峰 张景绘 +2 位作者 付云岗 陈西发 张伟 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期6-8,14,共4页
通过动态压缩试验 ,测试 4种厚度蜂窝纸板的最大加速度静应力曲线 ,研究蜂窝纸板的动态缓冲特性 ,获得蜂窝纸板的最大加速度静应力曲线的特征系数和经验公式 。
关键词 动态缓冲特性曲线 测试 缓冲包装 设计 蜂窝纸板 最大加速度-静应力曲线 包装材料
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数字闭环光纤陀螺动态特性测试研究 被引量:11
18
作者 王妍 张春熹 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期818-821,共4页
光纤陀螺是一种基于萨格纳克效应的新型角速度传感器 ,带宽远大于机械陀螺 ,不能用传统机械设备测试其动态特性 .根据全数字闭环光纤陀螺采用数字阶梯波反馈实现闭环工作原理 ,通过在集成光学调制器上叠加信号 ,用阶梯波引起的相位差代... 光纤陀螺是一种基于萨格纳克效应的新型角速度传感器 ,带宽远大于机械陀螺 ,不能用传统机械设备测试其动态特性 .根据全数字闭环光纤陀螺采用数字阶梯波反馈实现闭环工作原理 ,通过在集成光学调制器上叠加信号 ,用阶梯波引起的相位差代替外加角速度引起的相位差 ,设计了动态特性的数字测试方法 .从系统传递函数的推导中得到此方法的等效性 ,并实测光纤陀螺的阶跃响应和频率响应 ,初步得到光纤陀螺带宽超过 展开更多
关键词 仿真 光纤陀螺 动态特性 测试
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多通道式液压衬套动态特性的测试与计算分析 被引量:9
19
作者 杨超峰 殷智宏 +2 位作者 吕兆平 段小成 上官文斌 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期1057-1064,共8页
制作了不同结构类型液压衬套的实验样件,测试得到其静、动特性的变化特性,并对比分析了不同结构液压衬套的作用机理。建立了多惯性通道-多节流孔式液压衬套的集总参数模型,给出了其动刚度和滞后角的计算分析公式和滞后角峰值频率的计算... 制作了不同结构类型液压衬套的实验样件,测试得到其静、动特性的变化特性,并对比分析了不同结构液压衬套的作用机理。建立了多惯性通道-多节流孔式液压衬套的集总参数模型,给出了其动刚度和滞后角的计算分析公式和滞后角峰值频率的计算公式,计算结果与实验值一致,验证了计算模型的正确性。分析了多通道式液压衬套的动特性与通道数目数量及其截面形状的关系。所采用的分析方法及结论,可为液压衬套的初级阶段的设计及选型提供参考。 展开更多
关键词 液压衬套 多通道 集总参数模型 测试分析 参数识别 动态特性
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高压大流量电液换向阀动态特性测试系统 被引量:4
20
作者 潘旭东 王广林 +2 位作者 胡洋 金光耀 梁承元 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2011年第4期522-526,539,共5页
在研制和生产高压大流量换向阀过程中必须对阀的多种参数进行动态测试,对电液换向阀的动态特性测试方法进行研究,建立了新型测试系统。实现了包括分合闸时间、电磁铁电流、各阀口压力、各级阀芯液压驱动力和流量等多种电液换向阀的动态... 在研制和生产高压大流量换向阀过程中必须对阀的多种参数进行动态测试,对电液换向阀的动态特性测试方法进行研究,建立了新型测试系统。实现了包括分合闸时间、电磁铁电流、各阀口压力、各级阀芯液压驱动力和流量等多种电液换向阀的动态参数的测试。采用多参数集成测试技术并结合了虚拟仪器技术,实现测试数据的采集、处理、实时显示和存储等功能。最后通过实验得到了电液换向阀的动态测试数据。 展开更多
关键词 电液换向阀 高压断路器 动态特性 测试系统
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